X射线聚焦望远镜的支撑结构设计与力学实验分析 被引量：2

1

作者 谢文亮 沈正祥 +4 位作者 余俊 王占山 黄帆 陈昌亚 范峰 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第4期192-198,共7页

掠入射X射线聚焦望远镜的支撑框架结构设计是望远镜研制的关键技术之一。国内规划中的XTP卫星低能聚焦望远镜拟采用基于超薄玻璃的X射线聚焦望远镜方案,针对望远镜样机严苛的光学和力学性能要求,经过结构选型优化,设计了一种一体化的六... 掠入射X射线聚焦望远镜的支撑框架结构设计是望远镜研制的关键技术之一。国内规划中的XTP卫星低能聚焦望远镜拟采用基于超薄玻璃的X射线聚焦望远镜方案,针对望远镜样机严苛的光学和力学性能要求,经过结构选型优化,设计了一种一体化的六边形桶式望远镜支撑结构。利用有限元软件对支撑结构进行了模态分析和频率响应分析,并与力学实验进行了对比验证。结果表明,该支撑结构具有较大的结构刚度,望远镜结构在发射环境下不会发生破坏性改变,满足力学性能要求。该支撑框架结构简洁、装配精度高,具有良好的工艺性,为望远镜的研制提供了参考。 展开更多

关键词 掠入射X射线望远镜 结构设计 力学分析 振动试验

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基于球面弯晶聚焦结构的桌面型单能X射线源设计及实验 被引量：1

2

作者 余越 司昊轩 +2 位作者 杨祖华 伊圣振 王占山 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第7期123-130,共8页

提出了一种采用球面弯晶聚焦结构获得高亮度桌面型单能X射线的方法。在子午方向利用晶体色散实现单能、在弧矢方向通过球面镜聚焦提高光强。理论建模和光学仿真评估了该结构的色散和聚焦性能,验证了球面弯晶聚焦结构相对于柱面弯晶在聚... 提出了一种采用球面弯晶聚焦结构获得高亮度桌面型单能X射线的方法。在子午方向利用晶体色散实现单能、在弧矢方向通过球面镜聚焦提高光强。理论建模和光学仿真评估了该结构的色散和聚焦性能,验证了球面弯晶聚焦结构相对于柱面弯晶在聚焦特性上的显著优势。针对Al靶Kα1线单能需求,设计和装调了基于低功率Al靶X射线管的单能装置,并实验验证了其性能。结果显示,当X射线管工作在7 W功率条件下,CCD曝光10 min,Al靶Kα1线全视场光谱的探测器计数大于2×105,能谱展宽约为0.592 eV;引入200μm限束光阑,能谱展宽进一步减小至0.493 eV,探测器计数约为2×104。研究结果证实了该装置可以有效获得高亮度Al靶Kα1谱线,也为精确测量光学器件和系统的光谱特性提供了一种新的获得高亮度单能X射线的技术途径。 展开更多

关键词 球面弯晶聚焦 高亮度 高单能性 桌面型 X射线源

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ZnS窗口激光防护/中红外增透膜光热仿真

3

作者 曹袁睿 王利栓 +3 位作者 刘华松 杨仕琪 孙鹏 钮信尚 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第5期304-313,共10页

激光技术的发展给飞行器红外光学系统带来极大挑战,而光学窗口是红外光学系统抗激光损伤的最薄弱环节。文中针对ZnS光学窗口设计了多层薄膜结构,使其在提高3~5μm波段光学透过率的同时,具备对1.06μm激光的防护能力。首先,构建了激光作... 激光技术的发展给飞行器红外光学系统带来极大挑战,而光学窗口是红外光学系统抗激光损伤的最薄弱环节。文中针对ZnS光学窗口设计了多层薄膜结构,使其在提高3~5μm波段光学透过率的同时,具备对1.06μm激光的防护能力。首先,构建了激光作用多层膜的光热响应模型,并通过仿真计算获得了膜层厚度、折射率和消光系数等参数对光学窗口薄膜的光学性能和热效应的影响关系。研究结果表明,以HfO2/SiO2作为多层膜基本膜堆,当最外三层薄膜物理厚度误差在-3.3%~3.3%范围时,膜基界面温度变化最大为27℃,1.06μm波长处反射率和3~5μm波段内平均透过率变化均小于1‰,对多层膜光热性能影响较小;当两种膜层材料的折射率差值增大时,膜层内部电场的变化影响了薄膜的吸收率,使膜基界面温度呈现出先降低后升高的现象;多层膜的膜基界面温度随膜层材料消光系数提高而升高,且低折射率材料对激光热效应的影响权重更大。研究结果可以为激光防护/中红外增透多层膜的抗激光损伤设计和制备提供参考。 展开更多

