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题名一种MEMS薄膜材料的力学性能测试方法
被引量：2
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作者
李雪萍
丁桂甫
安藤妙子
式田光宏
佐藤一雄
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机构
上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室
名古屋大学微纳系统工程系
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第2期85-87,91,共4页
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基金
中国博士后科学基金资助项目(2005038145)
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文摘
介绍了一种用于MEMS薄膜材料力学特性测试的单轴拉伸试验方法。其特点是微小试件两端固定,且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量,提高对准精度。整个机构以微细加工方法制成,硅类试件以干法蚀刻成型,金属类试件以电镀方法成型,其余加载机构以湿法刻蚀制成。试验表明:使用此机构可以简单且高精度地对薄膜试件进行拉伸试验,获得多项力学性能参数,从而为MEMS器件设计和分析提供可靠的理论基础。
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关键词
微机电系统
力学性能
薄膜
拉伸试验
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Keywords
micro-electro-mechanical system （MEMS）
mechanical property
thin film
tensile test
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分类号
TG115.5
[金属学及工艺—物理冶金]
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题名一种用于测试坡莫合金薄膜机械性能的拉伸模型
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作者
李雪萍
丁桂甫
安藤妙子
式田光宏
佐藤一雄
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机构
上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家级重点实验室
名古屋大学微纳系统工程系
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第05A期1595-1598,共4页
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基金
博士后科学基金资助(2005038145)
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文摘
坡莫合金(Ni80Fe20)薄膜是微机电系统常用的磁性材料之一.介绍了一种用于测试其机械性能的单轴拉伸试验模型.此模型的特点是微小试件两端固定、且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量、提高对准精度.整个机构以微细加工方法制成:坡莫合金拉伸试件以光刻和电镀技术成型,其余的加载机构以湿法蚀刻制成.实验表明:使用此机构可以简单且高精度地对薄膜试件进行拉伸试验,获得多项力学性能参数,从而为MEMS器件设计和分析提供可靠的理论基础.
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关键词
微机电系统
机械性能
坡莫合金
拉伸试验
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Keywords
micro-electro-mechanical system （MEMS）
mechanical property
permalloy
tensile test
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分类号
TG115
[金属学及工艺—物理冶金]
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