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题名新型水晶体波谐振式膜厚传感器
被引量：2
- 1
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作者
徐军
李欣
林冬辉
李瑞杰
林江
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机构
哈尔滨理工大学工业技术学院
哈尔滨龙成新能源高科技开发公司
大庆采油二厂
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出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2001年第4期27-30,共4页
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文摘
介绍一种利用B模式厚度切变体波工作的新型水晶谐振式膜厚传感器。它采用修正式SC切型 ,以同线场电极激励。它可以在 10～ 2 80℃范围内工作 ,其测量范围为 0 .1～ 80nm ,准确度为 0 .0 2nm。
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关键词
膜厚传感器
厚度切变振动
水晶体波
SC切型
同线场电极
谐振式
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Keywords
thin-film thickness sensor
B mode
thickness shear vibration
modified SC-cut
in-line field electrode.
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分类号
TP212.12
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名适宜动态检测的新型谐振式水晶温度传感器
被引量：4
- 2
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作者
徐军
李欣
林冬辉
陈冬维
林江
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机构
哈尔滨理工大学工业技术学院
哈尔滨龙成新能源高科技开发公司
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出处
《传感器技术》
CSCD
2000年第2期35-37,共3页
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文摘
成功地研制一种适宜动态温度检测的厚度切变C模工作的压电谐振式水晶温度传感器。它采用NLSC切型 ,变形的平凸结构 ,谐振频率为 19.5MHz。实测表明 ,其Q值为 2 1.3× 10 4 ,电容比为 72 0 ,温度系数为 18.8× 10 -6/℃。响应速度为 2s,经 15 0 0次热冲击试验 ,准确度不变。
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关键词
温度传感器
压电水晶谐振器
动态温度测量
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Keywords
temperature sensor
piezoelectric quartz resonator
dynamic temperature detection
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH811
[机械工程—精密仪器及机械]
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