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产品回收性能评价方法研究
被引量:
4
1
作者
王淑旺
刘志峰
+1 位作者
刘光复
郭伟祥
《计算机辅助设计与图形学学报》
EI
CSCD
北大核心
2005年第3期611-616,共6页
在分析目前产品回收性能评价研究现状的基础上 ,建立了融合经济性和环境性并充分考虑回收不确定性的产品回收性能评估模型 基于产品的回收过程建立了回收经济性分析模型和环境性分析模型 ;分析了影响回收过程的不确定性因素并进行建模分...
在分析目前产品回收性能评价研究现状的基础上 ,建立了融合经济性和环境性并充分考虑回收不确定性的产品回收性能评估模型 基于产品的回收过程建立了回收经济性分析模型和环境性分析模型 ;分析了影响回收过程的不确定性因素并进行建模分析 ;
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关键词
回收性能
经济性
环境性
不确定性
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职称材料
HfO_2薄膜的反应离子刻蚀特性研究
被引量:
2
2
作者
王旭迪
刘颖
+2 位作者
洪义麟
付绍军
徐向东
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期313-316,共4页
研究了HfO2 薄膜在CHF3 /Ar和SF6/Ar等气体中的反应离子刻蚀机理。结果表明刻蚀气体的组分和射频偏压对刻蚀速率有较大影响 ,而气体流量影响不大。CHF3 和SF6与HfO2 的反应产物具有较好的挥发性 ,Ar的引入不仅可以打破分子之间的键合促...
研究了HfO2 薄膜在CHF3 /Ar和SF6/Ar等气体中的反应离子刻蚀机理。结果表明刻蚀气体的组分和射频偏压对刻蚀速率有较大影响 ,而气体流量影响不大。CHF3 和SF6与HfO2 的反应产物具有较好的挥发性 ,Ar的引入不仅可以打破分子之间的键合促进刻蚀产物的形成 ,而且通过轰击加快产物从材料表面解吸 ,从而提高HfO2 刻蚀速率。AFM测量结果表明刻蚀降低了HfO2 表面粗糙度 ,显示刻蚀工艺对材料的低损伤。
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关键词
HFO2
反应离子刻蚀
刻蚀速率
刻蚀工艺
刻蚀气体
频偏
键合
薄膜
NO2
轰击
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职称材料
热处理对氧化锌纳米线场发射特性的影响
被引量:
1
3
作者
陈贤祥
张琦锋
+6 位作者
郑文丰
张兆祥
张耿民
赵兴钰
陈长琦
薛增泉
吴锦雷
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期199-202,共4页
用场发射显微镜研究了在钨针尖上生长的氧化锌纳米线的场发射性能 ,得到了氧化锌纳米线的场发射像及场发射电流与电压关系 ,并讨论了氧化锌纳米线场发射像的形成原因和不同热处理条件对其场发射性能的影响 。
关键词
氧化锌
纳米线
场发射
场发射显微镜
热处理
宽带隙半导体
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职称材料
题名
产品回收性能评价方法研究
被引量:
4
1
作者
王淑旺
刘志峰
刘光复
郭伟祥
机构
合肥工业大学机械与汽车工程学院合肥
出处
《计算机辅助设计与图形学学报》
EI
CSCD
北大核心
2005年第3期611-616,共6页
基金
国家自然科学基金(50375044)
安徽省自然科学基金(01044105)
安徽省优秀青年科技基金
文摘
在分析目前产品回收性能评价研究现状的基础上 ,建立了融合经济性和环境性并充分考虑回收不确定性的产品回收性能评估模型 基于产品的回收过程建立了回收经济性分析模型和环境性分析模型 ;分析了影响回收过程的不确定性因素并进行建模分析 ;
关键词
回收性能
经济性
环境性
不确定性
Keywords
recyclability
economical effectiveness
environmental performance
uncertainty
分类号
TH122 [机械工程—机械设计及理论]
X820.3 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
HfO_2薄膜的反应离子刻蚀特性研究
被引量:
2
2
作者
王旭迪
刘颖
洪义麟
付绍军
徐向东
机构
中国科学技术
大学
国家同步辐射实验室
合肥工业大学机械与汽车工程学院合肥
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期313-316,共4页
基金
国家 8 63 80 4主题专项资助 (No .863 80 4 9 2 )
文摘
研究了HfO2 薄膜在CHF3 /Ar和SF6/Ar等气体中的反应离子刻蚀机理。结果表明刻蚀气体的组分和射频偏压对刻蚀速率有较大影响 ,而气体流量影响不大。CHF3 和SF6与HfO2 的反应产物具有较好的挥发性 ,Ar的引入不仅可以打破分子之间的键合促进刻蚀产物的形成 ,而且通过轰击加快产物从材料表面解吸 ,从而提高HfO2 刻蚀速率。AFM测量结果表明刻蚀降低了HfO2 表面粗糙度 ,显示刻蚀工艺对材料的低损伤。
关键词
HFO2
反应离子刻蚀
刻蚀速率
刻蚀工艺
刻蚀气体
频偏
键合
薄膜
NO2
轰击
Keywords
HfO 2 film
Reactive ion etching
Etch rate
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
热处理对氧化锌纳米线场发射特性的影响
被引量:
1
3
作者
陈贤祥
张琦锋
郑文丰
张兆祥
张耿民
赵兴钰
陈长琦
薛增泉
吴锦雷
机构
北京
大学
电子学系
合肥工业大学机械与汽车工程学院合肥
合肥工业大学
机械与
汽车
工程
学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期199-202,共4页
基金
国家"973"项目 (No .2 0 0 1CB610 5 0 3 )
国家自然科学基金 (No.5 0 2 0 2 0 0 2
+2 种基金
No .60 1710 2 5
No .60 2 3 10 10 )
北京市自然科学基金 (No .40 3 2 0 12 )资助项目
文摘
用场发射显微镜研究了在钨针尖上生长的氧化锌纳米线的场发射性能 ,得到了氧化锌纳米线的场发射像及场发射电流与电压关系 ,并讨论了氧化锌纳米线场发射像的形成原因和不同热处理条件对其场发射性能的影响 。
关键词
氧化锌
纳米线
场发射
场发射显微镜
热处理
宽带隙半导体
Keywords
Zinc oxide nanowires,Field emission,Field emission microscope,annealing
分类号
TN304.21 [电子电信—物理电子学]
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
产品回收性能评价方法研究
王淑旺
刘志峰
刘光复
郭伟祥
《计算机辅助设计与图形学学报》
EI
CSCD
北大核心
2005
4
在线阅读
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职称材料
2
HfO_2薄膜的反应离子刻蚀特性研究
王旭迪
刘颖
洪义麟
付绍军
徐向东
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
热处理对氧化锌纳米线场发射特性的影响
陈贤祥
张琦锋
郑文丰
张兆祥
张耿民
赵兴钰
陈长琦
薛增泉
吴锦雷
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
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职称材料
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