题名 用于MEMS封装的纳米多孔硅气敏特性分析
1
作者
许高斌 杨业汕 马渊明 陈兴
机构
合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省mems工程技术研究中心
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2014年第2期89-93,共5页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2013AA041101) 安徽省科技攻关计划项目(10120106005)
文摘
摘要：采用双槽（自制）电化学腐蚀法在P型单晶硅表面制备多孔硅（PS）层，利用AFM技术分析多孔硅的表面形貌。研究分析了电流密度为20～60mA／cm2时，多孔硅的孔径、孔深和孔隙率，并分析测试了多孔硅对高浓度乙醇的气敏特性。结果表明，在不同的电流密度腐蚀下，孔径都在10nm左右；随着电流密度的增加，多孔硅的孔深和孔隙率增大且腐蚀的均匀性较好。当电流密度大于40mA／cm2后，腐蚀的均匀性开始变差，灵敏度波动较大。通过对多孔硅气体吸附灵敏度的分析，在电流密度为40mA／cm^2时，对各浓度的乙醇气体的灵敏度相对稳定，均值达到2．24X10^6kΩ，因此该类样品更适用于MEMS高真空封装的纳米吸气剂。
关键词
多孔硅(PS) 纳米吸气剂 电化学腐蚀法 气敏特性 灵敏度
Keywords
porous silicon （PS） nanogetter electrochemical etching method gas sensing pro-perty sensitivity
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TB33
[一般工业技术—材料科学与工程]
题名 ICP硅深刻蚀槽壁垂直度的研究
被引量：6
2
作者
刘方方 展明浩 许高斌 黄斌 管朋
机构
合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省mems工程技术研究中心 中国兵器工业 集团北方通用电子 集团有限公司
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2015年第3期185-190,共6页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2013AA041101)
文摘
电感耦合等离子体(ICP)刻蚀技术是体硅深加工的一项关键技术。介绍了ICP刻蚀技术的相关概念与方法,在对Si(100)进行大量深刻蚀实验的基础上,深入分析刻蚀∕钝化周期、极板功率、SF6/C4F8气体流量和腔室压力等主要工艺参数对刻蚀侧壁垂直度的影响。通过对ICP刻蚀的刻蚀∕钝化周期和极板功率参数进行正交实验,给出了通用槽宽分别为2,5和10μm时的优化工艺参数,成功实现了三个垂直度达(90±0.02)°、高深宽比≥10、侧壁光滑的深槽结构。将优化后的工艺参数用于某陀螺仪的刻蚀实验,获得了理想的刻蚀形貌。
关键词
电感耦合等离子体(ICP)刻蚀 工艺参数 正交实验 过程优化 刻蚀垂直度
Keywords
inductively coupled plasma （ICP） etching process parameter orthogonal experi-ment process optimization etching vertical degree
分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
题名 一种新型岛膜压力传感器的研究与设计
被引量：1
3
作者
余成昇 展明浩 胡芳菲 李凌宇 何凯旋 许高斌
机构
合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省mems工程技术研究中心 中国兵器集团
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2015年第7期446-451,共6页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2013AA041101)
文摘
设计了一种量程为180 kPa的新型岛膜结构MEMS压阻式压力传感器,通过ANSYS仿真软件,得出了在岛宽为500μm、岛厚为40μm、梁宽为200μm、敏感薄膜厚为15μm的情况下,该结构具有较好的线性度及灵敏度。提出了一种基于两层SOI硅-硅直接键合的工艺加工方法,能够精确控制敏感薄膜及岛的厚度,并且全硅结构器件能够避免键合残余应力,大大提高器件性能。采用了双惠斯登电桥电路减小传感器输出的温漂效应,并设计了该电路的压敏电阻连接图。最后对该压力传感器进行了测试,结果表明,其非线性为0.64%,精度为0.74%,满足现代工业应用要求。
关键词
微电子机械系统(MEMS) 压力传感器 岛膜结构 ANSYS仿真 硅-硅直接键合 绝缘衬底上硅(SOI)
Keywords
micro-electromechanical system（MEMS） pressure sensor island membrane structure ANSYS simulation silicon-silicon direct bonding silicon-on-insulator（SOI）
分类号
TP212.1
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH703
[机械工程—精密仪器及机械]
题名 一种新型超声波测距系统信号处理方法
被引量：8
4
作者
许高斌 闵锐 陈兴 马渊明 金传恩
机构
合肥工业大学 电子 科学与 应用 物理 学院 合肥 科盛微电子 科技有限公司
出处
《电子技术应用》
北大核心
2016年第8期84-86,90,共4页
基金
国家863计划项目(2013AA041101)
文摘
一种新型的适用于工程应用的超声波接收端数字信号处理方案,算法思路是以巴特沃斯IIR数字滤波器作为输入输出端,并结合一种新型的包络检波及下采样处理,文中归结为五步算法。详细介绍了各步算法的实现方法、工作原理以及必要性,并结合五步算法的特性给出了一种新型的计算回波渡越时间的点迹法,避开了软件延时与实时性需求之间的矛盾。综合仿真与实验测试说明,此设计方案不仅可以有效滤除信道噪声的干扰,而且可以准确提取包络信息并记录峰值到达时间,极大地满足了超声波测距系统的稳定性和实时性的需求。
关键词
超声波测距算法 嵌入式系统 IIR数字滤波器 峰值包络检测
Keywords
ultrasonic ranging algorithm embedded system IIR digital filter envelope detection
分类号
TN713
[电子电信—电路与系统]
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
题名 超声波测距自动增益控制电路的设计
被引量：8
5
作者
汪群 许高斌 陈兴 马渊明 金传恩 欧耿洲
机构
合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省mems工程技术研究中心 合肥 科盛微电子 科技有限公司
出处
《电子器件》
CAS
北大核心
2017年第3期597-601,共5页
基金
国家863计划项目(2013AA041101)
文摘
针对在测距过程中超声波的能量损耗和回波信号微弱的问题,在分析问题产生的基础上,利用可变增益放大器AD8338设计了超声波自动增益控制(AGC)接收补偿电路,动态范围达到80 d B。实验结果表明:该自动增益补偿电路结构简单,不需要额外的控制器件,可以使不同距离的超声波回波信号维持在合适的幅度范围内,有效地解决了回波信号衰减等问题,提高测距精度。
关键词
超声波测距 自动增益控制电路(AGC) 可变增益放大器
Keywords
ultrasonic distance measurement auto gain control variable gain amplifier
分类号
TP274.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