关键词 激光热效应 有限元分析 多层膜 折射率 厚度误差

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拼接原子光刻光栅衍射性能研究

4

作者 吴益泽 薛栋柏 +3 位作者 肖光旭 沈俊宇 邓晓 孔明 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第3期228-237,共10页

光栅干涉仪作为一种精密位移测量手段,具备高精度、高分辨力以及强抗干扰能力等优势。光栅作为干涉仪的测量基准,其周期准确性与位移测量结果的精度直接相关。基于原子光刻沉积技术的原子光刻光栅周期直接溯源至铬原子跃迁频率,将其运... 光栅干涉仪作为一种精密位移测量手段,具备高精度、高分辨力以及强抗干扰能力等优势。光栅作为干涉仪的测量基准,其周期准确性与位移测量结果的精度直接相关。基于原子光刻沉积技术的原子光刻光栅周期直接溯源至铬原子跃迁频率,将其运用于光栅干涉仪的研制,使得测量结果可直接溯源,保障了测量结果的准确性和一致性。然而单次原子光刻制备的光栅面积较小,限制了干涉仪的测量量程。尽管采用拼接原子光刻技术可实现原子光刻光栅面积的延拓,且理论上不引入周期误差,但是拼接区域光栅峰谷高度存在不均匀性,将会影响光栅的衍射效率。文中基于严格耦合波分析理论对拼接原子光刻光栅的衍射特性进行了仿真分析,当光栅峰谷高度从30~85 nm改变时,TE偏振入射光对应衍射效率从0.3%升高至1.9%,TM偏振入射光对应衍射效率随着峰谷高度变化逐步升高,最大值可达36.8%。同步进行了光栅衍射性能的实验测试,结果表明实验测试结果与仿真理论结果的变化趋势一致。该研究为基于拼接原子光刻光栅的直接溯源型光栅干涉仪测量量程扩展提供了技术指导。 展开更多

关键词 拼接原子光刻光栅 峰谷高度 衍射效率 严格耦合波理论

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X射线望远镜超薄镜片装配结构的粘结强度探究

5

作者 沈正祥 张璟 +3 位作者 余俊 王晓强 卫俊杰 龙华保 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第2期157-163,共7页

基于超薄玻璃的嵌套式圆锥近似Wolter-Ⅰ型聚焦望远镜采用环氧树脂胶作为镜片装配的关键粘结材料,其微米级厚度的胶层粘结强度决定了望远镜的力学性能。文中研究了"超薄镜片-F131环氧树脂胶-石墨"组成的粘结结构在不同固化环... 基于超薄玻璃的嵌套式圆锥近似Wolter-Ⅰ型聚焦望远镜采用环氧树脂胶作为镜片装配的关键粘结材料,其微米级厚度的胶层粘结强度决定了望远镜的力学性能。文中研究了"超薄镜片-F131环氧树脂胶-石墨"组成的粘结结构在不同固化环境湿度、不同石墨表面粗糙度下的粘结强度。结果表明,粘结强度随着环氧树脂固化湿度的增加而减小,随着石墨表面粗糙度的增加而增加。进一步,通过比较石墨表面层剥离面积比,确定石墨表面层剥落是造成粘结结构失效的主要形式。最后,引入B基准值作为粘结强度评价指标,提高粘结性能评价的准确性和可靠性,为望远镜装配提供了参考。 展开更多

关键词 嵌套式望远镜 粘结结构 拉伸强度 B基准值

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远紫外波段薄膜器件的研究进展(特邀) 被引量：1

6

作者 张锦龙 李双莹 +3 位作者 吴奇泽 焦宏飞 程鑫彬 王占山 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期25-39,共15页

