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题名基于厚硅片的MEMS碱金属原子气室的制备研究
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作者
呼振宇
吴森亮
赵彦晴
丁祝顺
李志伟
魏贤龙
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机构
北京大学电子学院纳米器件物理与化学教育部重点实验室
国测量子科技(浙江)有限公司
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出处
《真空与低温》
2025年第3期371-376,共6页
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基金
国家自然科学基金(62350040)。
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文摘
碱金属原子气室是原子钟、原子磁力计和原子陀螺仪等量子传感器的核心部件。利用微机电系统(MEMS)技术实现气室的片上化和微型化,是当前原子气室发展的重要方向。为实现原子气室微型化与光路长度扩展的协同优化,设计了玻璃/硅/玻璃三层双腔结构,采用激光切割技术加工3 mm厚带通孔的硅片,并结合阳极键合工艺与高功率激光解吸释放剂技术,成功制备了填充7 kPa氮气缓冲气体的MEMS芯片级铷原子气室。单个原子气室尺寸为6 mm×6 mm×5 mm,光路长度为3 mm,经氦质谱检漏,键合界面漏率不高于5×10^(-10) Pa·m^(3)·s^(-1)。通过光学实验平台测试,能够测量到铷原子的吸收谱线,说明了该工艺方案的可行性。
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关键词
CPT
MEMS原子气室
碱金属
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Keywords
CPT
MEMS atomic vapor cell
alkali metal
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分类号
TB71
[一般工业技术—真空技术]
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