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不同反应气体流量下双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性
1
作者
冯乐
艾志军
+2 位作者
吴治诚
张乔根
胡正勇
《高压电器》
北大核心
2025年第9期193-199,214,共8页
双频电感耦合CH_(4)等离子体常用于各类碳基薄膜沉积,沉积过程中等离子体的碳离化特性是影响薄膜性能的最重要因素。基于发射光谱与响应曲面法,研究了不同反应气体流量下,双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性,发现了CH_(4)解离主导...
双频电感耦合CH_(4)等离子体常用于各类碳基薄膜沉积,沉积过程中等离子体的碳离化特性是影响薄膜性能的最重要因素。基于发射光谱与响应曲面法,研究了不同反应气体流量下,双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性,发现了CH_(4)解离主导反应的转变,揭示了解离转变机制,确定了转变时CH_(4)的流量转折点,并讨论了辅助气体Ar、H_(2)对CH_(4)解离转变的影响规律。结果表明,CH_(4)转折流量为5.8 sccm,流量高于5.8 sccm时,CH_(4)解离产生CH基团,低于5.8 sccm时,CH进一步脱氢产生C。Ar将促进CH_(4)解离,造成CH_(4)转折流量的增加。低流量(<35 sccm)H_(2)会抑制CH的脱氢,造成CH_(4)转折流量减小,高流量(>35 sccm)H_(2)会抑制CH的产生,造成CH_(4)转折流量增大。研究对等离子体工艺的优化具有重要意义。
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关键词
电感等离子体
碳离化
发射光谱
响应曲面分析
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职称材料
密集输电通道内同塔及并行线路电磁场分布特性研究
2
作者
周亮
王斌
+1 位作者
孙文杰
马梓淇
《西安理工大学学报》
北大核心
2025年第3期442-450,共9页
密集输电通道内线路工况复杂导致电磁场易互相耦合叠加,需要深入分析不同电压下的电磁场分布特性,以评估其对周边环境的影响。本文采用等效公式法并结合电磁场矢量叠加原理,通过自编程序深入研究分析了密集输电通道内110~1 000kV输电线...
密集输电通道内线路工况复杂导致电磁场易互相耦合叠加,需要深入分析不同电压下的电磁场分布特性,以评估其对周边环境的影响。本文采用等效公式法并结合电磁场矢量叠加原理,通过自编程序深入研究分析了密集输电通道内110~1 000kV输电线路在各种复杂工况下的电磁场分布特性。结果表明:同等条件下单回路地面电磁场强度大于双回路;提高导线对地距离可降低电磁场强度,但效果随对地距离增大而减弱;并行线路采用内侧逆相序布置会使电磁场分布特性更优;同塔混压四回路在进行电磁场计算时应对所有回路进行整体建模分析。本文研究成果可为后续密集输电通道内的线路设计以及电磁场评估提供参考。
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关键词
密集输电通道
工频电场强度
工频磁感应强度
同塔四回路
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职称材料
题名
不同反应气体流量下双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性
1
作者
冯乐
艾志军
吴治诚
张乔根
胡正勇
机构
西安交通大学电气设备
电力
绝缘
国家
重点实验室
国家电网国网上海市电力公司
出处
《高压电器》
北大核心
2025年第9期193-199,214,共8页
基金
国家电网有限公司科技项目(52094020006W)。
文摘
双频电感耦合CH_(4)等离子体常用于各类碳基薄膜沉积,沉积过程中等离子体的碳离化特性是影响薄膜性能的最重要因素。基于发射光谱与响应曲面法,研究了不同反应气体流量下,双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性,发现了CH_(4)解离主导反应的转变,揭示了解离转变机制,确定了转变时CH_(4)的流量转折点,并讨论了辅助气体Ar、H_(2)对CH_(4)解离转变的影响规律。结果表明,CH_(4)转折流量为5.8 sccm,流量高于5.8 sccm时,CH_(4)解离产生CH基团,低于5.8 sccm时,CH进一步脱氢产生C。Ar将促进CH_(4)解离,造成CH_(4)转折流量的增加。低流量(<35 sccm)H_(2)会抑制CH的脱氢,造成CH_(4)转折流量减小,高流量(>35 sccm)H_(2)会抑制CH的产生,造成CH_(4)转折流量增大。研究对等离子体工艺的优化具有重要意义。
关键词
电感等离子体
碳离化
发射光谱
响应曲面分析
Keywords
inductively coupled plasma
carbon dissociation
emission spectroscopy
response surface methodology
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
密集输电通道内同塔及并行线路电磁场分布特性研究
2
作者
周亮
王斌
孙文杰
马梓淇
机构
国
网
上海市电力公司
经济技术研究院
国家电网国网上海市电力公司
西安理工大学机械与精密仪器工程学院
陕西恒巨软件科技有限
公司
出处
《西安理工大学学报》
北大核心
2025年第3期442-450,共9页
基金
国家电网公司科学技术资助项目(520900220012)。
文摘
密集输电通道内线路工况复杂导致电磁场易互相耦合叠加,需要深入分析不同电压下的电磁场分布特性,以评估其对周边环境的影响。本文采用等效公式法并结合电磁场矢量叠加原理,通过自编程序深入研究分析了密集输电通道内110~1 000kV输电线路在各种复杂工况下的电磁场分布特性。结果表明:同等条件下单回路地面电磁场强度大于双回路;提高导线对地距离可降低电磁场强度,但效果随对地距离增大而减弱;并行线路采用内侧逆相序布置会使电磁场分布特性更优;同塔混压四回路在进行电磁场计算时应对所有回路进行整体建模分析。本文研究成果可为后续密集输电通道内的线路设计以及电磁场评估提供参考。
关键词
密集输电通道
工频电场强度
工频磁感应强度
同塔四回路
Keywords
dense electric transmission channels
power frequency electric field intensity
power frequency magnetic induction intensity
four-circuit in the same tower
分类号
TM726 [电气工程—电力系统及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
不同反应气体流量下双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性
冯乐
艾志军
吴治诚
张乔根
胡正勇
《高压电器》
北大核心
2025
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
密集输电通道内同塔及并行线路电磁场分布特性研究
周亮
王斌
孙文杰
马梓淇
《西安理工大学学报》
北大核心
2025
0
在线阅读
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职称材料
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