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AlN在α-Al_2O_3(0001)表面吸附过程的理论研究
被引量：
1
1
作者
余毅
冯玉芳
+1 位作者
黄平
杨春
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期484-488,共5页
采用基于密度泛函理论的平面波超软赝势法,对α-Al2O3(0001)表面吸附AlN进行了动力学模拟计算,研究了AlN分子在a-Al2O3(0001)表面吸附成键过程、吸附能量与成键方位。计算表明吸附过程经历了物理吸附、化学吸附与稳定态形成的过程,其化...
采用基于密度泛函理论的平面波超软赝势法,对α-Al2O3(0001)表面吸附AlN进行了动力学模拟计算,研究了AlN分子在a-Al2O3(0001)表面吸附成键过程、吸附能量与成键方位。计算表明吸附过程经历了物理吸附、化学吸附与稳定态形成的过程,其化学结合能达到4.844eV。吸附后AlN化学键(0.189±0.010nm)与最近邻的表面Al-O键有30°的偏转角度,Al在表面较稳定的化学吸附位置正好偏离表面O六角对称约30°,使得AlN与蓝宝石之间的晶格失配度降低。
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关键词
a-Al2O3(0001)表面
ALN薄膜
密度泛函理论
吸附
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职称材料
题名
AlN在α-Al_2O_3(0001)表面吸附过程的理论研究
被引量：
1
1
作者
余毅
冯玉芳
黄平
杨春
机构
四川师范大学计算机软件省重点实验室
四川师范大学
化学与材料科学学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009年第5期484-488,共5页
基金
国家国防973基金(No.61363)
四川省青年科技基金(No.07ZQ026-021)资助课题
文摘
采用基于密度泛函理论的平面波超软赝势法,对α-Al2O3(0001)表面吸附AlN进行了动力学模拟计算,研究了AlN分子在a-Al2O3(0001)表面吸附成键过程、吸附能量与成键方位。计算表明吸附过程经历了物理吸附、化学吸附与稳定态形成的过程,其化学结合能达到4.844eV。吸附后AlN化学键(0.189±0.010nm)与最近邻的表面Al-O键有30°的偏转角度,Al在表面较稳定的化学吸附位置正好偏离表面O六角对称约30°,使得AlN与蓝宝石之间的晶格失配度降低。
关键词
a-Al2O3(0001)表面
ALN薄膜
密度泛函理论
吸附
Keywords
α-Al2O3（0001） surface,AlN films, TDF,Adsorption
分类号
O647.3 [理学—物理化学]
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
AlN在α-Al_2O_3(0001)表面吸附过程的理论研究
余毅
冯玉芳
黄平
杨春
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2009
1
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职称材料
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