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SOI特种高g值MEMS加速度计设计与分析被引量：16: 1; 作者许高斌汪祖民陈兴《电子测量与仪器学报》 CSCD 2010年第6期561-568,共8页; 基于SOI技术,利用ICP体硅深加工,设计分析了一种新型平面内振动高g值压阻式加速度计。该加速度计包括X轴向与Y轴向单元,采用三梁-扇形质量块平板内振动结构。对称的布局方式,有效的消除了灵敏度的交叉干扰,提高了传感器的测量精度。论... 展开更多; 关键词加速度计 SOI 扇形结构 U型压敏电阻; 在线阅读下载PDF 职称材料

EAST真空室内磁场模型的建立与验证被引量：2: 2; 作者许高斌李坤 +3 位作者王月媖马渊明陈兴沈飙《核聚变与等离子体物理》 CSCD 北大核心 2017年第3期319-324,共6页; 利用毕奥萨伐尔定律,通过对EAST内部等离子体电流的运动状态的研究,建立了EAST内部的磁场数学模型,并利用Matlab对实验数据的拟合分析,对模型进行了分析验证。通过误差分析,进而改进模型,研究表明改进后的模型与实验数据能较好吻合,误... 展开更多; 关键词全超导托卡马克等离子体电流毕奥萨伐尔定律磁场模型; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于Fabry-Perot腔的高精度MEMS加速度传感器被引量：1: 3; 作者许高斌花翔 +2 位作者王亚洲马渊明陈兴《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期500-505,共6页; 设计了一种基于Fabry-Perot腔的高精度MEMS加速度传感器,采用动态波长调谐原理。加速度传感单元由二氧化硅支撑梁与中心质量块组成,在质量块底部与衬底层硅基凹槽内,利用薄膜沉积技术制备分布式布拉格反射镜(DBR)构成F-P光学微腔。设计... 展开更多; 关键词 Fabry-Perot腔加速度传感器波长调谐 MEMS 反射镜; 在线阅读下载PDF 职称材料

SOI高g值压阻式加速度传感器与工艺实现: 4; 作者许高斌陈兴 +2 位作者马渊明卢翌汪祖民《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期674-677,共4页; 基于SOI技术,利用电感耦合等离子体硅深加工,设计制备了一种新型平面内振动高g值压阻式加速度计。该加速度计包括X轴向与Y轴向单元,采用扇形敏感质量块平板内振动结构。对称的布局方式,有效地消除了灵敏度的交叉干扰,提高了传感器的测... 展开更多; 关键词高G值压阻式加速度传感器 SOI 扇形敏感质量块双U型压敏电阻; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名SOI特种高g值MEMS加速度计设计与分析被引量：16: 1; 作者许高斌汪祖民陈兴; 机构合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省微电子机械系统工程技术研究中心; 出处《电子测量与仪器学报》 CSCD 2010年第6期561-568,共8页; 基金安徽省自然科学基金(编号:090414199)资助项目合肥工业大学重大项目预研专项(编号:2010HGZD012)资助项目 +1 种基金中国兵器工业第二一四研究所军工预研资金(编号:2009QTXM0151)资助项目; 文摘基于SOI技术,利用ICP体硅深加工,设计分析了一种新型平面内振动高g值压阻式加速度计。该加速度计包括X轴向与Y轴向单元,采用三梁-扇形质量块平板内振动结构。对称的布局方式,有效的消除了灵敏度的交叉干扰,提高了传感器的测量精度。论文建立了理论模型,并利用ANSYS软件对传感器进行模拟分析与验证,理论与模拟分析结论吻合较好。分析表明,加速度计在X轴向和Y轴向灵敏度分别为1.2μv/g和1.18μv/g;谐振频率分别为479kHz和475kHz。可实现对量程高达25万g加速度的测量。; 关键词加速度计 SOI 扇形结构 U型压敏电阻; Keywords Accelerometer SOI Sectormass structure U-shape piezoresistance; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名EAST真空室内磁场模型的建立与验证被引量：2: 2; 作者许高斌李坤王月媖马渊明陈兴沈飙; 机构合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省微电子机械系统工程技术研究中心中国科学院等离子体物理研究所; 出处《核聚变与等离子体物理》 CSCD 北大核心 2017年第3期319-324,共6页; 基金国家自然科学基金(11475002); 文摘利用毕奥萨伐尔定律,通过对EAST内部等离子体电流的运动状态的研究,建立了EAST内部的磁场数学模型,并利用Matlab对实验数据的拟合分析,对模型进行了分析验证。