表面粗糙度、表面微观轮廓及微位移激光测量集成化方法的研究 被引量：7

1

作者 李文杰 张涛 黄伟 《四川大学学报（工程科学版）》 EI CAS CSCD 2000年第6期78-81,共4页

通过研究激光散射法测量表面粗糙度、三角法测量微位移、干涉法测量表面微观轮廓三种几何量测量技术的共性 ,设计新型光路 ,将三种光电测量技术集成为一个测量仪 ,使其成为采用同一光源、基本同一光路、同一光敏接收器的新型光电精密测... 通过研究激光散射法测量表面粗糙度、三角法测量微位移、干涉法测量表面微观轮廓三种几何量测量技术的共性 ,设计新型光路 ,将三种光电测量技术集成为一个测量仪 ,使其成为采用同一光源、基本同一光路、同一光敏接收器的新型光电精密测量仪器 ,而同时具有三种测量功能 . 展开更多

关键词 表面微观轮廓 激光测量 表面粗糙度 激光散射法 微位移 集成化方法

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智能双纵模激光稳频系统的研究 被引量：5

2

作者 白燕羽 朱璐莱 +1 位作者 吕小强 张涛 《中国测试》 CAS 北大核心 2012年第1期110-112,共3页

为同时满足双纵模氦氖激光器的稳频精度和响应速度要求,提出一种嵌入式智能控制激光稳频系统。以AT89S52为核心,整个系统通过控制激光管的电流大小以改变激光管谐振腔腔长,从而达到稳频的目的;并基于分段式PID控制算法实现了稳频系统的... 为同时满足双纵模氦氖激光器的稳频精度和响应速度要求,提出一种嵌入式智能控制激光稳频系统。以AT89S52为核心,整个系统通过控制激光管的电流大小以改变激光管谐振腔腔长,从而达到稳频的目的;并基于分段式PID控制算法实现了稳频系统的软件开发。经试验证实:该系统满足设计要求,稳频精度保持在10-8以内;在外界强干扰情况下,恢复原来的状态后,激光器在30s内也可以重新稳住。与以往传统的PID控制系统相比较,该系统大大提高了抗干扰能力和响应速度。 展开更多

关键词 激光稳频 嵌入式 智能控制 稳频精度 响应速度

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He-Ne拍波激光干涉仪的研究 被引量：6

3

作者 朱目成 周肇飞 张涛 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第5期531-533,共3页

介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的方法和装置。装置以双纵模热稳频He Ne激光器为光源。理论及实验均证明该光源的频差有较高的稳定度 (室外不低于 1× 10 -7)和强的抗干扰性 ,拍波频率约为75 0MHz ,拍波长约为 4 0 0m... 介绍了一种可对大尺寸工件进行无导轨精密测量的方法和装置。装置以双纵模热稳频He Ne激光器为光源。理论及实验均证明该光源的频差有较高的稳定度 (室外不低于 1× 10 -7)和强的抗干扰性 ,拍波频率约为75 0MHz ,拍波长约为 4 0 0mm。该装置以拍波合成的场强信号的节点为对准标志 ,以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验表明 ,该装置的节点定位精度小于 0 .0 5mm ,尾数测量部分分辨率为 0 .0 8μm ,整个测量系统可在 2 0m范围内进行精度为± 5 0 μm +1.5× 10 -6·L(L为被测长度 ,单位为m)的测量。 展开更多

关键词 大尺寸 双纵模 节点 拍波干涉

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大尺寸无导轨激光精密测量仪的研究 被引量：4

4

作者 朱目成 周肇飞 张涛 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期80-81,共2页

介绍了一种大尺寸、无导轨激光干涉精密测量的方法与装置。该测量装置以稳定度较高和抗干扰性强的双纵模热稳频He -Ne激光器为光源 ;以拍波合成的场强信号的节点为对准标志 ;以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验测量结果... 介绍了一种大尺寸、无导轨激光干涉精密测量的方法与装置。该测量装置以稳定度较高和抗干扰性强的双纵模热稳频He -Ne激光器为光源 ;以拍波合成的场强信号的节点为对准标志 ;以光路组合形成的双频激光干涉仪测量尾数部分。实验测量结果表明 :节点定位精度小于 0 .0 5mm ,尾数测量部分分辨率为 0 .0 8μm ,整个测量系统在 2 0m范围内的测量精度达± ( 5 0 +1.5× 10 - 6 L) μm(L为被测长度 ,单位为m)。 展开更多

