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拼接原子光刻光栅衍射性能研究
1
作者 吴益泽 薛栋柏 +3 位作者 肖光旭 沈俊宇 邓晓 孔明 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第3期228-237,共10页
光栅干涉仪作为一种精密位移测量手段,具备高精度、高分辨力以及强抗干扰能力等优势。光栅作为干涉仪的测量基准,其周期准确性与位移测量结果的精度直接相关。基于原子光刻沉积技术的原子光刻光栅周期直接溯源至铬原子跃迁频率,将其运... 光栅干涉仪作为一种精密位移测量手段,具备高精度、高分辨力以及强抗干扰能力等优势。光栅作为干涉仪的测量基准,其周期准确性与位移测量结果的精度直接相关。基于原子光刻沉积技术的原子光刻光栅周期直接溯源至铬原子跃迁频率,将其运用于光栅干涉仪的研制,使得测量结果可直接溯源,保障了测量结果的准确性和一致性。然而单次原子光刻制备的光栅面积较小,限制了干涉仪的测量量程。尽管采用拼接原子光刻技术可实现原子光刻光栅面积的延拓,且理论上不引入周期误差,但是拼接区域光栅峰谷高度存在不均匀性,将会影响光栅的衍射效率。文中基于严格耦合波分析理论对拼接原子光刻光栅的衍射特性进行了仿真分析,当光栅峰谷高度从30~85 nm改变时,TE偏振入射光对应衍射效率从0.3%升高至1.9%,TM偏振入射光对应衍射效率随着峰谷高度变化逐步升高,最大值可达36.8%。同步进行了光栅衍射性能的实验测试,结果表明实验测试结果与仿真理论结果的变化趋势一致。该研究为基于拼接原子光刻光栅的直接溯源型光栅干涉仪测量量程扩展提供了技术指导。 展开更多
关键词 拼接原子光刻光栅 峰谷高度 衍射效率 严格耦合波理论
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低亚表面损伤石英光学基底的加工和检测技术 被引量：14
2
作者 马彬 沈正祥 +5 位作者 张众 贺鹏飞 季一勤 刘华松 刘丹丹 王占山 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第9期2181-2185,共5页
制备低亚表面损伤的超光滑光学基底,是获得高损伤阈值薄膜的前提条件。针对石英材料在不同加工工序中引入亚表面损伤层的差异,首先利用共焦显微成像结合光散射的层析扫描技术,对W10和W5牌号SiC磨料研磨后的亚表面缺陷进行了检测,讨论了... 制备低亚表面损伤的超光滑光学基底,是获得高损伤阈值薄膜的前提条件。针对石英材料在不同加工工序中引入亚表面损伤层的差异,首先利用共焦显微成像结合光散射的层析扫描技术,对W10和W5牌号SiC磨料研磨后的亚表面缺陷进行了检测,讨论了缺陷尺寸与散射信号强度、磨料粒径与损伤层深度间的对应关系;同时,采用化学腐蚀处理技术对抛光后样品的亚表面形貌进行了刻蚀研究,分析了化学反应生成物和亚表面缺陷对刻蚀速率的影响、不同深度下亚表面缺陷的分布特征,以及均方根粗糙度与刻蚀深度间的联系。根据各道加工工艺的不同采用了相应的亚表面检测技术,由此来确定下一道加工工序,合理的去除深度,最终获得了极低亚表面损伤的超光滑光学基底。 展开更多
关键词 亚表面损伤层 共焦显微成像 光散射 化学腐蚀 刻蚀速率
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极紫外光刻给光学技术带来的挑战 被引量：2
3
作者 王占山 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第z2期151-,共1页
概述了极紫外光刻技术的发展,阐明了极紫外光刻技术的特点,说明了极紫外光刻的关键光学技术。极紫外光刻中光学元件的评价需要采用随空间波长变化的表面功率谱密度进行评价,分析了不同区域内表面误差对极紫外光刻系统性能的影响,给出了... 概述了极紫外光刻技术的发展,阐明了极紫外光刻技术的特点,说明了极紫外光刻的关键光学技术。极紫外光刻中光学元件的评价需要采用随空间波长变化的表面功率谱密度进行评价,分析了不同区域内表面误差对极紫外光刻系统性能的影响,给出了极紫外光刻对相应空间波长区域的技术要求和现在技术能够达到的水平。根据这些问题,重点说明了极紫外光刻如何将光学加工、检测和镀膜技术带到了原子尺度。最后建议我国能够抓紧时间,尽快启动相关研究,推动我国相关领域的发展。 展开更多
关键词 极紫外光刻 掩模 投影物镜
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远紫外波段薄膜器件的研究进展(特邀) 被引量：1
