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可调整光程的激光测长机
被引量：
1
1
作者
黄雷
马宏
+2 位作者
窦艳红
马钟焕
杨璐
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2012年第8期2192-2196,共5页
为进一步提高激光测长机的测量精度及可靠性,满足高精度长度尺寸的计量检定要求,研制了一种可调整光程的激光测长机。采用激光干涉仪作为测量基准,结构设计符合阿贝原则,同时,可根据被测长度的大小调整激光干涉仪和测量组件的安装位置,...
为进一步提高激光测长机的测量精度及可靠性,满足高精度长度尺寸的计量检定要求,研制了一种可调整光程的激光测长机。采用激光干涉仪作为测量基准,结构设计符合阿贝原则,同时,可根据被测长度的大小调整激光干涉仪和测量组件的安装位置,提高了测量准确度。并对影响激光测长机测量准确度的误差进行了不确定度分析。实验结果表明,该激光测长机的测量准确度达到了±(0.5μm+1.5×10-6L),测量重复性为0.2μm。满足高测量精度及高可靠性等技术指标要求。
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关键词
计量学
可调整光程
激光测长机
阿贝原则
直接测量
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职称材料
题名
可调整光程的激光测长机
被引量：
1
1
作者
黄雷
马宏
窦艳红
马钟焕
杨璐
机构
长春理工大学光电工程学院
吉林省计量科学研究院几何量室
吉林
东光精密机械厂
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2012年第8期2192-2196,共5页
基金
国家863计划(2007AA701203)
文摘
为进一步提高激光测长机的测量精度及可靠性,满足高精度长度尺寸的计量检定要求,研制了一种可调整光程的激光测长机。采用激光干涉仪作为测量基准,结构设计符合阿贝原则,同时,可根据被测长度的大小调整激光干涉仪和测量组件的安装位置,提高了测量准确度。并对影响激光测长机测量准确度的误差进行了不确定度分析。实验结果表明,该激光测长机的测量准确度达到了±(0.5μm+1.5×10-6L),测量重复性为0.2μm。满足高测量精度及高可靠性等技术指标要求。
关键词
计量学
可调整光程
激光测长机
阿贝原则
直接测量
Keywords
metrology
adjustable optical path
laser measuring machine
Abbe principle
direct measurement
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
可调整光程的激光测长机
黄雷
马宏
窦艳红
马钟焕
杨璐
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2012
1
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