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刻蚀设备在太阳能晶硅电池刻蚀工艺中的应用
被引量：
1
1
作者
杨金
郭进
+2 位作者
魏唯
万喜新
李佳
《电子工业专用设备》
2013年第8期26-29,共4页
介绍了激光划线设备在太阳能电池中的应用。与传统等离子体刻蚀设备对比,从设备结构,工艺原理,试验测试等方面做了深入的分析,并从理论角度分析得出激光刻蚀具备效率损失小,能够提高电池片的转换效率的优点,同时用实验验证了激光划片设...
介绍了激光划线设备在太阳能电池中的应用。与传统等离子体刻蚀设备对比,从设备结构,工艺原理,试验测试等方面做了深入的分析,并从理论角度分析得出激光刻蚀具备效率损失小,能够提高电池片的转换效率的优点,同时用实验验证了激光划片设备具有优异的刻蚀效果,对提升电池片效率的贡献。
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关键词
激光刻蚀
等离子体刻蚀
太阳能
硅片电池
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职称材料
题名
刻蚀设备在太阳能晶硅电池刻蚀工艺中的应用
被引量：
1
1
作者
杨金
郭进
魏唯
万喜新
李佳
机构
中国电子科技科技集团公司第四十八
研究
所
国家光伏装备技术工程研究中心
湖南红太阳
光
电科技有限公司
出处
《电子工业专用设备》
2013年第8期26-29,共4页
文摘
介绍了激光划线设备在太阳能电池中的应用。与传统等离子体刻蚀设备对比,从设备结构,工艺原理,试验测试等方面做了深入的分析,并从理论角度分析得出激光刻蚀具备效率损失小,能够提高电池片的转换效率的优点,同时用实验验证了激光划片设备具有优异的刻蚀效果,对提升电池片效率的贡献。
关键词
激光刻蚀
等离子体刻蚀
太阳能
硅片电池
Keywords
Laser etch
Plasma etch
Solar
Silicon cell
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
操作
1
刻蚀设备在太阳能晶硅电池刻蚀工艺中的应用
杨金
郭进
魏唯
万喜新
李佳
《电子工业专用设备》
2013
1
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