4
作者 张锦龙 李双莹 +3 位作者 吴奇泽 焦宏飞 程鑫彬 王占山 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期25-39,共15页
远紫外波段在太阳物理学、天文和气象观测中都具有重要的科学意义和应用价值。远紫外薄膜器件是其中的基石和限制其性能的主要因素。本文介绍了远紫外波段薄膜材料的选择和光学常数的精确表征,回顾了宽带铝加氟化物反射薄膜保护薄膜技... 远紫外波段在太阳物理学、天文和气象观测中都具有重要的科学意义和应用价值。远紫外薄膜器件是其中的基石和限制其性能的主要因素。本文介绍了远紫外波段薄膜材料的选择和光学常数的精确表征,回顾了宽带铝加氟化物反射薄膜保护薄膜技术的研究进展,介绍了远紫外波段窄带反射、透射薄膜的设计理念和制备技术,对远紫外波段薄膜材料、常用器件潜在的研究热点、发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 远紫外 薄膜器件及应用 薄膜光学 光学常数 光学性质
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声子极化激元干涉条纹周期的精密测量研究
5
作者 尹志珺 王振兴 +3 位作者 李荃 宋仁康 邓晓 雷李华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第12期14-22,共9页
二维材料由于其独特的物理化学性质,对纳米光子学及光电子学的应用与发展具有重要研究价值。特别是二维材料中声子与光子耦合激发产生的声子极化激元高度局域在纳米尺度,在片上光子学的光学操控和能量传输等前沿研究领域具有极大的应用... 二维材料由于其独特的物理化学性质,对纳米光子学及光电子学的应用与发展具有重要研究价值。特别是二维材料中声子与光子耦合激发产生的声子极化激元高度局域在纳米尺度,在片上光子学的光学操控和能量传输等前沿研究领域具有极大的应用潜力。同时,光电器件制造进入纳米节点,器件应用对材料表征精度具有纳米级的要求。然而目前对声子极化激元特性分析的关键之一在于测量其干涉条纹周期,测量结果准确性依赖于仪器设备校准。因此,为实现对声子极化激元干涉条纹的精确测量,文中提出构建铬原子自溯源型光栅与二维材料的复合结构,分析金属光栅结构周期性变化对二维材料的声子极化激元耦合增强与调制作用,以及基于该原理实现对声子极化激元干涉条纹周期的精密测量。研究实现了测量干涉条纹周期为(261.01±0.34)nm的亚纳米级高精度测量,相比具有不确定度为4 nm的传统拟合测量方式具有可溯源的计量精度,同时实现了对测量仪器的亚纳米级精密校准。自溯源光栅天然溯源至基本自然常数的特性使得测量结果具备极好的准确性和可靠性,为二维材料在微纳光子学器件领域的应用提供了保障。 展开更多
关键词 自溯源光栅 二维材料 声子极化激元 纳米计量
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亚波长介质光栅导模共振研究 被引量：22
6
作者 桑田 王占山 +3 位作者 吴永刚 林小燕 田国勋 陈玲燕 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期641-645,共5页
从平板波导的本征值方程出发,导出弱调制介质光栅共振位置的表达式,其预测结果与利用严格的耦合波理论所得值一致·对正入射时导模共振产生双反射峰现象进行解释,并就导模共振对入射角和光栅周期敏感性的成因进行了探讨·从薄... 从平板波导的本征值方程出发,导出弱调制介质光栅共振位置的表达式,其预测结果与利用严格的耦合波理论所得值一致·对正入射时导模共振产生双反射峰现象进行解释,并就导模共振对入射角和光栅周期敏感性的成因进行了探讨·从薄膜的特征矩阵方程出发,在理论上分析了利用导模共振获得性能良好的反射滤光片的途径· 展开更多
关键词 导模共振 介质光栅 共振位置 反射滤光片
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ICF用Kirkpatrick-Baez型显微镜光学设计 被引量：20
7
作者 穆宝忠 伊圣振 +1 位作者 黄圣铃 王占山 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期409-412,共4页
