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静电键合在高温压力传感器中的应用
被引量:
7
1
作者
王蔚
刘晓为
+3 位作者
刘玉强
王喜莲
张建才
张雪梅
《传感器技术》
CSCD
1999年第1期42-44,共3页
分析了硅-玻璃静电键合界面受热循环作用,或者受反向电压作用后,在高温时,键合力的特点,实验验证了高温(450℃)时键合面牢固、稳定。研究结果表明高温压力传感器可以采用静电键合技术进行封装。
关键词
静电键合
高温稳定性
压力传感器
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职称材料
液态物质电学参数的线性化测量
2
作者
陈春天
曹伟
甄伟
《电测与仪表》
北大核心
1997年第9期23-24,共2页
本文分析了液体电导和电容线性化测量器的基本理论;采用两个电阻调节器对所测参数线性补偿的方法进行测量;给出了实现该测量器的构成原理图。
关键词
液体电导
电容
线性化
电学参数
液态物质
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职称材料
四通道精密数据采集系统的电路设计
3
作者
马洪涛
沙占友
甄伟
《电测与仪表》
北大核心
1997年第12期13-15,共3页
本文介绍由TC534、8031单片机和MAX719构成的四通道精密数据采集系统及其转换速率、分辨力等参数的调整,它可对4路-4.2-+4.2V输入电压进行数据采集、A/D转换和数字显示,并在微机的配合下完成数据处理与...
本文介绍由TC534、8031单片机和MAX719构成的四通道精密数据采集系统及其转换速率、分辨力等参数的调整,它可对4路-4.2-+4.2V输入电压进行数据采集、A/D转换和数字显示,并在微机的配合下完成数据处理与广泛用于精密测量及工业自动控制领域。
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关键词
数据采集系统
串行接口
参数调整
电路
四通道
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职称材料
题名
静电键合在高温压力传感器中的应用
被引量:
7
1
作者
王蔚
刘晓为
刘玉强
王喜莲
张建才
张雪梅
机构
哈尔滨
工业大学微电子技术教研室
东北传感技术研究所
哈尔滨无线电七厂
出处
《传感器技术》
CSCD
1999年第1期42-44,共3页
文摘
分析了硅-玻璃静电键合界面受热循环作用,或者受反向电压作用后,在高温时,键合力的特点,实验验证了高温(450℃)时键合面牢固、稳定。研究结果表明高温压力传感器可以采用静电键合技术进行封装。
关键词
静电键合
高温稳定性
压力传感器
Keywords
Anodic bonding High temperature stability Pressure sensor
分类号
TH812.06 [机械工程—精密仪器及机械]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
液态物质电学参数的线性化测量
2
作者
陈春天
曹伟
甄伟
机构
哈尔滨
理工大学
哈尔滨无线电七厂
出处
《电测与仪表》
北大核心
1997年第9期23-24,共2页
文摘
本文分析了液体电导和电容线性化测量器的基本理论;采用两个电阻调节器对所测参数线性补偿的方法进行测量;给出了实现该测量器的构成原理图。
关键词
液体电导
电容
线性化
电学参数
液态物质
分类号
O552.424 [理学—热学与物质分子运动论]
TM933 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
四通道精密数据采集系统的电路设计
3
作者
马洪涛
沙占友
甄伟
机构
石家庄河北科技大学
哈尔滨无线电七厂
出处
《电测与仪表》
北大核心
1997年第12期13-15,共3页
文摘
本文介绍由TC534、8031单片机和MAX719构成的四通道精密数据采集系统及其转换速率、分辨力等参数的调整,它可对4路-4.2-+4.2V输入电压进行数据采集、A/D转换和数字显示,并在微机的配合下完成数据处理与广泛用于精密测量及工业自动控制领域。
关键词
数据采集系统
串行接口
参数调整
电路
四通道
分类号
TP273.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
静电键合在高温压力传感器中的应用
王蔚
刘晓为
刘玉强
王喜莲
张建才
张雪梅
《传感器技术》
CSCD
1999
7
在线阅读
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职称材料
2
液态物质电学参数的线性化测量
陈春天
曹伟
甄伟
《电测与仪表》
北大核心
1997
0
在线阅读
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职称材料
3
四通道精密数据采集系统的电路设计
马洪涛
沙占友
甄伟
《电测与仪表》
北大核心
1997
0
在线阅读
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职称材料
已选择
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