远紫外波段在太阳物理学、天文和气象观测中都具有重要的科学意义和应用价值。远紫外薄膜器件是其中的基石和限制其性能的主要因素。本文介绍了远紫外波段薄膜材料的选择和光学常数的精确表征,回顾了宽带铝加氟化物反射薄膜保护薄膜技... 远紫外波段在太阳物理学、天文和气象观测中都具有重要的科学意义和应用价值。远紫外薄膜器件是其中的基石和限制其性能的主要因素。本文介绍了远紫外波段薄膜材料的选择和光学常数的精确表征,回顾了宽带铝加氟化物反射薄膜保护薄膜技术的研究进展,介绍了远紫外波段窄带反射、透射薄膜的设计理念和制备技术,对远紫外波段薄膜材料、常用器件潜在的研究热点、发展趋势进行了展望。 展开更多

关键词 远紫外 薄膜器件及应用 薄膜光学 光学常数 光学性质

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极紫外自由电子激光辐照Ni薄膜损伤机制温度效应分子动力学研究 被引量：1

7

作者 汤鸣 鲁爽 +6 位作者 胡张麟 李淑慧 恽超 胡音晫 陈杰 李文斌 王占山 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第11期40-50,共11页

利用双温模型和分子动力学结合的方法,研究了13.5 nm极紫外自由电子激光辐照下Ni薄膜的初始温度效应对熔融损伤机制的影响。模拟获得了不同初始温度Ni薄膜的熔融损伤阈值,发现阈值随初始温度升高而降低,并且薄膜熔融损伤存在膜内均匀熔... 利用双温模型和分子动力学结合的方法,研究了13.5 nm极紫外自由电子激光辐照下Ni薄膜的初始温度效应对熔融损伤机制的影响。模拟获得了不同初始温度Ni薄膜的熔融损伤阈值,发现阈值随初始温度升高而降低,并且薄膜熔融损伤存在膜内均匀熔化和表层非均匀熔化两种损伤形态。通过时间演化温度场和应力场分析,表明了镍薄膜的液相成核过程与晶格过热、热弹性应力和晶格平均加热速率等因素相关,揭示了熔融过程两种损伤形态的成因。 展开更多

关键词 自由电子激光 分子动力学 损伤机制 薄膜反射镜 双温模型

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基于光谱共焦探针的Wolter-Ⅰ型X射线显微镜芯轴高精度检测

8

作者 薛春安 余俊 +3 位作者 盛鹏峰 王豪杰 王占山 王东方 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第13期2004-2016,共13页

Wolter型X射线显微镜具有高分辨率和集光区域,在先进光源和高能激光器中有重要的应用价值。基于镍电镀成形的复制法是制备Wolter型X射线显微镜的有效方法之一,其中,芯轴的表面精度和质量会直接影响X射线成像的性能。高精度检测技术是芯... Wolter型X射线显微镜具有高分辨率和集光区域,在先进光源和高能激光器中有重要的应用价值。基于镍电镀成形的复制法是制备Wolter型X射线显微镜的有效方法之一,其中,芯轴的表面精度和质量会直接影响X射线成像的性能。高精度检测技术是芯轴制备的基础,而传统检测装置难以测量具有圆周回旋对称特征的Wolter型表面轮廓。为了解决Wolter型芯轴检测难和测量精度低的问题,搭建了基于光谱共焦探针的离线检测装置实现芯轴表面中低频轮廓的高精度测量,分析了该装置的各类系统误差和随机误差,并采用双探针与标准镜来校准测试过程,将测试中的温湿度漂移和随机误差的PV值降低至23 nm。最后,开展了该检测装置和CGH干涉检测法的检测对比实验。通过Wolter芯轴表面测试结果比较,两种测试方法的偏差PV值约为60 nm,证明了该检测装置的合理性和检测方法的准确性。 展开更多

关键词 光学测量 Wolter-Ⅰ型X射线显微镜芯轴 离线检测方法 光谱共焦探针 误差分析

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导电碳黑填充EVA半导电电极对聚乙烯中空间电荷注入的影响 被引量：19

9

作者 张冶文 牛奋英 +3 位作者 安振连 郑飞虎 马朋 雷清泉 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第8期1904-1909,共6页