提出了直接针对惯性约束聚变(ICF)诊断目标的X射线Kirkpatrick-Baez型显微镜的像差校正和光学设计方法。在校正掠入射细光束像散的基础上,推导了内爆压缩区全视场范围内的垂轴像差表达式,进而构建了系统的空间分辨率预测模型。基于对空... 提出了直接针对惯性约束聚变(ICF)诊断目标的X射线Kirkpatrick-Baez型显微镜的像差校正和光学设计方法。在校正掠入射细光束像散的基础上,推导了内爆压缩区全视场范围内的垂轴像差表达式,进而构建了系统的空间分辨率预测模型。基于对空间分辨率和集光立体角两个关键指标的分析,结合ICF的实验要求,得到了系统的初始结构参数确定原则和光学设计流程。实例表明,该方法克服了传统的轴上球差评价的不足,设计结果能够同时满足内爆压缩区的视场、分辨率和集光效率的要求。 展开更多
关键词 Kirkpatrick-Baez型显微镜 惯性约束聚变 垂轴像差 空间分辨率
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基于非周期多层膜的X射线成像研究 被引量：10
8
作者 顾春时 王占山 +4 位作者 穆宝忠 王风丽 张众 秦树基 陈玲燕 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期881-885,共5页
本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量·使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2μm,200微米视场... 本文设计了惯性约束聚变(ICF)诊断实验用X射线Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜,给出了系统的结构参量·使用ZEMAX光学软件对KB型显微镜进行了性能模拟,结果表明:在8keV能点,放大率为8倍时,轴上点的最佳空间分辨率小于2μm,200微米视场的空间分辨率优于10μm·采用磁控溅射方法制备了W/B4C非周期多层膜,经X射线衍射仪(XRD,工作能量8keV)测量,其反射率为20%,带宽为0.3°,达到了KB型显微镜成像系统的要求·使用Cu靶X射线管进行了成像实验,得到了放大倍数分别为1倍和2倍的一维X射线像· 展开更多
关键词 KB型显微镜 X射线非周期多层膜 X射线成像 空间分辨率
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W/B_4C、W/C、W/Si多层膜的研究 被引量：9
9
作者 王风丽 王占山 +5 位作者 张众 吴文娟 王洪昌 张淑敏 秦树基 陈玲燕 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期28-33,共6页
给出了W/B4C、W/C、W/Si(钨/碳化硼、钨/碳、钨/硅)周期多层膜的制备和测量研究.用超高真空直流磁控溅射方法制备出周期在1.1～7.2 nm范围内的多层膜样品,采用X射线衍射仪(XRD)小角度测量方法检测多层膜的光学性能,并用透射电镜(TEM)对... 给出了W/B4C、W/C、W/Si(钨/碳化硼、钨/碳、钨/硅)周期多层膜的制备和测量研究.用超高真空直流磁控溅射方法制备出周期在1.1～7.2 nm范围内的多层膜样品,采用X射线衍射仪(XRD)小角度测量方法检测多层膜的光学性能,并用透射电镜(TEM)对样品的微观结构进行了研究.结果表明:周期大于1.3 nm的多层膜样品的结构质量高,膜层结构清晰,界面粗糙度小;周期为1.15 nm的多层膜的膜层结构不是很明显;所有膜层均为非晶态,没有晶相生成.结果还表明:采用目前的溅射设备和工艺过程能够制备出满足同步辐射荧光光束线上单色器用多层膜. 展开更多
关键词 多层膜 X射线衍射仪 同步辐射 透射电镜
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刀口技术在激光冷却中的应用 被引量：4
10
作者 王占山 马珊珊 +2 位作者 马艳 赵敏 刘恒彪 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期63-69,共7页
研究了原子束的传输特性、激光冷却的效果及应用刀口技术实现μK量级冷却温度的测量,得出如下结论:原子从原子炉的出射口发射出以后,不论是否经过激光冷却,原子运动的距离越长,分布的均匀性越差。激光冷却可使原子炉出射原子的横向速度... 研究了原子束的传输特性、激光冷却的效果及应用刀口技术实现μK量级冷却温度的测量,得出如下结论:原子从原子炉的出射口发射出以后,不论是否经过激光冷却,原子运动的距离越长,分布的均匀性越差。激光冷却可使原子炉出射原子的横向速度降低几个数量级,使原子束经传输后的横向分布均匀度大大提高。刀口技术可用来测量激光冷却后的温度,测量精度主要由测量荧光的CCD的像元尺寸决定。这些结论对深入开展激光冷却实验具有重要的意义。 展开更多
