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收发分体式四自由度激光测量系统耦合误差建模与补偿
被引量：
4
1
作者
程真英
梅寒冰
+2 位作者
刘欣
雷英俊
李瑞君
《计量学报》
CSCD
北大核心
2021年第11期1409-1417,共9页
线性导轨广泛应用于精密机床和仪器,其运动精度直接影响所在设备的空间定位精度。针对团队前期研制的收发分体式四自由度激光测量系统可以测量导轨直线度、俯仰角和偏摆角,但其直线度与角度测量结果间存在耦合干扰问题,提出了一种误差...
线性导轨广泛应用于精密机床和仪器,其运动精度直接影响所在设备的空间定位精度。针对团队前期研制的收发分体式四自由度激光测量系统可以测量导轨直线度、俯仰角和偏摆角,但其直线度与角度测量结果间存在耦合干扰问题,提出了一种误差建模与补偿方法。根据激光测量系统的原理和结构,分析并确定了耦合误差的主要来源,利用矩阵光学及齐次坐标变换的方法建立了耦合误差的补偿模型。以雷尼绍XL-80型激光干涉仪为基准,对所建立的误差补偿模型进行了实验验证,结果表明:利用所建模型补偿后的直线度和角度测量误差均降低了75%以上。所提出的误差建模与补偿方法不但有助于提高四自由度激光测量系统的精度,同时也有助于降低其成本。
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关键词
计量学
几何运动误差
线性导轨
激光测量系统
四自由度
耦合误差建模
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职称材料
计量型激光椭偏仪初始入射角校准方法的研究
被引量：
5
2
作者
黎雄威
李琪
+5 位作者
纪峰
李适
李伟
黄鹭
施玉书
皮磊
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第5期571-577,共7页
为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性,研究了一种初始入射角校准方法,通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动,其运动轴作为空间线性辅助参考量,实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准。结果表明:采用该方法校准...
为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性,研究了一种初始入射角校准方法,通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动,其运动轴作为空间线性辅助参考量,实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准。结果表明:采用该方法校准计量型激光椭偏仪的初始入射角,光轴俯仰角偏差<0.05°,偏摆角偏差<0.09°;校准后,对标称值为102.10 nm的Si上SiO_(2)膜厚标准片进行测量,示值误差<0.4 nm,提升了计量型激光椭偏仪测量校准服务的准确性。
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关键词
计量学
计量型激光椭偏仪
椭偏测量
初始入射角
校准
微纳米薄膜
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职称材料
集会聚发散功能一体化的液晶柱透镜阵列
3
作者
薛莹莹
李靖
+1 位作者
陆红波
徐苗
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第8期1086-1094,共9页
本文提出了一种制备集会聚和发散功能一体化的液晶柱透镜阵列的方法。液晶柱透镜阵列呈“三明治”结构,从上到下依次为:上电极基板、液晶层、聚合物柱透镜阵列、下电极基板。为了将会聚和发散功能集成在单一液晶盒中,制备聚合物柱透镜...
本文提出了一种制备集会聚和发散功能一体化的液晶柱透镜阵列的方法。液晶柱透镜阵列呈“三明治”结构,从上到下依次为:上电极基板、液晶层、聚合物柱透镜阵列、下电极基板。为了将会聚和发散功能集成在单一液晶盒中,制备聚合物柱透镜阵列的紫外光敏胶的折射率(n_(p))需介于液晶的寻常光折射率(n_(o))和非寻常光折射率(n_(e))之间。通过在下基板表面修饰图案化疏水层,利用亲疏水效应使得紫外光敏胶自组装形成表面光滑、尺寸均一的柱透镜阵列。所制备的液晶柱透镜阵列有两种调节聚焦和散焦功能的方式:一种是改变入射光的偏振方向;另一种是施加电场调控液晶层的有效折射率。实验结果表明:当外加电压从0调节到0.7 V_(rms)时,液晶柱透镜的焦距从−4 mm调节到∞;当外加电压在1~7 V_(rms)变化时,液晶柱透镜阵列的焦距从6.0 mm调节到4.5 mm。该方法制备的液晶柱透镜阵列具有制备方法简单、器件结构紧凑、驱动电压低、调焦范围大等优点,在成像、显示、光通信等领域具有潜在的应用价值。
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关键词
液晶柱透镜阵列
折射率匹配
亲疏水效应
会聚透镜
发散透镜
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职称材料
题名
收发分体式四自由度激光测量系统耦合误差建模与补偿
被引量：
4
1
作者
程真英
梅寒冰
刘欣
雷英俊
李瑞君
机构
合肥工业大学
仪器
科学与光电工程学院
合肥工业大学测量理论与精密仪器安徽省重点实验室
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2021年第11期1409-1417,共9页
基金
国家自然科学基金青年项目(51805136)
中央高校基础研究基金(PA2021KCPY0049)。
