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MOCVD法氧化锌单晶薄膜生长
被引量：
5
1
作者
刘博阳
杜国同
+5 位作者
杨小天
赵佰军
张源涛
高锦岳
刘大力
杨树人
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2004年第2期99-102,共4页
介绍了氧化锌材料的一些突出特性以及生长氧化锌的方法。并通过金属有机化学气相沉积 (MOCVD)方法制备了优良的氧化锌薄膜。使用X射线衍射 (XRD)谱和室温光致发光(PL)光谱对所生长氧化锌薄膜的晶体质量和光学特性进行了研究。X射线衍射...
介绍了氧化锌材料的一些突出特性以及生长氧化锌的方法。并通过金属有机化学气相沉积 (MOCVD)方法制备了优良的氧化锌薄膜。使用X射线衍射 (XRD)谱和室温光致发光(PL)光谱对所生长氧化锌薄膜的晶体质量和光学特性进行了研究。X射线衍射谱图显示仅在2θ =34.72°处有一个很陡峭的ZnO (0 0 2 )晶面衍射峰 ,说明所制备的氧化锌薄膜c轴取向高度一致。此衍射峰的半高宽为 0 .2 82° ,显示出较好的晶体质量。在室温光致发光谱中 ,薄膜的紫外发光强度与深能级复合发光的强度比超过 10∶1。
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关键词
氧化锌
金属有机化学气相沉积法
单晶薄膜
薄膜生长
X射线衍射分析
光致发光光谱
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职称材料
题名
MOCVD法氧化锌单晶薄膜生长
被引量：
5
1
作者
刘博阳
杜国同
杨小天
赵佰军
张源涛
高锦岳
刘大力
杨树人
机构
吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家联合重点实验室
吉林大学
物理
学院
相干光
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2004年第2期99-102,共4页
基金
国家"8 63"高技术项目 (No .2 0 0 1AA3 1113 0 )
国家自然科学基金资助项目 (No .60 1770 0 7
No .60 1760 2 6)
文摘
介绍了氧化锌材料的一些突出特性以及生长氧化锌的方法。并通过金属有机化学气相沉积 (MOCVD)方法制备了优良的氧化锌薄膜。使用X射线衍射 (XRD)谱和室温光致发光(PL)光谱对所生长氧化锌薄膜的晶体质量和光学特性进行了研究。X射线衍射谱图显示仅在2θ =34.72°处有一个很陡峭的ZnO (0 0 2 )晶面衍射峰 ,说明所制备的氧化锌薄膜c轴取向高度一致。此衍射峰的半高宽为 0 .2 82° ,显示出较好的晶体质量。在室温光致发光谱中 ,薄膜的紫外发光强度与深能级复合发光的强度比超过 10∶1。
关键词
氧化锌
金属有机化学气相沉积法
单晶薄膜
薄膜生长
X射线衍射分析
光致发光光谱
Keywords
ZnO
MOCVD
film
growth
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
O484.41 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MOCVD法氧化锌单晶薄膜生长
刘博阳
杜国同
杨小天
赵佰军
张源涛
高锦岳
刘大力
杨树人
《液晶与显示》
CAS
CSCD
2004
5
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