关键词 激光冷却 速度分布 原子束分布 刀口技术
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薄膜波导光栅滤光片反射特性研究 被引量：7
11
作者 桑田 王占山 +1 位作者 吴永刚 陈玲燕 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第10期1461-1465,共5页
根据将减反射薄膜结构引入波导光栅滤光片中可以较好地抑制反射旁通带的理论,设计了单层、三层薄膜结构的波导光栅滤光片,旨在运用尽可能少的膜层数,在宽光谱范围内得到窄的反射带和高反射峰.运用严格的耦合波理论,对所设计的薄膜波导... 根据将减反射薄膜结构引入波导光栅滤光片中可以较好地抑制反射旁通带的理论,设计了单层、三层薄膜结构的波导光栅滤光片,旨在运用尽可能少的膜层数,在宽光谱范围内得到窄的反射带和高反射峰.运用严格的耦合波理论,对所设计的薄膜波导光栅滤光片的各种可能光栅结构进行了精确计算,得到反射率分布良好的特性曲线,并对计算结果进行分析,同时,还得到一种操作上较易于实现、在宽光谱范围内具有良好反射特性的三层膜光栅结构. 展开更多
关键词 波导光栅 共振 减反射
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界面层对激光减反膜的影响研究 被引量：7
12
作者 季一勤 刘华松 +7 位作者 王占山 陈德应 樊荣伟 姜玉刚 洪伟 刘丹丹 吴志新 王日 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2011年第10期2003-2007,2027,共6页
激光技术的发展对减反膜提出了超高透过率的要求,基板的表面特征在高精度减反膜的设计与制造中不可忽略。选择熔融石英为基板,Ta2O5和SiO2为高低折射率膜层材料,针对在0°入射角下工作的532 nm激光减反膜进行设计与分析,得到膜层内... 激光技术的发展对减反膜提出了超高透过率的要求,基板的表面特征在高精度减反膜的设计与制造中不可忽略。选择熔融石英为基板,Ta2O5和SiO2为高低折射率膜层材料,针对在0°入射角下工作的532 nm激光减反膜进行设计与分析,得到膜层内的电场分布。在模拟计算中将基板的表面粗糙度等效为等比例混合膜,计算分析了理想设计条件下不同厚度界面层的V型减反膜,得到透过率与界面粗糙度的数值函数关系,最后利用数值优化的方法对理想设计进行修正,得到了存在界面层的减反膜修正结果,研究结果有助于实现超高透过率短波长激光减反膜的设计与制备。 展开更多
关键词 激光减反膜 界面层 表面粗糙度 修正设计
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基于辅助光学系统的KB显微镜瞄准方法 被引量：3
13
作者 黄圣铃 穆宝忠 +5 位作者 伊圣振 王新 王占山 丁永坤 缪文勇 董建军 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期841-845,共5页
研究了利用辅助可见光系统精确瞄准KB显微镜物点的方法。设计了工作能点8keV的周期多层膜KB显微镜系统,通过光线追迹和X射线成像实验,得到5μm空间分辨率所对应的视场和景深,进而计算出诊断实验对应的指向和景深要求。基于KB系统的物像... 研究了利用辅助可见光系统精确瞄准KB显微镜物点的方法。设计了工作能点8keV的周期多层膜KB显微镜系统,通过光线追迹和X射线成像实验,得到5μm空间分辨率所对应的视场和景深,进而计算出诊断实验对应的指向和景深要求。基于KB系统的物像关系和精度要求,设计了辅助的可见光成像系统,实现了可见光系统与X射线KB系统间的等效瞄准,利用耦合好的系统进行了瞄准和X射线成像实验。实验结果表明:辅助光路可以实现±20μm的垂轴面和±300μm的轴向定位精度,满足KB显微镜的瞄准要求。 展开更多
关键词 KB显微镜 辅助光学系统 瞄准 景深
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Cr原子在高斯型激光驻波场中汇聚沉积的仿真研究 被引量：2
14
作者 马彬 王占山 +2 位作者 赵敏 马艳 马姗姗 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第6期667-672,共6页