关键词 大尺寸测量 无导轨测量 双纵模热激光器 激光干涉仪

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高测速双纵模双频激光干涉仪系统的研究 被引量：3

5

作者 吴燕华 董璐 张涛 《工具技术》 2010年第7期97-100,共4页

以合适频率的高稳定度电子振荡器信号分别与双纵模热稳频双频激光干涉仪输出的频率过高的测量和参考信号混频,将信号载波频率降至计数器允许频率范围内,得到全交流的高测速双纵模双频激光干涉仪系统。本文给出了高测速双纵模双频激光干... 以合适频率的高稳定度电子振荡器信号分别与双纵模热稳频双频激光干涉仪输出的频率过高的测量和参考信号混频,将信号载波频率降至计数器允许频率范围内,得到全交流的高测速双纵模双频激光干涉仪系统。本文给出了高测速双纵模双频激光干涉仪系统光路框图和信号处理框图,并给出了振荡器频率选择的基本公式。所研制系统纵模间隔约728MHz,计数器选用最大允许计数频率10MHz的82c54,振荡器为频率为723MHz的JE0723型介质振荡器。在3m激光测长机上的实验证实:系统分辨率为0.32μm时,最大允许测量速度可达1300mm/s,能满足各种高速运动设备的检测及标定需求。 展开更多

关键词 高测速 双纵模 双频激光干涉仪 振荡器 计数频率

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双纵模激光器的热稳频控制系统的研究 被引量：1

6

作者 朱目成 张涛 +1 位作者 尹伯彪 周肇飞 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z2期581-582,589,共3页

介绍了双纵模热稳频控制系统的构成、原理及系统建模,并引入自适应算法提高稳频精度,缩短稳频时间,经实验验证,证明该系统对双纵模激光器的热稳频控制是实用的。

关键词 热稳频 模型预测控制 自组织 自适应算法

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高精度高测速双纵模热稳频激光干涉仪研究 被引量：2

7

作者 周秀云 张涛 程玉华 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期451-454,共4页

现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm/s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。为此该文采用长度为206mm、频差约728MHz的普通全内腔He-Ne热稳频激光器为光源,外加带有高频振荡器形成... 现代机械工业的发展使得数控机床和三坐标测量机等的运行速度已经达到1000mm/s,而目前商用外差干涉仪的测量速度不能满足这一要求。为此该文采用长度为206mm、频差约728MHz的普通全内腔He-Ne热稳频激光器为光源,外加带有高频振荡器形成的交流信号进行脉冲计数的信号处理电路,构成高精度高速双纵模热稳频激光干涉仪。通过实验对干涉仪的测量速度和精度进行了验证,其精度达到0.1μm/800mm。实验证明,该干涉仪可以对速度为1000mm/s的运动物体进行位移和速度测量。 展开更多

关键词 双频激光干涉仪:频差:高精度高测速 热稳频激光器

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小波分析在大尺寸测量中的应用研究 被引量：1

8

作者 周秀云 张涛 周肇飞 《工具技术》 北大核心 2007年第6期97-99,共3页

利用小波变换具有空间局部化特性和表征信号奇异性能力,在适当尺度下刻画大尺寸测量信号的过零点进行小波锐化,解决了大尺寸测量过程中节点确定误差,实验研究表明该方法可行。

