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螺杆真空泵返流特性的研究 被引量:6
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作者 李卓慧 王庆生 +3 位作者 王国栋 陈长琦 陈宗武 张东庆 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期1295-1299,共5页
以单头等螺距内凹转子双螺杆真空泵为研究对象,对螺杆真空泵工作时转子与泵腔、转子与转子之间气体的流动状态进行研究,将周向返流简化为两平面平板之间库埃特流动与泊肃叶流动,径向和齿侧返流简化为薄壁孔流动,建立了螺杆真空泵转子周... 以单头等螺距内凹转子双螺杆真空泵为研究对象,对螺杆真空泵工作时转子与泵腔、转子与转子之间气体的流动状态进行研究,将周向返流简化为两平面平板之间库埃特流动与泊肃叶流动,径向和齿侧返流简化为薄壁孔流动,建立了螺杆真空泵转子周向、径向和齿侧返流量计算的理论数学模型。计算分析了不同间隙值以及螺杆转子参数对螺杆真空泵返流量的影响,得到螺杆真空泵返流量随着螺杆渐开线基圆半径、大径、小径、和导程变化的规律。研究结果表明:周向间隙的增加使得返流量显著增加;在理论抽速给定的条件下,小径大径比为0.63时,返流量最小。 展开更多
关键词 螺杆真空泵 返流模型 间隙 转子参数 优化设计
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基于数值计算方法的双螺杆真空泵气体输运过程研究 被引量:5
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作者 肖红云 王庆生 +4 位作者 王玉青 陈长琦 陈宗武 张东庆 汪宏喜 《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第4期351-356,共6页
基于双螺杆真空泵气体输运的特点,将泵腔内级间的泄漏通道简化为不同类型的真空管路,采用相邻级间的平均压强确定不同压强下级间泄漏气体的流态,计算得到级间泄漏的质量流量。根据质量守恒定律,建立了双螺杆真空泵气体输运过程的数学模... 基于双螺杆真空泵气体输运的特点,将泵腔内级间的泄漏通道简化为不同类型的真空管路,采用相邻级间的平均压强确定不同压强下级间泄漏气体的流态,计算得到级间泄漏的质量流量。根据质量守恒定律,建立了双螺杆真空泵气体输运过程的数学模型。以渐开线型端面的等螺距螺杆真空泵为研究对象,计算分析了泵从大气压到极限真空的整个抽气过程。对不同入口压强下的级间泄漏量与抽速进行了研究,研究表明:不同的泄漏通道对级间泄漏的影响有所不同。在排气端,齿顶圆与泵腔内壁之间的泄漏通道对级间泄漏的影响较大;在吸气端,两转子齿顶齿根面之间、斜齿面之间以及凹齿面之间这三种泄漏通道对级间泄漏的影响较大。 展开更多
关键词 螺杆真空泵 泄漏 极限真空 抽速曲线
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干式螺杆真空泵动密封结构的改进研究 被引量:2
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作者 祝敏 王国栋 +3 位作者 王庆生 陈长琦 张东庆 陈宗武 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期1310-1314,共5页
以螺杆真空泵为研究对象,采用表面织构技术改善排气端处机械密封的润滑及摩擦性能,建立了矩形端面微孔机械密封的流体动力学分析模型,编写相应的程序,模拟分析了不同表面织构参数对密封性能参数的影响,对比了给定工况下织构表面机械密... 以螺杆真空泵为研究对象,采用表面织构技术改善排气端处机械密封的润滑及摩擦性能,建立了矩形端面微孔机械密封的流体动力学分析模型,编写相应的程序,模拟分析了不同表面织构参数对密封性能参数的影响,对比了给定工况下织构表面机械密封与传统机械密封的泄漏量、摩擦功耗的变化情况。结果表明:改进后的新型机械密封性能良好,摩擦功耗降低,有效地改善了机械密封摩擦副端面磨损剧烈的问题,能更好的满足工业的应用要求,具有应用价值。 展开更多
关键词 螺杆真空泵 密封 表面织构 减摩 泄漏
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NBI离子源源头电源控制系统研究与设计 被引量:3
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作者 陈长琦 汪根生 +1 位作者 刘智民 宋士花 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期440-443,共4页
中性束注入(NBI)加热被国际聚变界公认为最有效的加热手段,其离子源源头电源控制系统的研制是中性束注入器的关键技术之一。通过研究高电压、高磁场环境对控制系统的影响,综合系统灵活性、易维护性、稳定性等诸方面因素设计了离子源源... 中性束注入(NBI)加热被国际聚变界公认为最有效的加热手段,其离子源源头电源控制系统的研制是中性束注入器的关键技术之一。通过研究高电压、高磁场环境对控制系统的影响,综合系统灵活性、易维护性、稳定性等诸方面因素设计了离子源源头电源控制系统,并开发了上位机监控程序、PLC程序和相关的硬件接口电路以及现场模糊控制系统。离子源源头电源控制系统为用户提供了良好的人机操作界面,经在测试平台的离子源起弧实验证明,有效地提高了NBI离子源放电实验的效率,为今后的NBI束线装置工程设计和研制奠定了基础。 展开更多
关键词 PLC 中性束注入 离子源 远程控制
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掺B金刚石膜的电火花抛光实验研究 被引量:1
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作者 褚向前 左敦稳 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第3期287-291,共5页