为探索导电碳黑填充EVA半导电电极对聚乙烯中空间电荷注入的影响,分别将碳黑以3种不同的比例填充到EVA中作为聚乙烯的电极,碳黑的体积分数分别为27%,32%和34%。高压下,采用压力波法研究聚乙烯中空间电荷的注入情况,并对测量结果进行定... 为探索导电碳黑填充EVA半导电电极对聚乙烯中空间电荷注入的影响,分别将碳黑以3种不同的比例填充到EVA中作为聚乙烯的电极,碳黑的体积分数分别为27%,32%和34%。高压下,采用压力波法研究聚乙烯中空间电荷的注入情况,并对测量结果进行定性的比较和分析。结果表明,聚乙烯样品中空间电荷的注入量随着电极中碳黑填充率的增大,空间电荷的注入量反而减小。这与理论预测相符,电极中碳黑的填充率越大,与聚合物接触的界面处碳黑颗粒的排列就越密集,颗粒表面最高场强就越低,且表面局部高场区在平均场强的延伸范围就越小,从而就减少了空间电荷的注入。 展开更多

关键词 半导电电极 空间电荷 碳黑 低密度聚乙烯(LDPE) 乙烯醋酸乙烯酯共聚物(EVA) 局部电场 填充率

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X射线高空间分辨多色显微成像系统研制及应用 被引量：4

10

作者 曹柱荣 丁永坤 +28 位作者 董建军 邓博 黎宇坤 穆宝忠 伊圣振 吴俊峰 陈韬 张继彦 杨志文 袁铮 李晋 胡昕 杨正华 缪文勇 蒋炜 袁永腾 黄天晅 陈伯伦 陈家斌 詹夏雨 张海鹰 康洞国 谷建法 叶文华 王占山 刘慎业 江少恩 张保汉 张维岩 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期100-114,共15页

在激光间接驱动惯性约束聚变(ICF)领域中,获得具有极高空间分辨率(优于5μm)的X射线辐射图像,是研究烧蚀不稳定性、内爆流线等关键物理过程的数据基础。基于掠入射反射式成像原理的Kirkpatrick-Baez(KB)显微成像系统作为一种具有高空间... 在激光间接驱动惯性约束聚变(ICF)领域中,获得具有极高空间分辨率(优于5μm)的X射线辐射图像,是研究烧蚀不稳定性、内爆流线等关键物理过程的数据基础。基于掠入射反射式成像原理的Kirkpatrick-Baez(KB)显微成像系统作为一种具有高空间分辨率和集光效率的X射线显微诊断设备,目前已成为国际ICF装置的X射线关键诊断设备。在神光Ⅱ和神光Ⅲ原型装置条件上开展了KB诊断技术及设备的研究,在KB系统的光学设计、光学元件和物镜与系统装调技术等方面取得了许多重要进展,研制了大视场KB、多色KB等高分辨率X射线显微成像系统。这些系统已应用于我国的ICF内爆芯部发光和流线测量、流体不稳定增长测量等实验中,为关键物理量的测量提供了高空间分辨率的清晰图像。 展开更多

关键词 Kirkpatrick-Baez显微镜 高空间分辨 等离子体诊断 惯性约束聚变

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光学表面功率谱密度的表征 被引量：5

11

作者 张磊 程鑫彬 +1 位作者 张锦龙 王占山 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第12期3707-3712,共6页

以硅基板镀制单层Hf O_2薄膜前后的表面微观形貌的变化为例,开展了光学表面功率谱密度的计算及表征研究。首先给出了一维功率谱密度(PSD_(1D))、二维功率谱密度(PSD_(2D))以及各向同性功率谱密度(PSD_(ISO))的计算方法和具体步骤。然后... 以硅基板镀制单层Hf O_2薄膜前后的表面微观形貌的变化为例,开展了光学表面功率谱密度的计算及表征研究。首先给出了一维功率谱密度(PSD_(1D))、二维功率谱密度(PSD_(2D))以及各向同性功率谱密度(PSD_(ISO))的计算方法和具体步骤。然后使用原子力显微镜测量了硅基板镀膜前后在1μm×1μm、5μm×5μm、10μm×10μm、20μm×20μm四种扫描尺寸下的表面轮廓。在此基础上使用MATLAB编程计算得到这四种扫描尺寸下的PSD_(ISO),对这些PSD_(ISO)使用几何平均算法拼接得到具有足够大频率范围的PSD_(ISO-Combined)。结果显示,硅基板镀膜前后的PSD_(ISO-Combined)在低频段基本相同,中高频段出现了明显差异。分析指出这是由镀膜后表面柱状晶体结构引起的。提出了对PSDISO在频域上积分得到表面均方根粗糙度σ_(ISO),再同由定义式计算得到的σ_(STD)作对比的方法。计算得到的σ_(ISO)与σ_(STD)基本相同,验证了PSD_(ISO)计算方法的准确性。 展开更多