关键词 大尺寸测量 小波变换 奇异性

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双纵模He-Ne激光无导轨大尺寸测量仪研究

9

作者 张涛 杨春生 周肇飞 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第z3期60-64,共5页

一种基于拍波干涉原理的无导轨大尺寸测量系统已研制成功。它以双纵模热稳频 He-Ne 激光为光源,其两纵模生成于同一振腔内具有天然同轴的优势,在整个测量范围内不会发生光束分离。两纵模频差约790MHz,拍波波长约380 mm。其稳定度(即拍... 一种基于拍波干涉原理的无导轨大尺寸测量系统已研制成功。它以双纵模热稳频 He-Ne 激光为光源,其两纵模生成于同一振腔内具有天然同轴的优势,在整个测量范围内不会发生光束分离。两纵模频差约790MHz,拍波波长约380 mm。其稳定度(即拍波波长稳定度)与激光频率稳定度相同,在无空调并有冷热气流吹拂时可保证不低于10^(-7)。两纵模频差以拍波节点为对准标志,采用自适应滤波和小波锐化器有效滤除噪声,从而提高了节点检测的测量精度。测量起点和终点到最近节点的距离由同一光源分出来的双频干涉仪精确测定,分辨力为0.08μm。经实验验证:系统的测量范围大于20 m,测量不确定度优于30μm/10 m。 展开更多

关键词 大尺寸 拍波 双纵模 节点 不确定度

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用于研究剪切场下聚合物共混体系相结构的激光散射分析系统

10

作者 邱瑜 周肇飞 +1 位作者 黄伟 雷彩虹 《四川大学学报（工程科学版）》 EI CAS CSCD 2001年第4期102-105,共4页

基于各种高分子共混体系具有不同的偏光和散射性质 ,研制成一种激光散射分析系统。光源为可变偏振面的He -Ne激光 ,可旋转的压玻片能对被测共混体系施加剪切力。采用高分辨率的CCD摄象机接收光散射信号 ,并开发了集数据采集显示和分析... 基于各种高分子共混体系具有不同的偏光和散射性质 ,研制成一种激光散射分析系统。光源为可变偏振面的He -Ne激光 ,可旋转的压玻片能对被测共混体系施加剪切力。采用高分辨率的CCD摄象机接收光散射信号 ,并开发了集数据采集显示和分析于一体的软件体系 ,实现了对高分子共混体系相结构的分析研究。 展开更多

关键词 高分子共混体系 相结构 激光散射 剪切场

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图像处理技术在机动车检测行业中的应用 被引量：12

11

作者 陆艺 杨春生 +1 位作者 张涛 闫晓茹 《中国测试技术》 CAS 2003年第6期36-37,共2页

数字图像处理是近年来快速发展的一门学科,本文介绍了图像处理在汽车检测行业中的应用。重点介绍了在机动车前照灯检测仪、汽车车牌识别系统以及汽车车身曲面形状X测量中的应用,这些应用充分体现了图像处理技术精度高、系统可靠性好、... 数字图像处理是近年来快速发展的一门学科,本文介绍了图像处理在汽车检测行业中的应用。重点介绍了在机动车前照灯检测仪、汽车车牌识别系统以及汽车车身曲面形状X测量中的应用,这些应用充分体现了图像处理技术精度高、系统可靠性好、快速、灵活等优点。 展开更多

关键词 数字图像处理 前照灯 车牌识别 机动车 检测仪

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实用双纵模激光精密测距仪 被引量：7

12

作者 张涛 周肇飞 +1 位作者 周秀云 陈琍 《四川大学学报（工程科学版）》 EI CAS CSCD 2001年第3期89-91,共3页

分析了无导轨大尺寸测量技术的现状 ,指出采用He -Ne激光器进行多波长干涉小数重合法测量大尺寸能较为有效地解决无导轨大尺寸测量问题 ,在分析了现有的两种He -Ne激光多波长干涉无导轨大尺寸测量技术的特点的基础上 ,介绍了一种稳频系... 分析了无导轨大尺寸测量技术的现状 ,指出采用He -Ne激光器进行多波长干涉小数重合法测量大尺寸能较为有效地解决无导轨大尺寸测量问题 ,在分析了现有的两种He -Ne激光多波长干涉无导轨大尺寸测量技术的特点的基础上 ,介绍了一种稳频系统简单可靠 ,频率及频差稳定 (在工业现场环境 ) ,合成波长合适 ,测量过程简捷的双纵模激光精密测距仪 ,它完全满足对大尺寸工件进行测量的精度及环境的适用性的要求 ,其在 5 0m测量范围内精度可达± (5 0 + 1.5× 10 -6L ) μm 。 展开更多