文摘
线性导轨广泛应用于精密机床和仪器,其运动精度直接影响所在设备的空间定位精度。针对团队前期研制的收发分体式四自由度激光测量系统可以测量导轨直线度、俯仰角和偏摆角,但其直线度与角度测量结果间存在耦合干扰问题,提出了一种误差建模与补偿方法。根据激光测量系统的原理和结构,分析并确定了耦合误差的主要来源,利用矩阵光学及齐次坐标变换的方法建立了耦合误差的补偿模型。以雷尼绍XL-80型激光干涉仪为基准,对所建立的误差补偿模型进行了实验验证,结果表明:利用所建模型补偿后的直线度和角度测量误差均降低了75%以上。所提出的误差建模与补偿方法不但有助于提高四自由度激光测量系统的精度,同时也有助于降低其成本。
关键词
计量学
几何运动误差
线性导轨
激光测量系统
四自由度
耦合误差建模
Keywords
metrology
geometric motion errors
linear guide pairs
laser measurement system
four-degrees-of-freedom
coupling error compensation modeling
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
计量型激光椭偏仪初始入射角校准方法的研究
被引量：
5
2
作者
黎雄威
李琪
纪峰
李适
李伟
黄鹭
施玉书
皮磊
机构
合肥工业大学测量理论与精密仪器安徽省重点实验室
中国计量科学研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第5期571-577,共7页
基金
国家质量基础的共性技术研究与应用(2017YFF0204705)。
文摘
为保证计量型激光椭偏仪测量结果的准确性,研究了一种初始入射角校准方法,通过线性位移台带动CCD相机进行一维运动,其运动轴作为空间线性辅助参考量,实现了椭偏仪的入射激光光轴与自准直仪光轴的90°校准。结果表明:采用该方法校准计量型激光椭偏仪的初始入射角,光轴俯仰角偏差<0.05°,偏摆角偏差<0.09°;校准后,对标称值为102.10 nm的Si上SiO_(2)膜厚标准片进行测量,示值误差<0.4 nm,提升了计量型激光椭偏仪测量校准服务的准确性。
关键词
计量学
计量型激光椭偏仪
椭偏测量
初始入射角
校准
微纳米薄膜
Keywords
metrology
metrology laser ellipsometer
ellipsometry
initial incident angle
calibration
micro-nano film
分类号
TB922 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
集会聚发散功能一体化的液晶柱透镜阵列
3
作者
薛莹莹
李靖
陆红波
徐苗
机构
合肥工业大学
特种显示技术国家工程
实验室
合肥工业大学测量理论与精密仪器安徽省重点实验室
合肥工业大学
物理学院
合肥工业大学
先进功能材料与器件
安徽省
重点
实验室
出处
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第8期1086-1094,共9页
基金
国家自然科学基金(No.61805066)
中央高校基本科研业务费专项资金(No.JZ2022HGTB0294)。
文摘
本文提出了一种制备集会聚和发散功能一体化的液晶柱透镜阵列的方法。液晶柱透镜阵列呈“三明治”结构,从上到下依次为:上电极基板、液晶层、聚合物柱透镜阵列、下电极基板。为了将会聚和发散功能集成在单一液晶盒中,制备聚合物柱透镜阵列的紫外光敏胶的折射率(n_(p))需介于液晶的寻常光折射率(n_(o))和非寻常光折射率(n_(e))之间。通过在下基板表面修饰图案化疏水层,利用亲疏水效应使得紫外光敏胶自组装形成表面光滑、尺寸均一的柱透镜阵列。所制备的液晶柱透镜阵列有两种调节聚焦和散焦功能的方式:一种是改变入射光的偏振方向;另一种是施加电场调控液晶层的有效折射率。实验结果表明:当外加电压从0调节到0.7 V_(rms)时,液晶柱透镜的焦距从−4 mm调节到∞;当外加电压在1~7 V_(rms)变化时,液晶柱透镜阵列的焦距从6.0 mm调节到4.5 mm。该方法制备的液晶柱透镜阵列具有制备方法简单、器件结构紧凑、驱动电压低、调焦范围大等优点,在成像、显示、光通信等领域具有潜在的应用价值。
关键词
液晶柱透镜阵列
折射率匹配
亲疏水效应
会聚透镜
发散透镜
Keywords
liquid crystal lenticular lens array
refractive index matching
hydrophilic-hydrophobic effects
converging lenses
diverging lens
分类号
O753.2 [理学—晶体学]
TH74 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
收发分体式四自由度激光测量系统耦合误差建模与补偿
程真英
梅寒冰
刘欣
雷英俊
李瑞君
《计量学报》
CSCD
北大核心
2021
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
计量型激光椭偏仪初始入射角校准方法的研究
黎雄威
李琪
纪峰
李适
李伟
黄鹭
施玉书
皮磊
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022
5
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
集会聚发散功能一体化的液晶柱透镜阵列
薛莹莹
李靖
陆红波
徐苗
《液晶与显示》
CAS
CSCD
北大核心
2022
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
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