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EDTA/THPED二元络合体系化学镀铜的沉积动力学分析
被引量:
3
1
作者
卢建红
余柳丝
+3 位作者
范金龙
孟俊臣
陈立峰
吴光伟
《有色金属科学与工程》
CAS
北大核心
2022年第6期42-49,共8页
为增强对化学镀铜反应过程的调控,建立了乙二胺四乙酸(EDTA)/四羟丙基乙二胺(THPED)二元络合化学镀铜体系,基于Arrhenius和经验动力学公式对该二元络合体系的沉积动力学及控制步骤进行分析。研究表明,该二元络合体系的反应表观活化能(Ea...
为增强对化学镀铜反应过程的调控,建立了乙二胺四乙酸(EDTA)/四羟丙基乙二胺(THPED)二元络合化学镀铜体系,基于Arrhenius和经验动力学公式对该二元络合体系的沉积动力学及控制步骤进行分析。研究表明,该二元络合体系的反应表观活化能(Ea)为15.2 kJ/mol,远低于活化能(Ea)为60.9 kJ/mol的EDTA单络合体系,对应各主要组分的反应级数比EDTA单络合剂体系高,其中C(OH-)对二元络合体系沉积过程的作用与对单络合体系的作用完全不同,即促进了二元络合体系的沉积反应,又对单络合体系起抑制作用。二元络合体系各组分对动力学影响程度依次为:C(Cu2+)>C(OH-)>C(HCHO)>C(L)。混合电位测试结果显示阴极还原反应受铜络离子扩散过程的控制。获得了二元络合剂体系化学沉积过程的动力学方程模型。
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关键词
化学镀铜
二元络合体系
动力学机制
控制步骤
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职称材料
题名
EDTA/THPED二元络合体系化学镀铜的沉积动力学分析
被引量:
3
1
作者
卢建红
余柳丝
范金龙
孟俊臣
陈立峰
吴光伟
机构
四川
轻化工大学
四川
轻化工大学材料腐蚀与防护
四川
省重点实验室
四川川油天然气科技股份有限公司
中石
油
西南
油
气田
公司
物资分
公司
出处
《有色金属科学与工程》
CAS
北大核心
2022年第6期42-49,共8页
基金
材料腐蚀与防护四川省重点实验室开放基金(2021CL02)
四川轻化工大学人才引进基金(2021RC01)。
文摘
为增强对化学镀铜反应过程的调控,建立了乙二胺四乙酸(EDTA)/四羟丙基乙二胺(THPED)二元络合化学镀铜体系,基于Arrhenius和经验动力学公式对该二元络合体系的沉积动力学及控制步骤进行分析。研究表明,该二元络合体系的反应表观活化能(Ea)为15.2 kJ/mol,远低于活化能(Ea)为60.9 kJ/mol的EDTA单络合体系,对应各主要组分的反应级数比EDTA单络合剂体系高,其中C(OH-)对二元络合体系沉积过程的作用与对单络合体系的作用完全不同,即促进了二元络合体系的沉积反应,又对单络合体系起抑制作用。二元络合体系各组分对动力学影响程度依次为:C(Cu2+)>C(OH-)>C(HCHO)>C(L)。混合电位测试结果显示阴极还原反应受铜络离子扩散过程的控制。获得了二元络合剂体系化学沉积过程的动力学方程模型。
关键词
化学镀铜
二元络合体系
动力学机制
控制步骤
Keywords
electroless copper
dual ligands system
kinetics mechanism
rate determining step
分类号
TF804.3 [冶金工程—有色金属冶金]
TQ028.33 [化学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
EDTA/THPED二元络合体系化学镀铜的沉积动力学分析
卢建红
余柳丝
范金龙
孟俊臣
陈立峰
吴光伟
《有色金属科学与工程》
CAS
北大核心
2022
3
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