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功率晶体管芯片的电泳法玻璃钝化研究
被引量：
1
1
作者
林逸青
刘园丁
黄拔波
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989年第5期88-92,共5页
本文介绍了电泳法淀积7801—5锌系玻璃粉钝化功率晶体管芯,并对电泳法原理、影响因素、玻璃粉烧结工艺进行了探讨;对钝化前后的器件做了测试;管芯反向漏电流得到改善,钝化后管芯分别在250℃和175℃温度下进行高温贮存试验取得满意结果....
本文介绍了电泳法淀积7801—5锌系玻璃粉钝化功率晶体管芯,并对电泳法原理、影响因素、玻璃粉烧结工艺进行了探讨;对钝化前后的器件做了测试;管芯反向漏电流得到改善,钝化后管芯分别在250℃和175℃温度下进行高温贮存试验取得满意结果.说明电泳法淀积7801—5锌系玻璃粉钝化工艺可提高半导体器件的稳定性和可靠性.
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关键词
功率晶体管
芯片
电泳
玻璃
纯化
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职称材料
题名
功率晶体管芯片的电泳法玻璃钝化研究
被引量：
1
1
作者
林逸青
刘园丁
黄拔波
机构
哈尔滨工业大学半导体物理与器件教研室
出处
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989年第5期88-92,共5页
文摘
本文介绍了电泳法淀积7801—5锌系玻璃粉钝化功率晶体管芯,并对电泳法原理、影响因素、玻璃粉烧结工艺进行了探讨;对钝化前后的器件做了测试;管芯反向漏电流得到改善,钝化后管芯分别在250℃和175℃温度下进行高温贮存试验取得满意结果.说明电泳法淀积7801—5锌系玻璃粉钝化工艺可提高半导体器件的稳定性和可靠性.
关键词
功率晶体管
芯片
电泳
玻璃
纯化
Keywords
Electrophoresis
passivation
sintering transistor.
分类号
TN323.4 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
功率晶体管芯片的电泳法玻璃钝化研究
林逸青
刘园丁
黄拔波
《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1989
1
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