关键词 表面微观形貌 功率谱密度 原子力显微镜

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不同工艺制备的人工节瘤的损伤生长特性 被引量：3

12

作者 马宏平 程鑫彬 +2 位作者 张锦龙 王占山 唐永建 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第5期182-187,共6页

在高能激光系统中,反射膜的损伤生长特性和初始损伤一样重要。对薄膜损伤生长特性的研究将有助于探究反射膜损伤机制,从而进一步有效地提高其抗激光损伤能力。使用电子束蒸发(EB)和离子束辅助(IAD)两种工艺制备了1064nm波长下的Hf O2/Si... 在高能激光系统中,反射膜的损伤生长特性和初始损伤一样重要。对薄膜损伤生长特性的研究将有助于探究反射膜损伤机制,从而进一步有效地提高其抗激光损伤能力。使用电子束蒸发(EB)和离子束辅助(IAD)两种工艺制备了1064nm波长下的Hf O2/Si O2反射膜,利用四种尺寸的单分散的Si O2小球形成人工节瘤,来研究薄膜镀制工艺和节瘤尺寸对节瘤损伤生长特性的影响。激光损伤测试结果表明:节瘤损伤生长阈值基本随节瘤尺寸的增加而减小。EB工艺制备的反射膜中,四种尺寸节瘤的损伤生长阈值都高于其初始损伤阈值,而IAD工艺制备的反射膜中结果则相反。另外,IAD工艺要比EB工艺制备的反射膜中的节瘤在发生初始损伤后更易于损伤生长,说明薄膜镀制工艺对节瘤的损伤生长速度有一定的影响。 展开更多

关键词 人工节瘤 激光损伤 损伤生长 镀制工艺

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近距离雾的激光多次散射模拟 被引量：3

13

作者 童广德 王占山 +1 位作者 沈正祥 王彪 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期201-210,共10页

为了满足精确快速获取雾的多次散射仿真需求,在近程雷达距离较近情况下,将雷达方程和Mie散射理论相结合,提出一种快速有效的激光多次散射计算方法.首先通过雾滴谱模型建立雾颗粒的几何模型,然后根据Mie散射理论获得的单个粒子的散射函... 为了满足精确快速获取雾的多次散射仿真需求,在近程雷达距离较近情况下,将雷达方程和Mie散射理论相结合,提出一种快速有效的激光多次散射计算方法.首先通过雾滴谱模型建立雾颗粒的几何模型,然后根据Mie散射理论获得的单个粒子的散射函数计算激光在雾模型中单个颗粒的一次散射和二次散射功率密度,结合雷达方程推导出雾的多次等效散射截面和散射系数计算函数.模拟计算表明:雾的激光二次等效散射截面与雾浓度的2/3次方成正比,二次散射系数随能见度增加的衰减比一次散射系数快. 展开更多

关键词 激光多次散射 雷达散射截面 仿真模拟 雾滴谱 能见度

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X射线聚焦望远镜镜片黏接装配的数值模拟和分析 被引量：2

14

作者 贺鹏飞 尤佳伟 +2 位作者 戴瑛 沈正祥 王占山 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期1242-1249,共8页

对采用圆锥嵌套Wolter-I型结构的X射线聚焦望远镜在装配过程中产生的面形偏差进行了模拟和分析。首先,利用ANSYS有限元软件建立二维模型。然后,以实际装配步骤和夹具为加载和边界条件,通过分析不同半径镜片的装配过程,得到了面形偏差与... 对采用圆锥嵌套Wolter-I型结构的X射线聚焦望远镜在装配过程中产生的面形偏差进行了模拟和分析。首先,利用ANSYS有限元软件建立二维模型。然后,以实际装配步骤和夹具为加载和边界条件,通过分析不同半径镜片的装配过程,得到了面形偏差与三根压条的载荷关系曲线,由此优选出了不同半径镜片对应的最佳装配载荷。分析显示:除对应的最大面形偏差外,优选出的装配载荷均可控制在0.1μm以内,满足装配精度要求,而且对应装配载荷下玻璃镜片的最大Mises应力也均小于玻璃的强度极限,不会在装配过程中失效。此外,建立了三维分析模型并与二维简化模型分析结果进行了比较。结果显示:计算偏差主要集中在镜片的前、后两端约5mm范围内,最大偏差为2.3μm;镜片中段两种模型的计算偏差小于0.03μm,表明提出的二维简化模型可以用于玻璃镜片装配的快速面形偏差分析和载荷确定。文中对镜片装配过程的分析可为提高装配精度提供理论依据。 展开更多

