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基于多层Ge_(2)Sb_(2)Te_(5)的光学调制器
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作者 冯若男 汪剑波 +1 位作者 邵铭 程相正 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2025年第1期1-9,共9页
随着光学调制器的快速发展,对具有可调光学性能的材料需求日益增多。为实现对光的精确调控,将Ge_(2)Sb_(2)Te_(5)(GST)与超表面结合来得到一种光学调制器。GST是一种光学性质随温度变化的相变材料,在非晶态(a-GST)、立方态(c-GST)、六方... 随着光学调制器的快速发展,对具有可调光学性能的材料需求日益增多。为实现对光的精确调控,将Ge_(2)Sb_(2)Te_(5)(GST)与超表面结合来得到一种光学调制器。GST是一种光学性质随温度变化的相变材料,在非晶态(a-GST)、立方态(c-GST)、六方态(h-GST)的光学性质存在显著变化。采用射频溅射法制备GST薄膜,通过快速退火与X射线衍射仪(XRD)分析得到GST相变特性,并通过包络线法得到GST介电常数。将GST与超表面结合,通过仿真设计、优化多层结构模型,得到红外波段光学调制器。在2000~2500 nm波长范围内,该结构可对光进行阶梯式调控。经过计算得到,25℃下透射率平均值为94.91%,160℃下透射率平均值26.79%,220℃下透射率平均值0.09%。并且GST薄膜处于c-GST时调制深度(MD)在17.86%~96.73%范围内变化,GST薄膜处于h-GST时MD均高于99.70%。本研究不仅深化了对GST材料光学特性的理解,还为开发具有宽波长范围和高响应速度的光学调制器件奠定了基础,为多可重构光学系统提供了重要参考。 展开更多
关键词 Ge_(2)Sb_(2)Te_(5) 相变 调制器 可调
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