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FIB/SEM双束系统在微纳加工与表征中的应用
被引量：
3
1
作者
彭开武
《中国材料进展》
CAS
CSCD
2013年第12期728-734,751,共8页
简要回顾了聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统在国家纳米科学中心的应用。围绕透射电镜样品制备、扫描电子显微镜与扫描离子显微镜、纳米材料的二维与三维表征等材料表征,以及离子束直接刻蚀加工如光子晶体阵列器件原型加工、材料沉积...
简要回顾了聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统在国家纳米科学中心的应用。围绕透射电镜样品制备、扫描电子显微镜与扫描离子显微镜、纳米材料的二维与三维表征等材料表征,以及离子束直接刻蚀加工如光子晶体阵列器件原型加工、材料沉积加工如用于电学性能测试的四电极制作、指定点加工如原子力显微镜针尖修饰、三维加工、电子束曝光及其与聚焦离子束联合加工等纳米结构加工两方面,以些具体实例分类进行了介绍。针对限制其应用的些不利因素,如加工效率低、面积小、精度不足、加工损伤等问题,些新技术如新型离子源Plasma、He+/Ne+离子等与现有Ga+聚焦离子束系统配合将成为未来发展方向。
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关键词
聚焦离子束
双束系统
纳米材料表征
纳米结构加工
电子束曝光
透射电镜样品制备
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职称材料
CoFeB/MgO界面垂直磁各向异性的影响因素研究
被引量：
1
2
作者
施辉
李明华
+5 位作者
方帅
王莎莎
王双海
张师杰
王东伟
于广华
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第7期7029-7038,共10页
回顾了近年来国际上关于提高CoFeB/MgO界面垂直磁各向异性的研究,从非磁/CoFeB/MgO多层膜结构(各层膜的厚度、堆积次序、周期数、铁磁/氧化物界面粗糙度和铁磁层,氧化物层及缓冲层的结晶状态)、成分(铁磁层的成分、缓冲层的材料、保护...
回顾了近年来国际上关于提高CoFeB/MgO界面垂直磁各向异性的研究,从非磁/CoFeB/MgO多层膜结构(各层膜的厚度、堆积次序、周期数、铁磁/氧化物界面粗糙度和铁磁层,氧化物层及缓冲层的结晶状态)、成分(铁磁层的成分、缓冲层的材料、保护层的材料)及材料工艺(热处理温度、外加电场和外加应力)等方面考察了CoFeB/MgO异质结中界面垂直磁各向异性的影响因素。理解CoFeB/MgO界面垂直磁各向异性的影响因素有助于更好地理解非磁/CoFeB/MgO磁性多层膜中垂直磁各向异性来源的深层物理机制以及通过优化材料结构和工艺进而优化非磁/CoFeB/MgO磁性多层膜的垂直磁各向异性。
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关键词
CoFeB/MgO界面
垂直磁各向异性
影响因素
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职称材料
题名
FIB/SEM双束系统在微纳加工与表征中的应用
被引量：
3
1
作者
彭开武
机构
国家纳米科学中心纳米检测实验室
出处
《中国材料进展》
CAS
CSCD
2013年第12期728-734,751,共8页
文摘
简要回顾了聚焦离子束/扫描电子显微镜双束系统在国家纳米科学中心的应用。围绕透射电镜样品制备、扫描电子显微镜与扫描离子显微镜、纳米材料的二维与三维表征等材料表征,以及离子束直接刻蚀加工如光子晶体阵列器件原型加工、材料沉积加工如用于电学性能测试的四电极制作、指定点加工如原子力显微镜针尖修饰、三维加工、电子束曝光及其与聚焦离子束联合加工等纳米结构加工两方面,以些具体实例分类进行了介绍。针对限制其应用的些不利因素,如加工效率低、面积小、精度不足、加工损伤等问题,些新技术如新型离子源Plasma、He+/Ne+离子等与现有Ga+聚焦离子束系统配合将成为未来发展方向。
关键词
聚焦离子束
双束系统
纳米材料表征
纳米结构加工
电子束曝光
透射电镜样品制备
Keywords
focused ion beam （FIB）
dual beam system
micro-nanofabrication
nanocharacterizatiou
electron beamlithography （EBL）
TEM sample preparation
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
CoFeB/MgO界面垂直磁各向异性的影响因素研究
被引量：
1
2
作者
施辉
李明华
方帅
王莎莎
王双海
张师杰
王东伟
于广华
机构
北京科技大学材料
科学
与工程学院材料物理与化学系
国家纳米科学中心纳米检测实验室
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第7期7029-7038,共10页
基金
国家自然科学基金面上资助项目(51371025)
北京市自然科学基金资助项目(2182037)
文摘
回顾了近年来国际上关于提高CoFeB/MgO界面垂直磁各向异性的研究,从非磁/CoFeB/MgO多层膜结构(各层膜的厚度、堆积次序、周期数、铁磁/氧化物界面粗糙度和铁磁层,氧化物层及缓冲层的结晶状态)、成分(铁磁层的成分、缓冲层的材料、保护层的材料)及材料工艺(热处理温度、外加电场和外加应力)等方面考察了CoFeB/MgO异质结中界面垂直磁各向异性的影响因素。理解CoFeB/MgO界面垂直磁各向异性的影响因素有助于更好地理解非磁/CoFeB/MgO磁性多层膜中垂直磁各向异性来源的深层物理机制以及通过优化材料结构和工艺进而优化非磁/CoFeB/MgO磁性多层膜的垂直磁各向异性。
关键词
CoFeB/MgO界面
垂直磁各向异性
影响因素
Keywords
CoFeB/MgO interface
perpendicular magnetic anisotropy
influence factors
分类号
O482.5 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
FIB/SEM双束系统在微纳加工与表征中的应用
彭开武
《中国材料进展》
CAS
CSCD
2013
3
在线阅读
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职称材料
2
CoFeB/MgO界面垂直磁各向异性的影响因素研究
施辉
李明华
方帅
王莎莎
王双海
张师杰
王东伟
于广华
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
1
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职称材料
已选择
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