关键词 X射线聚焦望远镜 镜片装配 面形偏差 载荷分析 有限元法

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超低空状态下海面激光后向散射测量与仿真 被引量：2

15

作者 童广德 王占山 +1 位作者 沈正祥 王彪 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第8期1-6,共6页

海面的激光散射特性是制约激光雷达对低空飞行器进行探测与识别的关键因素之一.模拟超低空状态,通过人工造渡池模拟不同海情的海面,采用激光散射测量装置在典型海情下近距离海面获取了激光后向散射数据;采用网格化分割海面,根据Pierson-... 海面的激光散射特性是制约激光雷达对低空飞行器进行探测与识别的关键因素之一.模拟超低空状态,通过人工造渡池模拟不同海情的海面,采用激光散射测量装置在典型海情下近距离海面获取了激光后向散射数据;采用网格化分割海面,根据Pierson-Moscowitz谱构建了三维时变海面几何模型,利用Torrance-Sparrow模型模拟分析海面的近距离激光后向散射特性.测量和仿真数据表明:实测与仿真结果一致,海面的激光散射受海面几何波形调制;其强度随擦地角增大而增大;由于海面的随机起伏,海面散射极大值存在较大范围波动,并且波动随擦地角减小而增大. 展开更多

关键词 超低空 海面 激光后向散射 双向反射函数 人工造波池 测量与仿真

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HfO_2薄膜折射率非均质性生长特性研究 被引量：1

16

作者 鲍刚华 程鑫彬 +2 位作者 焦宏飞 刘华松 王占山 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第9期2761-2766,共6页

在加热的BK7基板上,采用电子束蒸发(EB)工艺制备了一系列不同厚度的Hf O2单层膜,对Hf O2薄膜生长过程中的折射率非均质性进行了研究。光谱分析表明薄膜非均质性与其厚度息息相关。X射线衍射(XRD)测试表明不同非均质性薄膜对应不同的微... 在加热的BK7基板上,采用电子束蒸发(EB)工艺制备了一系列不同厚度的Hf O2单层膜,对Hf O2薄膜生长过程中的折射率非均质性进行了研究。光谱分析表明薄膜非均质性与其厚度息息相关。X射线衍射(XRD)测试表明不同非均质性薄膜对应不同的微观结构;薄膜的微观结构主要由薄膜的生长机制决定。当膜厚较薄时,薄膜不易结晶,呈无定形态,此时薄膜呈正非均质性。如果沉积温度足够高,则薄膜达到一定厚度后开始结晶,此后薄膜折射率就会逐渐下降。随着薄膜继续生长,薄膜晶态结构保持恒定不再变化,非均质性也会因此保持不变达到极值。 展开更多

关键词 光学薄膜 电子束蒸发 HFO2薄膜 折射率非均质性

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基于离散化路径与拼接的高精度光学检测方法 被引量：1

17

作者 沈正祥 王旭 余俊 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第11期316-325,共10页

在超精密光学元件制造中,高精度光学检测技术是进一步提升光学加工精度和表征评价光学表面形貌的基础关键。非接触式光学检测方法凭借高效和无损伤检测的特点,取得广泛应用。但外界环境扰动容易对光学检测探针产生影响,降低检测精度。为... 在超精密光学元件制造中,高精度光学检测技术是进一步提升光学加工精度和表征评价光学表面形貌的基础关键。非接触式光学检测方法凭借高效和无损伤检测的特点,取得广泛应用。但外界环境扰动容易对光学检测探针产生影响,降低检测精度。为此,文中提出了一种离散化检测路径与拼接方法,将传统螺旋线路径离散为多圆周和多径向路径,并通过路径间数据的相互拼接,减小了环境扰动误差。分析了离散化检测路径的参数设置,给出了一种均匀化的圆周路径分布策略。最后,基于自行搭建的光学检测平台,进行了环境误差抑制方法的验证实验。相较于抑制前的面形,抑制后的测量相对误差从24.3%降到了4.3%。 展开更多

