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不同反应气体流量下双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性
1
作者
冯乐
艾志军
+2 位作者
吴治诚
张乔根
胡正勇
《高压电器》
北大核心
2025年第9期193-199,214,共8页
双频电感耦合CH_(4)等离子体常用于各类碳基薄膜沉积,沉积过程中等离子体的碳离化特性是影响薄膜性能的最重要因素。基于发射光谱与响应曲面法,研究了不同反应气体流量下,双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性,发现了CH_(4)解离主导...
双频电感耦合CH_(4)等离子体常用于各类碳基薄膜沉积,沉积过程中等离子体的碳离化特性是影响薄膜性能的最重要因素。基于发射光谱与响应曲面法,研究了不同反应气体流量下,双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性,发现了CH_(4)解离主导反应的转变,揭示了解离转变机制,确定了转变时CH_(4)的流量转折点,并讨论了辅助气体Ar、H_(2)对CH_(4)解离转变的影响规律。结果表明,CH_(4)转折流量为5.8 sccm,流量高于5.8 sccm时,CH_(4)解离产生CH基团,低于5.8 sccm时,CH进一步脱氢产生C。Ar将促进CH_(4)解离,造成CH_(4)转折流量的增加。低流量(<35 sccm)H_(2)会抑制CH的脱氢,造成CH_(4)转折流量减小,高流量(>35 sccm)H_(2)会抑制CH的产生,造成CH_(4)转折流量增大。研究对等离子体工艺的优化具有重要意义。
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关键词
电感等离子体
碳离化
发射光谱
响应曲面分析
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职称材料
题名
不同反应气体流量下双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性
1
作者
冯乐
艾志军
吴治诚
张乔根
胡正勇
机构
西安交通大学电气设备
电力
绝缘
国家
重点实验室
国家电网国网上海市电力公司
出处
《高压电器》
北大核心
2025年第9期193-199,214,共8页
基金
国家电网有限公司科技项目(52094020006W)。
文摘
双频电感耦合CH_(4)等离子体常用于各类碳基薄膜沉积,沉积过程中等离子体的碳离化特性是影响薄膜性能的最重要因素。基于发射光谱与响应曲面法,研究了不同反应气体流量下,双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性,发现了CH_(4)解离主导反应的转变,揭示了解离转变机制,确定了转变时CH_(4)的流量转折点,并讨论了辅助气体Ar、H_(2)对CH_(4)解离转变的影响规律。结果表明,CH_(4)转折流量为5.8 sccm,流量高于5.8 sccm时,CH_(4)解离产生CH基团,低于5.8 sccm时,CH进一步脱氢产生C。Ar将促进CH_(4)解离,造成CH_(4)转折流量的增加。低流量(<35 sccm)H_(2)会抑制CH的脱氢,造成CH_(4)转折流量减小,高流量(>35 sccm)H_(2)会抑制CH的产生,造成CH_(4)转折流量增大。研究对等离子体工艺的优化具有重要意义。
关键词
电感等离子体
碳离化
发射光谱
响应曲面分析
Keywords
inductively coupled plasma
carbon dissociation
emission spectroscopy
response surface methodology
分类号
O539 [理学—等离子体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
不同反应气体流量下双频电感耦合CH_(4)等离子体的碳离化特性
冯乐
艾志军
吴治诚
张乔根
胡正勇
《高压电器》
北大核心
2025
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