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负性SiO_2／ZrO_2光敏凝胶薄膜上引入微结构的研究
1
作者
徐翔
周斌
+2 位作者
刘春泽
沈军
吴广明
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期753-758,共6页
以锆酸丁酯及乙酰丙酮、苯甲酰丙酮为原料,经溶胶-凝胶工艺,制备具有负性光刻胶性质的ZrO2光敏溶胶,在将其与正硅酸乙酯通过水解缩聚反应复合,采用浸渍提拉法在基片上制得折射率在1．463-1．647之间连续可调的SiO2／ZrO2二元光敏凝胶薄...
以锆酸丁酯及乙酰丙酮、苯甲酰丙酮为原料,经溶胶-凝胶工艺,制备具有负性光刻胶性质的ZrO2光敏溶胶,在将其与正硅酸乙酯通过水解缩聚反应复合,采用浸渍提拉法在基片上制得折射率在1．463-1．647之间连续可调的SiO2／ZrO2二元光敏凝胶薄膜．其敏感波长在335nm附近．通过FTIR分析,发现凝胶薄膜中含有Si—O-zr、Zr-O的特征振动峰,证明 SiO2与ZrO2两相在分子尺度上形成了微观组分均匀的薄膜．利用掩模板结合紫外曝光及显影工艺在凝胶膜上转移了光栅等表面微结构图形．
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关键词
溶胶-凝胶
螯合环
Si-O-Zr
光栅
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职称材料
题名
负性SiO_2／ZrO_2光敏凝胶薄膜上引入微结构的研究
1
作者
徐翔
周斌
刘春泽
沈军
吴广明
机构
同济大学波与材料的微结构重点实验室波耳固体物理研究所
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第3期753-758,共6页
基金
国家自然科学基金(20133040)
国家高技术863计划(2002AA842052)
+1 种基金
上海市自然科学基金(02ZE14101)
上海市纳米专项(0452nm088)
文摘
以锆酸丁酯及乙酰丙酮、苯甲酰丙酮为原料,经溶胶-凝胶工艺,制备具有负性光刻胶性质的ZrO2光敏溶胶,在将其与正硅酸乙酯通过水解缩聚反应复合,采用浸渍提拉法在基片上制得折射率在1．463-1．647之间连续可调的SiO2／ZrO2二元光敏凝胶薄膜．其敏感波长在335nm附近．通过FTIR分析,发现凝胶薄膜中含有Si—O-zr、Zr-O的特征振动峰,证明 SiO2与ZrO2两相在分子尺度上形成了微观组分均匀的薄膜．利用掩模板结合紫外曝光及显影工艺在凝胶膜上转移了光栅等表面微结构图形．
关键词
溶胶-凝胶
螯合环
Si-O-Zr
光栅
Keywords
sol-gel
chelate ring
Si-O-Zr
grating
分类号
O484 [理学—固体物理]
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作者
出处
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1
负性SiO_2／ZrO_2光敏凝胶薄膜上引入微结构的研究
徐翔
周斌
刘春泽
沈军
吴广明
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
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