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高精度扩散硅绝对压力计的研制
被引量：
2
1
作者
张秀珍
孙正鼐
马秀娟
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002年第6期25-27,共3页
采用扩散硅绝对压力传感器为检测部件 ,研制出高精度绝对压力计 ,重点介绍绝对压力计的工作原理及为提高仪表精确度所进行的温度补偿。
关键词
扩散硅绝对压力计
绝对压力计
温度补偿
压力传感器
压力测量
在线阅读
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职称材料
题名
高精度扩散硅绝对压力计的研制
被引量：
2
1
作者
张秀珍
孙正鼐
马秀娟
机构
哈尔滨工业大学威海分校信息与控制工程系
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002年第6期25-27,共3页
文摘
采用扩散硅绝对压力传感器为检测部件 ,研制出高精度绝对压力计 ,重点介绍绝对压力计的工作原理及为提高仪表精确度所进行的温度补偿。
关键词
扩散硅绝对压力计
绝对压力计
温度补偿
压力传感器
压力测量
Keywords
absolute pressure gauge
high accuracy
temperature compensation
分类号
TH812 [机械工程—精密仪器及机械]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
出处
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1
高精度扩散硅绝对压力计的研制
张秀珍
孙正鼐
马秀娟
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002
2
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