在激光汇聚原子束沉积纳米光栅的研究中,半经典理论是一种简单而有效的方法。利用半经典理论模型,对Cr原子在高斯型激光驻波场中的汇聚沉积进行了模拟分析和研究。通过龙格-库塔法数值模拟出在不同失谐量Δ、激光功率P、Cr原子束的横向... 在激光汇聚原子束沉积纳米光栅的研究中,半经典理论是一种简单而有效的方法。利用半经典理论模型,对Cr原子在高斯型激光驻波场中的汇聚沉积进行了模拟分析和研究。通过龙格-库塔法数值模拟出在不同失谐量Δ、激光功率P、Cr原子束的横向纵向速度、基片摆放位置zf和高斯光束束腰0ω条件下,Cr原子沉积光栅结构的变化,根据所得各光栅图形参数,分析了不同因素对Cr原子沉积的影响。 展开更多
关键词 原子沉积 半经典理论模型 激光驻波场 对比度 分辨率
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激光准直铬原子束研究(英文) 被引量：2
15
作者 马艳 张宝武 +4 位作者 郑春兰 马珊珊 李佛生 王占山 李同保 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期201-204,共4页
利用多普勒原理对Cr原子束进行横向准直.为了得到好的激光准直效果必须首先把激光的中心频率稳定在偏离Cr原子共振中心频率-5±0.26 MHz的位置上.经过多次的理论与实验得出了优化的实验参量,并且得出如果探测光束与准直光束不平行... 利用多普勒原理对Cr原子束进行横向准直.为了得到好的激光准直效果必须首先把激光的中心频率稳定在偏离Cr原子共振中心频率-5±0.26 MHz的位置上.经过多次的理论与实验得出了优化的实验参量,并且得出如果探测光束与准直光束不平行会造成横向线宽的展宽.根据实验数据选择合适的实验参量,实现利用多普勒原理横向准直Cr原子束,得到准直后Cr原子束的横向发散角为0.48 mrad,横向温度为265μK. 展开更多
关键词 激光准直 多普勒冷却 原子光刻 纳米加工
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透镜补偿检验的研究与分析 被引量：3
16
作者 付联效 吴永刚 +1 位作者 郝沛明 王鹏 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期2057-2061,共5页
为了方便透镜补偿器的设计,从三级像差理论出发,推导出了求解透镜补偿检验二次曲面的初始结构参量之间关系的数学表达式.通过分析发现这些公式不仅包括了前人提出的补偿检验二次曲面的方法,也包括了以前没有提出过的方法.这些透镜补偿... 为了方便透镜补偿器的设计,从三级像差理论出发,推导出了求解透镜补偿检验二次曲面的初始结构参量之间关系的数学表达式.通过分析发现这些公式不仅包括了前人提出的补偿检验二次曲面的方法,也包括了以前没有提出过的方法.这些透镜补偿器既可以检验二次曲面,又可以检验高次曲面.用所提出的方法设计了一套补偿器,结果显示,当轴上波差1/108个波长,轴外波差1/13个波长时,该补偿器完全能够应用于实际中. 展开更多
关键词 三级像差理论 补偿检验 二次曲面
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用于高光谱-多光谱图像盲融合的自适应退化感知Transformer(封底文章·特邀)
17
作者 曹栩珩 郝小鹏 +2 位作者 廉玉生 王绪泉 程鑫彬 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第5期8-19,共12页
针对高光谱与多光谱图像融合中预设退化信息依赖性强及空谱域交互信息挖掘不足的问题,提出了一种基于自适应退化信息感知的特征融合框架。首先,通过探索图像层次特征之间的空谱相关性,提出了一种空谱特征融合注意力机制,显著增强了融合... 针对高光谱与多光谱图像融合中预设退化信息依赖性强及空谱域交互信息挖掘不足的问题,提出了一种基于自适应退化信息感知的特征融合框架。首先,通过探索图像层次特征之间的空谱相关性,提出了一种空谱特征融合注意力机制,显著增强了融合图像中空间和光谱域信息之间的交互。其次,依据空间/光谱退化过程的直流增益和平滑物理特性,构建了空间/光谱退化感知网络模型,实现了无需预设退化信息的高光谱和多光谱图像高效融合。最后,设计了一种基于子空间的损失函数,通过解耦光谱退化信息感知过程中空间域的信息干扰,有效提升了网络对空间和光谱退化信息的感知精度。实验结果表明,与九种基线算法相比,文中方法重建结果的峰值信噪比在CAVE和Harvard数据集上分别提升了40.0%和32.7%。在混合分辨率系统上的实验结果中,文中方法重建的光谱波段图像展现出更准确的结构纹理和信号强度,进一步验证了所提方法的有效性。 展开更多
