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远紫外波段薄膜器件的研究进展(特邀)
被引量：
1
1
作者
张锦龙
李双莹
+3 位作者
吴奇泽
焦宏飞
程鑫彬
王占山
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第11期25-39,共15页
远紫外波段在太阳物理学、天文和气象观测中都具有重要的科学意义和应用价值。远紫外薄膜器件是其中的基石和限制其性能的主要因素。本文介绍了远紫外波段薄膜材料的选择和光学常数的精确表征,回顾了宽带铝加氟化物反射薄膜保护薄膜技...
远紫外波段在太阳物理学、天文和气象观测中都具有重要的科学意义和应用价值。远紫外薄膜器件是其中的基石和限制其性能的主要因素。本文介绍了远紫外波段薄膜材料的选择和光学常数的精确表征,回顾了宽带铝加氟化物反射薄膜保护薄膜技术的研究进展,介绍了远紫外波段窄带反射、透射薄膜的设计理念和制备技术,对远紫外波段薄膜材料、常用器件潜在的研究热点、发展趋势进行了展望。
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关键词
远紫外
薄膜器件及应用
薄膜光学
光学常数
光学性质
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职称材料
题名
远紫外波段薄膜器件的研究进展(特邀)
被引量：
1
1
作者
张锦龙
李双莹
吴奇泽
焦宏飞
程鑫彬
王占山
机构
同济大学
精密
光学
工程技术
研究
所
同济大学
先进微结构材料教育部重点实验室
同济大学上海市数字光学前沿科学研究基地
上海市
全光谱高性能
光学
薄膜器件与应用专业技术服务平台
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第11期25-39,共15页
基金
国家自然科学基金(Nos.61975155,61621001,62061136008)
上海市科学技术委员会科技计划项目(Nos.20JC1414600,21JC1406100)。
文摘
远紫外波段在太阳物理学、天文和气象观测中都具有重要的科学意义和应用价值。远紫外薄膜器件是其中的基石和限制其性能的主要因素。本文介绍了远紫外波段薄膜材料的选择和光学常数的精确表征,回顾了宽带铝加氟化物反射薄膜保护薄膜技术的研究进展,介绍了远紫外波段窄带反射、透射薄膜的设计理念和制备技术,对远紫外波段薄膜材料、常用器件潜在的研究热点、发展趋势进行了展望。
关键词
远紫外
薄膜器件及应用
薄膜光学
光学常数
光学性质
Keywords
Far ultraviolet
Thin film devices and applications
Thin film optics
Optical constant
Optical Properties
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
远紫外波段薄膜器件的研究进展(特邀)
张锦龙
李双莹
吴奇泽
焦宏飞
程鑫彬
王占山
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
1
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