通过化学气沉积过程中掺B,制备的金刚石膜电阻率下降10-19,导致金刚石膜整体导电,可采用电火花抛光。用扫描电镜和Raman分析了金刚石膜电加工表面的形貌和成分。金刚石膜的电火花抛光是多种效应综合作用的结果,即金刚石膜熔化、汽化、... 通过化学气沉积过程中掺B,制备的金刚石膜电阻率下降10-19,导致金刚石膜整体导电,可采用电火花抛光。用扫描电镜和Raman分析了金刚石膜电加工表面的形貌和成分。金刚石膜的电火花抛光是多种效应综合作用的结果,即金刚石膜熔化、汽化、碳的氧化和蒸发、爆炸抛出、界面的化学反应以及金刚石的石墨化。通过实验研究了电加工参数对表面粗糙度和加工速度的影响,通过回归分析得到电火花抛光表面粗糙度和加工速度的经验公式,其相关系数的平方分别为0.91和0.99,表明拟合精度高。试验结果表明,放电电流和脉冲宽度对加工面的表面粗糙度和加工速度影响很大。放电电流为5 A、脉冲宽度为380μs时,抛光后表面粗糙度Ra<1μm。 展开更多
关键词 金刚石膜 掺硼 电火花抛光 回归分析
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螺杆真空泵转子-泵腔系统热变形分析 被引量:7
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作者 崔寓淏 王庆生 +3 位作者 王国栋 陈长琦 陈宗武 张东庆 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期1291-1294,共4页
以等螺距螺杆真空泵为研究对象,对工作状态下泵腔内各点间隙变化进行研究。建立了工作状态下主动、从动转子和泵腔温度场有限元模型,通过分析得到转子-泵腔系统的温度场和热变形分布情况,并绘制了工作状态下泵腔内各点间隙变化的曲线图... 以等螺距螺杆真空泵为研究对象,对工作状态下泵腔内各点间隙变化进行研究。建立了工作状态下主动、从动转子和泵腔温度场有限元模型,通过分析得到转子-泵腔系统的温度场和热变形分布情况,并绘制了工作状态下泵腔内各点间隙变化的曲线图。研究结果表明:转子轴向存在较大温差,泵腔相对于转子温度较低。工作状态下泵腔内各处间隙存在较大差异。进气端间隙较大,各点间隙在0.23~0.3mm之间;排气端间隙较小,各点间隙在0.11至0.15mm之间。 展开更多
关键词 螺杆真空泵 螺杆转子 温度场 热变形
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旋转圆柱靶磁控溅射阴极的磁场模拟及结构设计 被引量:16
7
作者 陈长琦 穆怀普 +1 位作者 刘腾飞 裘一冰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期913-918,共6页
基于旋转圆柱靶磁控溅射阴极的工作原理,建立其结构模型,并应用ANSYS有限元方法对旋转靶阴极磁场进行了模拟计算,得到了磁场分量Bx在靶材表面上的二维磁场分布规律。通过调节磁铁的宽和高、磁铁间夹角以及设置可移动磁性挡板等方法优化... 基于旋转圆柱靶磁控溅射阴极的工作原理,建立其结构模型,并应用ANSYS有限元方法对旋转靶阴极磁场进行了模拟计算,得到了磁场分量Bx在靶材表面上的二维磁场分布规律。通过调节磁铁的宽和高、磁铁间夹角以及设置可移动磁性挡板等方法优化磁场并设计了一种新型磁场结构旋转靶。本研究为旋转靶磁控溅射阴极的磁场结构设计提供了理论依据。 展开更多
关键词 磁控溅射 旋转靶阴极 磁场模拟 结构设计
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ITER水平诊断窗口冷却回路结构设计与流体分析 被引量:1
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作者 陈长琦 朱晓文 +3 位作者 许铁军 谢韩 胡庆生 赵君煜 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期247-251,共5页
水平诊断窗口位于ITER装置主机水平窗口,用于容纳各项等离子体诊断设备,需要满足水冷、电磁和射线屏蔽等功能的技术要求。基于结构可靠性与加工可行性设计了水平诊断窗口冷却回路,并采用FLUENT软件进行传热和流体动力学理论计算,得到了... 水平诊断窗口位于ITER装置主机水平窗口,用于容纳各项等离子体诊断设备,需要满足水冷、电磁和射线屏蔽等功能的技术要求。基于结构可靠性与加工可行性设计了水平诊断窗口冷却回路,并采用FLUENT软件进行传热和流体动力学理论计算,得到了流体流速、压力和温度分布等数值模拟结果。并通过比较和分析,优化了结构设计。保证其冷却回路能够平衡窗口框体在受等离子体辐射热时产生的34 kW热负荷,阻挡等离子体辐射热对内部诊断设备的影响,同时降低了加工难度,为ITER水平诊断窗口插件的最终设计提供依据。 展开更多
关键词 水平诊断窗口 冷却回路 流速分布 温度分布
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蒙特卡罗方法模拟评定氦质谱检漏不确定度 被引量:1
9
作者 杨丹 陈长琦 秋实 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期266-270,共5页
通过建立检漏结果不确定度的评定模型,应用蒙特卡罗方法对检漏数据进行随机模拟,获得了各输入量的随机样本,计算了检漏结果的不确定度,并与传统评定方法得到的不确定度进行了比较和分析。研究表明,两种方法计算得到的不确定度一致,说明... 通过建立检漏结果不确定度的评定模型,应用蒙特卡罗方法对检漏数据进行随机模拟,获得了各输入量的随机样本,计算了检漏结果的不确定度,并与传统评定方法得到的不确定度进行了比较和分析。研究表明,两种方法计算得到的不确定度一致,说明蒙特卡罗方法可以作为评定氦质谱检漏结果不确定度的有效方法,且蒙特卡罗评定方法计算效率更高,应用范围更广。 展开更多
关键词 氦质谱检漏 不确定度 蒙特卡罗方法 漏率 标准漏孔
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