关键词 盲融合 退化表征 高光谱成像 超分辨率
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C/W多层膜的制备及其光学特性 被引量：1
18
作者 王风丽 王占山 +5 位作者 王洪昌 吴文娟 张众 张淑敏 秦树基 陈玲燕 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期385-387,共3页
介绍了软X射线波段C/W多层膜的制备和光学性能检测。采用高真空直流磁控溅射方法在超光滑硅基片上制作了C/W多层膜,用X射线衍射(XRD)仪,小角测量方法测试多层膜的光学性能,采用透射电镜(TEM)观测多层膜断层样品的微观结构,并在同步辐射... 介绍了软X射线波段C/W多层膜的制备和光学性能检测。采用高真空直流磁控溅射方法在超光滑硅基片上制作了C/W多层膜,用X射线衍射(XRD)仪,小角测量方法测试多层膜的光学性能,采用透射电镜(TEM)观测多层膜断层样品的微观结构,并在同步辐射软X射线光束线上,测试了所制备的C/W多层膜样品的反射率,然后对测试结果进行拟合分析。结果表明,所制备的C/W多层膜样品的质量较高,界面清晰,粗糙度小,所有膜层均为无定形态,没有晶相生成,以44.2°入射在5.9 nm处有约6%的反射率。 展开更多
关键词 磁控溅射 多层膜 X射线衍射仪 透射电镜 同步辐射
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基于时间控厚离子束溅射技术的宽带减反膜制备 被引量：1
19
作者 刘华松 王占山 +7 位作者 季一勤 沈正祥 马彬 程鑫彬 焦宏飞 陈德应 刘丹丹 宋洪君 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期407-411,共5页
为了制备满足设计要求的宽角度、宽波段减反膜,利用离子束溅射沉积技术,在时间-功率控厚的模式下,对膜层沉积速率进行了精确修正。在实验中,利用时间-功率控厚的离子束溅射沉积技术,选择HfO2和SiO2作为高低折射率组合,在超抛ZF6玻璃基... 为了制备满足设计要求的宽角度、宽波段减反膜,利用离子束溅射沉积技术,在时间-功率控厚的模式下,对膜层沉积速率进行了精确修正。在实验中,利用时间-功率控厚的离子束溅射沉积技术,选择HfO2和SiO2作为高低折射率组合,在超抛ZF6玻璃基底上制备了宽角度、宽带减反膜,通过对实验后的透过率光谱曲线的数值反演计算,获得膜层厚度修正系数,初步得到了沉积速率随沉积时间变化的规律。利用修正后的沉积参数制备设计的膜系,在0°-30°入射角度下,600-1 200 nm波段的平均透过率达到99%以上。 展开更多
关键词 宽带减反膜 离子束溅射 时间-功率控厚 膜层厚度修正
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基于双振子模型在线Low-E玻璃功能层光学常量的确定 被引量：1
20
作者 黄水平 徐剑 +2 位作者 王占山 鲁大学 苑同锁 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期473-477,共5页
从光与物质相互作用的微观机理出发,综合考虑了在线低辐射镀膜玻璃(Low-E玻璃)功能层材料中自由电子和束缚电子与光的相互作用,采用双振子模型描述了在线Low-E玻璃功能层材料的色散特性.用双振子模型所得出的理论公式对在线Low-E玻璃的... 从光与物质相互作用的微观机理出发,综合考虑了在线低辐射镀膜玻璃(Low-E玻璃)功能层材料中自由电子和束缚电子与光的相互作用,采用双振子模型描述了在线Low-E玻璃功能层材料的色散特性.用双振子模型所得出的理论公式对在线Low-E玻璃的透射谱进行了拟合,得到了Low-E玻璃功能层的光学常量.结果表明,双振子模型比Drude模型可以更准确描述在线Low-E玻璃功能层材料的光学特性,在可见光低频区和红外波段,用Drude模型描述在线Low-E玻璃功能层材料的光学特性也能得到较好的结果. 展开更多
关键词 双振子模型 在线Low E玻璃 光学常量
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