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双纵模激光作无导轨大尺寸精密测量
被引量：
5
1
作者
周肇飞
吴斌
张涛
《光电工程》
CAS
CSCD
1996年第4期50-55,共6页
介绍一种可对大尺寸工件进行无导轨精密检测的方法及装置。该装置的工作方法类似一精密测距仪。它采用了一稳频双纵模激光作为光源，其拍频频率在６００ＭＨｚ～１ＧＨｚ之间，拍频波长为５００～３００ｍｍ，稳定度为１×１０７～...
介绍一种可对大尺寸工件进行无导轨精密检测的方法及装置。该装置的工作方法类似一精密测距仪。它采用了一稳频双纵模激光作为光源，其拍频频率在６００ＭＨｚ～１ＧＨｚ之间，拍频波长为５００～３００ｍｍ，稳定度为１×１０７～１０－８。该系统确定整数倍拍频波长节点的精度为０．０５ｍｍ，测量两节点间距离的分辨率为０．０００１ｍｍ。其测量范围一般为０～２０ｍ，根据需要测量范围可增至４０ｍ。
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关键词
偏振干涉
激光测距仪
精密测量
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职称材料
题名
双纵模激光作无导轨大尺寸精密测量
被引量：
5
1
作者
周肇飞
吴斌
张涛
机构
四川联合大学测控系激光应用研究室
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
1996年第4期50-55,共6页
基金
国家教委博士点基金
文摘
介绍一种可对大尺寸工件进行无导轨精密检测的方法及装置。该装置的工作方法类似一精密测距仪。它采用了一稳频双纵模激光作为光源，其拍频频率在６００ＭＨｚ～１ＧＨｚ之间，拍频波长为５００～３００ｍｍ，稳定度为１×１０７～１０－８。该系统确定整数倍拍频波长节点的精度为０．０５ｍｍ，测量两节点间距离的分辨率为０．０００１ｍｍ。其测量范围一般为０～２０ｍ，根据需要测量范围可增至４０ｍ。
关键词
偏振干涉
激光测距仪
精密测量
Keywords
Polarization interference,Laser range finders,Precision measurement.
分类号
TH744.5 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双纵模激光作无导轨大尺寸精密测量
周肇飞
吴斌
张涛
《光电工程》
CAS
CSCD
1996
5
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职称材料
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