关键词 光学检测 环境误差 路径规划 数据拼接

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基于复合左右手传输线的小型天线 被引量：2

18

作者 吴瑞坤 张冶文 《桂林理工大学学报》 CAS 北大核心 2012年第1期126-130,共5页

设计了一种基于复合左右手传输线的小型天线,在对微带漏波天线理论分析的基础上,对天线模型进行仿真,对实物天线进行了测试。研究发现,复合左右手特异性材料微带漏波天线工作于左手区时,电磁波辐射主要发生在天线前几个单元。根据这一规... 设计了一种基于复合左右手传输线的小型天线,在对微带漏波天线理论分析的基础上,对天线模型进行仿真,对实物天线进行了测试。研究发现,复合左右手特异性材料微带漏波天线工作于左手区时,电磁波辐射主要发生在天线前几个单元。根据这一规律,设计了一个小型的微带漏波天线,经实验验证有较好的性能,工作于左手区时可以实现电控波束扫描。 展开更多

关键词 特异性材料 漏波天线 瞬态仿真

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极紫外与软X射线用非晶碳膜全反射镜的研究

19

作者 谭默言 蒋励 王占山 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期129-133,共5页

用高真空磁控溅射设备分别在工作气压为0.40Pa和0.67Pa下制备了非晶碳膜全反射镜样品,利用X射线掠入射反射测量了膜层厚度、粗糙度和膜层密度,用原子力显微镜测量了样品的表面粗糙度,用同步辐射测量了不同工作气压下制备的非晶碳膜全反... 用高真空磁控溅射设备分别在工作气压为0.40Pa和0.67Pa下制备了非晶碳膜全反射镜样品,利用X射线掠入射反射测量了膜层厚度、粗糙度和膜层密度,用原子力显微镜测量了样品的表面粗糙度,用同步辐射测量了不同工作气压下制备的非晶碳膜全反射镜的反射率,并对测量结果进行了分析讨论.测试结果表明:在0.40Pa工作气压下制备的非晶碳膜反射镜的性能优于在0.67Pa工作气压下制备的反射镜的性能,在掠入射角小于4.5°时,非晶碳膜全反射镜在5nm以上波段有比较平坦的高反射率,在波长小于5nm波段,反射率急剧下降. 展开更多

关键词 薄膜 非晶碳 全反射镜 软X射线 磁控溅射 反射率

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圆锥近似Wolter-Ⅰ型X射线望远镜用柱面反射镜面形误差检测方法 被引量：3

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作者 刘娜 沈正祥 +3 位作者 马彬 魏振博 徐旭东 王占山 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第4期10-16,共7页

基于热弯玻璃的圆锥近似Wolter-Ⅰ型X射线聚焦望远镜采用在凸柱面镜模具上热弯超薄玻璃的反射镜片制作方式,柱面镜低频面形误差和中频波纹度是影响望远镜聚焦性能的主要因素,因此高精度快速检测凹凸柱面镜中低频表面误差是研制中的关键... 基于热弯玻璃的圆锥近似Wolter-Ⅰ型X射线聚焦望远镜采用在凸柱面镜模具上热弯超薄玻璃的反射镜片制作方式,柱面镜低频面形误差和中频波纹度是影响望远镜聚焦性能的主要因素,因此高精度快速检测凹凸柱面镜中低频表面误差是研制中的关键技术。传统的柱面样板法无法检测超薄镜片,且只能检测对应样板半径的面形,检测效率低,无法满足要求。采用基于计算全息的零位补偿干涉检测法和激光扫描两种方法,对超光滑凸柱面模具和超薄凹柱面镜片进行快速定量检测,计算了两种检测方法的功率谱密度,通过表面的斜率误差拟合得到点扩散函数曲线和半功率直径。结果表明:两种方法都能够快速定量表征中低频表面误差对X射线望远镜角分辨率的影响,为提高反射镜制作精度和改善X射线望远镜聚焦性能提供了技术支撑。 展开更多

关键词 圆锥近似Wolter-I望远镜 柱面镜检测 面形误差 计算全息干涉检验 激光扫描

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