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真空计的发展概况与趋势
被引量：
10
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作者
梁平
李杰
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戴佳鑫
干蜀毅
《真空与低温》
2011年第1期53-57,62,共6页
真空计量器具被广泛应用于各科学实验领域,种类繁多,样式各异。真空计的微型化是其主要发展趋势。概述了真空计的发展历程,重点对近年来真空计的最新发展作了梳理,并提出了某些特殊环境下真空度测量方法的构想。
关键词
真空计
真空测量
微机电系统
电容薄膜真空计
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职称材料
题名
真空计的发展概况与趋势
被引量：
10
1
作者
梁平
李杰
戴佳鑫
干蜀毅
机构
合肥工业大学机械与汽车工程学院真空技术与装备系
出处
《真空与低温》
2011年第1期53-57,62,共6页
文摘
真空计量器具被广泛应用于各科学实验领域,种类繁多,样式各异。真空计的微型化是其主要发展趋势。概述了真空计的发展历程,重点对近年来真空计的最新发展作了梳理,并提出了某些特殊环境下真空度测量方法的构想。
关键词
真空计
真空测量
微机电系统
电容薄膜真空计
Keywords
vacuum gauge
vacuum measurement
MEMS
capacitance diaphragm gauge（CDG）
分类号
TB772 [一般工业技术—真空技术]
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作者
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真空计的发展概况与趋势
梁平
李杰
戴佳鑫
干蜀毅
《真空与低温》
2011
10
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