通过误差分析,进而改进模型,研究表明改进后的模型与实验数据能较好吻合,误差较小。相关研究和结论对托卡马克真空室内磁场测量具有一定的指导意义,为进一步研究基于MEMS技术的超导托卡马克装置电磁测量诊断系统的微纳磁敏传感器奠定理论基础。; 关键词全超导托卡马克等离子体电流毕奥萨伐尔定律磁场模型; Keywords Superconducting tokamak Plasma current Biot-Savart law Magnetic model; 分类号 TL655 [核科学技术—核技术及应用]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于Fabry-Perot腔的高精度MEMS加速度传感器被引量：1: 3; 作者许高斌花翔王亚洲马渊明陈兴; 机构合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省微电子机械系统工程技术研究中心; 出处《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期500-505,共6页; 基金装备预研/教育部联合基金(6141A02022422) 安徽省重点研发计划(1804a09020018) +1 种基金国家重点研发计划资助(2020YFB2008900)。; 文摘设计了一种基于Fabry-Perot腔的高精度MEMS加速度传感器,采用动态波长调谐原理。加速度传感单元由二氧化硅支撑梁与中心质量块组成,在质量块底部与衬底层硅基凹槽内,利用薄膜沉积技术制备分布式布拉格反射镜(DBR)构成F-P光学微腔。设计了新型折叠支撑梁和维持器件可靠性的限位块结构。研究给出质量块位移引起腔长变化,导致透射波长偏移的关系,结合S型支撑梁挠曲度与系统加速度的关系,得到加速度与透射波长的函数,其线性度大于99.99%。通过有限元仿真软件对结构参数进行设计与优化,由仿真结果得出设计的加速度传感器工作频率为510 Hz,测量范围为±5 g,得到加速度-波长灵敏度为54.8 nm/g,最高分辨率可达1 mg设计可应用于自主导航、重力测量与资源勘探等。; 关键词 Fabry-Perot腔加速度传感器波长调谐 MEMS 反射镜; Keywords Fabry-Perot cavity Acceleration sensor Wavelength tuning MEMS Reflector; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名SOI高g值压阻式加速度传感器与工艺实现: 4; 作者许高斌陈兴马渊明卢翌汪祖民; 机构合肥工业大学电子科学与应用物理学院安徽省微电子机械系统工程技术研究中心; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期674-677,共4页; 基金国家"863"计划(2013AA041101) 安徽省科技攻关计划(10120106005) 中央高校基础业务费资助项目(2010HGZY0004); 文摘基于SOI技术,利用电感耦合等离子体硅深加工,设计制备了一种新型平面内振动高g值压阻式加速度计。该加速度计包括X轴向与Y轴向单元,采用扇形敏感质量块平板内振动结构。对称的布局方式,有效地消除了灵敏度的交叉干扰,提高了传感器的测量精度。测试系统分析出加速度传感器的灵敏度是1.170μV/g。研究表明该加速度传感器可实现对量程高达25×104g加速度的测量。; 关键词高G值压阻式加速度传感器 SOI 扇形敏感质量块双U型压敏电阻; Keywords High g Piezoresistive accelerometer SOI wafer Sector proof mass Dual U-shape piezoresistance; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	SOI特种高g值MEMS加速度计设计与分析	许高斌汪祖民陈兴	《电子测量与仪器学报》 CSCD	2010	16	在线阅读下载PDF 职称材料
2	EAST真空室内磁场模型的建立与验证	许高斌李坤王月媖马渊明陈兴沈飙	《核聚变与等离子体物理》 CSCD 北大核心	2017	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于Fabry-Perot腔的高精度MEMS加速度传感器	许高斌花翔王亚洲马渊明陈兴	《真空科学与技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2021	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	SOI高g值压阻式加速度传感器与工艺实现	许高斌陈兴马渊明卢翌汪祖民	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2013	0	在线阅读下载PDF 职称材料