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用于研制纳米长度标准的激光准直原子技术研究(英文)
被引量：
1
1
作者
马艳
肖胜炜
张万经
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014年第9期2929-2934,共6页
亚百纳米长度计量标准是实现在纳米尺度精确计量的关键器件。我们课题组已利用原子光刻技术研制出了周期为213±0.1nm的光栅,该光栅的周期对应于原子的跃迁频率,具有直接溯源性和高的精确度。理论与实验数据表明原子的横向准直效果...
亚百纳米长度计量标准是实现在纳米尺度精确计量的关键器件。我们课题组已利用原子光刻技术研制出了周期为213±0.1nm的光栅,该光栅的周期对应于原子的跃迁频率,具有直接溯源性和高的精确度。理论与实验数据表明原子的横向准直效果是影响光栅对比度的主要因素。因此,文中将介绍几种原子准直技术的优化与估算方法。利用刀口技术分析了激光多普勒准直原子技术的效果。利用CCD收集的荧光分析原子的发散角与横向温度,并考虑与分析了吸收率对测量结果的影响。原子的发散角为0.544 mrad,对应的横向温度为343.8μK。文中还分析了各种实验参数对准直效果的影响。
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关键词
原子光刻
多普勒冷却
横向温度
刀口
角分布
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职称材料
题名
用于研制纳米长度标准的激光准直原子技术研究(英文)
被引量：
1
1
作者
马艳
肖胜炜
张万经
机构
同济大学物理科学与技术学院上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014年第9期2929-2934,共6页
基金
上海市纳米专项(0852nm07000,0952nm07000)
国家自然基金(10804084,91123022)
+2 种基金
国家科技支撑项目(2006BAF06B08)
教育部博士点基金(200802471008)
中科院纳米器件与应用重点实验室开放课题(14CS01)
文摘
亚百纳米长度计量标准是实现在纳米尺度精确计量的关键器件。我们课题组已利用原子光刻技术研制出了周期为213±0.1nm的光栅,该光栅的周期对应于原子的跃迁频率,具有直接溯源性和高的精确度。理论与实验数据表明原子的横向准直效果是影响光栅对比度的主要因素。因此,文中将介绍几种原子准直技术的优化与估算方法。利用刀口技术分析了激光多普勒准直原子技术的效果。利用CCD收集的荧光分析原子的发散角与横向温度,并考虑与分析了吸收率对测量结果的影响。原子的发散角为0.544 mrad,对应的横向温度为343.8μK。文中还分析了各种实验参数对准直效果的影响。
关键词
原子光刻
多普勒冷却
横向温度
刀口
角分布
Keywords
atom lithography
Doppler cooling
transverse temperature
knife-edge
angular distribution
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用于研制纳米长度标准的激光准直原子技术研究(英文)
马艳
肖胜炜
张万经
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014
1
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