关键词 无导轨大尺寸测量 双纵模稳频激光精密测距仪 多光束干涉 拍波干涉 多波长激光

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在线检测超精细表面微观形貌的激光轮廓仪 被引量：6

13

作者 周肇飞 张涛 +1 位作者 周卫东 李文杰 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期7-10,共4页

介绍一种可用于在线和在位检测的高分辨力激光轮廓仪。此仪器具有很高的共模抑制比和同类型仪器中最小的形状误差。分辨力优于 0 .2 nm( Ra)。

关键词 激光轮廓仪 表面测量 在线检测 微观形貌检测

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全色彩RGB灯电控光源设计研究 被引量：2

14

作者 张杰 余敏 +2 位作者 张涛 肖鹏 马强 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1047-1052,共6页

介绍星敏感器和星模拟器在航空器空间姿态确定中的作用和地位及其基本工作原理。依据色度学理论与公式,分析如何使用红、绿、蓝三原色合成各种颜色的光源,并推导三原色色品坐标和亮度与合成光源色品坐标之间的数学方程式。在理论研究的... 介绍星敏感器和星模拟器在航空器空间姿态确定中的作用和地位及其基本工作原理。依据色度学理论与公式,分析如何使用红、绿、蓝三原色合成各种颜色的光源,并推导三原色色品坐标和亮度与合成光源色品坐标之间的数学方程式。在理论研究的基础上,设计一种以全色彩RGB灯作为发光器件的静态多路星模拟器电控光源。在实验室条件下,对电控光源系统输出光功率和峰值波长的稳定性进行测试实验,并给出实验结果。实验结果表明:单个光源的短期稳定性均优于1/1 000。 展开更多

关键词 星模拟器 光源 全色彩RGB灯 电控系统 稳定性

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集成光电传感器的研究 被引量：2

15

作者 黄伟 周肇飞 张涛 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期595-597,共3页

为适应现代加工技术的需要 ,研制了一种集成非接触式光电传感器 ,它将几何量测量中常见的干涉法测量微观形貌、三角法测量微位移、散射法测量表面粗糙度 3种测量方式结合起来 ,实现同时测量 3种参数的功能。通过运用自适应滤波对数据进... 为适应现代加工技术的需要 ,研制了一种集成非接触式光电传感器 ,它将几何量测量中常见的干涉法测量微观形貌、三角法测量微位移、散射法测量表面粗糙度 3种测量方式结合起来 ,实现同时测量 3种参数的功能。通过运用自适应滤波对数据进行处理 ,其测量精度与单功能传感器相近。 展开更多

关键词 光电传感器 传感器集成 粗糙度 微位移 微观轮廓

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小型星模拟器系统的设计研究 被引量：3

16

作者 张杰 张涛 况涉青 《应用光学》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期920-927,共8页

基于超小型P13XM015型TFT-LCD技术的小型星模拟器的工作原理,及其在工程应用中整个系统的设计、制造、加工、调试和检测技术,提出对星间间距采用软件修正以及先分别测量再组合修正的方法,对星等采用使用相适应的仪器星等的方法。采用模... 基于超小型P13XM015型TFT-LCD技术的小型星模拟器的工作原理,及其在工程应用中整个系统的设计、制造、加工、调试和检测技术,提出对星间间距采用软件修正以及先分别测量再组合修正的方法,对星等采用使用相适应的仪器星等的方法。采用模块化方法设计了小型星模拟器系统的光学系统准直物镜、模拟星库的编制、坐标转换、位置解算、系统控制软件等。在实验室实现了整个系统的组装,搭建了控制和测试平台,并给出了实验结果。实验结果表明:本系统的星库精度及星位置解算误差δ1≤2″,角分辨率误差δ2≤3.43″。 展开更多

