期刊文献+
共找到3篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
产品回收性能评价方法研究 被引量:4
1
作者 王淑旺 刘志峰 +1 位作者 刘光复 郭伟祥 《计算机辅助设计与图形学学报》 EI CSCD 北大核心 2005年第3期611-616,共6页
在分析目前产品回收性能评价研究现状的基础上 ,建立了融合经济性和环境性并充分考虑回收不确定性的产品回收性能评估模型 基于产品的回收过程建立了回收经济性分析模型和环境性分析模型 ;分析了影响回收过程的不确定性因素并进行建模分... 在分析目前产品回收性能评价研究现状的基础上 ,建立了融合经济性和环境性并充分考虑回收不确定性的产品回收性能评估模型 基于产品的回收过程建立了回收经济性分析模型和环境性分析模型 ;分析了影响回收过程的不确定性因素并进行建模分析 ; 展开更多
关键词 回收性能 经济性 环境性 不确定性
在线阅读 下载PDF
HfO_2薄膜的反应离子刻蚀特性研究 被引量:2
2
作者 王旭迪 刘颖 +2 位作者 洪义麟 付绍军 徐向东 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期313-316,共4页
研究了HfO2 薄膜在CHF3 /Ar和SF6/Ar等气体中的反应离子刻蚀机理。结果表明刻蚀气体的组分和射频偏压对刻蚀速率有较大影响 ,而气体流量影响不大。CHF3 和SF6与HfO2 的反应产物具有较好的挥发性 ,Ar的引入不仅可以打破分子之间的键合促... 研究了HfO2 薄膜在CHF3 /Ar和SF6/Ar等气体中的反应离子刻蚀机理。结果表明刻蚀气体的组分和射频偏压对刻蚀速率有较大影响 ,而气体流量影响不大。CHF3 和SF6与HfO2 的反应产物具有较好的挥发性 ,Ar的引入不仅可以打破分子之间的键合促进刻蚀产物的形成 ,而且通过轰击加快产物从材料表面解吸 ,从而提高HfO2 刻蚀速率。AFM测量结果表明刻蚀降低了HfO2 表面粗糙度 ,显示刻蚀工艺对材料的低损伤。 展开更多
关键词 HFO2 反应离子刻蚀 刻蚀速率 刻蚀工艺 刻蚀气体 频偏 键合 薄膜 NO2 轰击
在线阅读 下载PDF
热处理对氧化锌纳米线场发射特性的影响 被引量:1
3
作者 陈贤祥 张琦锋 +6 位作者 郑文丰 张兆祥 张耿民 赵兴钰 陈长琦 薛增泉 吴锦雷 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期199-202,共4页
用场发射显微镜研究了在钨针尖上生长的氧化锌纳米线的场发射性能 ,得到了氧化锌纳米线的场发射像及场发射电流与电压关系 ,并讨论了氧化锌纳米线场发射像的形成原因和不同热处理条件对其场发射性能的影响 。
关键词 氧化锌 纳米线 场发射 场发射显微镜 热处理 宽带隙半导体
在线阅读 下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部