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飞秒激光与宽带隙材料相互作用机理研究
被引量：
10
1
作者
姜涛
赵清亮
+2 位作者
董志伟
樊荣伟
于欣
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2010年第6期1044-1048,共5页
应用处于近红外区域波段的飞秒激光对宽带隙材料SiC的烧蚀机理及其相互作用过程进行了研究。分别采用扫描电子显微镜(SEM)、表面粗糙度轮廓仪(Talysurf)和光学显微镜(OM)等分析技术对烧蚀区和未烧蚀区的表面微观形貌进行了检测和评价。...
应用处于近红外区域波段的飞秒激光对宽带隙材料SiC的烧蚀机理及其相互作用过程进行了研究。分别采用扫描电子显微镜(SEM)、表面粗糙度轮廓仪(Talysurf)和光学显微镜(OM)等分析技术对烧蚀区和未烧蚀区的表面微观形貌进行了检测和评价。不仅在烧蚀表面观察到了烧蚀区、定向波纹区和改性区等不同形貌特征,而且对加工阶段进行分离,并求出加工SiC时强烧蚀和弱烧蚀的阈值分别为0.13 J/cm2和0.61 J/cm2。根据实验结果得到了加工参数与烧蚀形貌之间的映射关系,发现入射激光的能量是决定材料去除方式的关键参数。
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关键词
飞秒激光
SIC
烧蚀阈值
材料去除机理
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职称材料
题名
飞秒激光与宽带隙材料相互作用机理研究
被引量：
10
1
作者
姜涛
赵清亮
董志伟
樊荣伟
于欣
机构
哈尔滨工业大学精密工程研究所．黑龙江哈尔滨
哈尔滨工业大学
光电子技术
研究所
可调谐(气体)激光技术国家级重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2010年第6期1044-1048,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(50675051)
科技重大专项资助项目(2009ZX04001-101)
文摘
应用处于近红外区域波段的飞秒激光对宽带隙材料SiC的烧蚀机理及其相互作用过程进行了研究。分别采用扫描电子显微镜(SEM)、表面粗糙度轮廓仪(Talysurf)和光学显微镜(OM)等分析技术对烧蚀区和未烧蚀区的表面微观形貌进行了检测和评价。不仅在烧蚀表面观察到了烧蚀区、定向波纹区和改性区等不同形貌特征,而且对加工阶段进行分离,并求出加工SiC时强烧蚀和弱烧蚀的阈值分别为0.13 J/cm2和0.61 J/cm2。根据实验结果得到了加工参数与烧蚀形貌之间的映射关系,发现入射激光的能量是决定材料去除方式的关键参数。
关键词
飞秒激光
SIC
烧蚀阈值
材料去除机理
Keywords
Femtosecond laser
SiC
Ablation threshold
Material ablation mechanisms
分类号
O439 [机械工程—光学工程]
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作者
出处
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被引量
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1
飞秒激光与宽带隙材料相互作用机理研究
姜涛
赵清亮
董志伟
樊荣伟
于欣
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2010
10
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