关键词 小型星模拟器 星间间距 星等 星库精度 位置解算

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石油机械大尺寸零件精密测量装置研究 被引量：1

17

作者 周秀云 周肇飞 张涛 《西南石油大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期145-148,共4页

研究了一种可用于工业现场进行大尺寸零件精密测量的装置。该装置以有高稳定性和强抗干扰能力(室外时频率稳定性可达10-7)的双纵模热稳频He—Ne激光器为光源,其拍频频率约为790MHz,拍频波长λ约380mm,拍频波长为测量基准;以拍频波节点... 研究了一种可用于工业现场进行大尺寸零件精密测量的装置。该装置以有高稳定性和强抗干扰能力(室外时频率稳定性可达10-7)的双纵模热稳频He—Ne激光器为光源,其拍频频率约为790MHz,拍频波长λ约380mm,拍频波长为测量基准;以拍频波节点为对准标志,最邻近节点到被测点的尾数间距x1,x2用组合于同一光路中的分系统激光干涉仪测量,分辨率为0.08μm的方法来进行大尺寸L的测量。测试表明,此装置具有很好的环境适应性和同类仪器中最高的频差稳定度。整个测量系统可在0～20m范围内工作,测量不确定度优于±30μm/10m。对石油机械大尺寸零件测量的环境性和高精度性研究具有重要意义。 展开更多

关键词 大尺寸测量 双纵模激光 拍频频差 高精度 不确定度 石油机械

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光干涉法测量微机械零件变形的研究 被引量：1

18

作者 田云辉 王世华 +1 位作者 张涛 周肇飞 《光电工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期37-41,共5页

介绍了用光干涉法测量微加速度计零件变形的研究。将准直单色光投射入由一玻璃片和被 测件之间形成的空气楔中,被测件表面和玻璃片底面反射的光发生干涉,由面阵CCD接收。用快速傅立叶变换 (FFT)图像处理方法得到被测微悬臂梁的三维形变... 介绍了用光干涉法测量微加速度计零件变形的研究。将准直单色光投射入由一玻璃片和被 测件之间形成的空气楔中,被测件表面和玻璃片底面反射的光发生干涉,由面阵CCD接收。用快速傅立叶变换 (FFT)图像处理方法得到被测微悬臂梁的三维形变图。该方法可对微小器件的微位移作分辨力为 10nm的测量,并直观的显示测量结果。 展开更多

关键词 光干涉法 变形测量 微加速度计 机械零部件

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精密测量用光电传感器集成化研究 被引量：1

19

作者 周肇飞 李文杰 +1 位作者 王世华 张涛 《光电工程》 CAS CSCD 2000年第5期31-35,共5页

描述将散射法、三角法、干涉法三种不同工作原理的光电传感器功能集成为一个新的传感器 ,即一个具有同一光源、共用光路和同一光电信号接收器件的传感器。它可同时测量 Ra=0 .0 0 2 5μm～ 5μm范围内的表面粗糙度、表面微观形貌 ,以及 ... 描述将散射法、三角法、干涉法三种不同工作原理的光电传感器功能集成为一个新的传感器 ,即一个具有同一光源、共用光路和同一光电信号接收器件的传感器。它可同时测量 Ra=0 .0 0 2 5μm～ 5μm范围内的表面粗糙度、表面微观形貌 ,以及 0～ 30 0μm的微小位移。测量精度与采用前述三种工作原理的单个传感器相近。 展开更多

关键词 光电传感器 精密测量 表面粗糙度测量 集成化

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双纵模热稳频模糊控制方法的研究 被引量：5

20

作者 尹伯彪 杨春生 +1 位作者 张涛 陆艺 《中国测试技术》 CAS 2003年第3期15-16,44,共3页

本文给出了一种热稳频模糊控制系统 ,该系统利用自组织模糊控制的原理 ,通过控制加在激光管上电阻丝的电流和激光管的放电电流 ,使激光管的温度发生相应的变化 ,以达到控制激光管谐振腔长度的目的 。

关键词 双频激光器 频率稳定 模糊控制 热稳频 控制方法 干涉仪

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