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微纳米三坐标测量机三轴垂直度误差测量及建模补偿
被引量:
11
1
作者
李瑞君
李洁
+2 位作者
何亚雄
程真英
黄强先
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第4期452-456,共5页
垂直度误差是微纳米三坐标测量机的重要误差源之一,必须对其进行高精度测量并建立垂直度误差的补偿模型。采用基于光电位置敏感器件(PSD)的测量装置,先将三轴垂直度误差转化成相应方向的直线度误差再对其进行测量,并对微纳米三坐标测量...
垂直度误差是微纳米三坐标测量机的重要误差源之一,必须对其进行高精度测量并建立垂直度误差的补偿模型。采用基于光电位置敏感器件(PSD)的测量装置,先将三轴垂直度误差转化成相应方向的直线度误差再对其进行测量,并对微纳米三坐标测量机的垂直度误差进行建模和补偿。通过对0级标准量块厚度进行测量和垂直度误差补偿,量块X、Y方向厚度测量误差分别减小了11μm和4μm,验证了垂直度误差测量方法和补偿模型的有效性。
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关键词
计量学
微纳米三坐标测量机
垂直度误差
建模补偿
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职称材料
面向油品参数快速计量的高精度傅里叶近红外光谱仪
被引量:
4
2
作者
方旭
刘欣
+4 位作者
李琪
舒慧
张正东
程真英
李瑞君
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第1期103-111,共9页
针对油品现场检测中实时性和准确度的需要,研制了一种面向油品参数快速计量的高精度傅里叶近红外光谱仪。该光谱仪采用相干长度扩增方法,可快速定位有效信号;通过驱动采集控制系统对傅里叶近红外检测光路进行100 nm等间隔的干涉调制,最...
针对油品现场检测中实时性和准确度的需要,研制了一种面向油品参数快速计量的高精度傅里叶近红外光谱仪。该光谱仪采用相干长度扩增方法,可快速定位有效信号;通过驱动采集控制系统对傅里叶近红外检测光路进行100 nm等间隔的干涉调制,最终由傅里叶逆变换解析出的吸收光谱分辨力可达3.25 cm^(-1)。用该光谱仪对汽油样品进行质量检测的结果表明:该光谱仪可在短时间内对汽油中5种物质含量进行快速计量,其最大体积误差不超过0.7%,可以满足油品参数现场计量的需求,对市场中成品油质量的监管具有重要意义。
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关键词
油品参数测量
近红外光谱仪
傅里叶逆变换
汽油
相干长度扩增法
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职称材料
一种新的大行程垂直纳米运动工作台设计与控制研究
3
作者
张帆
黄强先
+3 位作者
程荣俊
张连生
李红莉
李瑞君
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第3期318-324,共7页
在大行程高精度垂直运动中,工作台的设计及稳定控制是关键因素。因此设计一种新型的具有平衡机构的工作台,以实现垂直方向上大行程纳米稳定运动。所研究工作台采用N331压电直线电机独立驱动,通过空气静态导轨悬浮,设计Z轴平衡系统降低...
在大行程高精度垂直运动中,工作台的设计及稳定控制是关键因素。因此设计一种新型的具有平衡机构的工作台,以实现垂直方向上大行程纳米稳定运动。所研究工作台采用N331压电直线电机独立驱动,通过空气静态导轨悬浮,设计Z轴平衡系统降低垂直向电机驱动负载。利用步进控制方式完成大行程驱动,模拟方式实现微位移精密驱动控制。所提出的驱动与控制策略,可实现100 mm垂直方向上高精度快速精密驱动。另Z向也可实现纳米步进模式与模拟模式的复合控制。在全行程100 mm的范围内定位波动可限制在±9 nm内。通过验证实验,本运动工作台可适用于微纳米三坐标测量机、微光刻和微加工应用的驱动与控制任务。
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关键词
几何量计量
纳米运动工作台
垂直运动
大行程
纳米步进
模拟模式
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职称材料
太阳耀光偏振参数星上计算系统设计
4
作者
李宇豪
纪峰
+6 位作者
裘桢炜
陈斐楠
厉卓然
池杲鋆
陈晶晶
胡亚东
李孟凡
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期52-62,共11页
太阳耀光影响光学遥感成像质量,可采用在探测器前加装偏振片的方式进行抑制,抑制效果取决于太阳和遥感器的相对位置以及偏振片的偏振方向。为实时准确地获取太阳耀光偏振信息,本文在星载大气校正仪上设计了一套星上太阳耀光偏振参数计...
太阳耀光影响光学遥感成像质量,可采用在探测器前加装偏振片的方式进行抑制,抑制效果取决于太阳和遥感器的相对位置以及偏振片的偏振方向。为实时准确地获取太阳耀光偏振信息,本文在星载大气校正仪上设计了一套星上太阳耀光偏振参数计算系统,利用大气校正仪670 nm波段的0°,60°,120°三个通道偏振图像实时计算耀光参数,并使用基于6S大气辐射传输模型的耀光参数建立晴空海洋偏振双向反射分布函数查找表,排除受云干扰的图像像元,最后利用实时探测数据进行高精度太阳耀光偏振方位角计算。系统以V5系列的现场可编程门阵列为计算平台,使用高层次综合工具进行算法的硬件实现,并在实验室内进行了实验验证。实验结果表明,系统计算偏振角误差与真实值相比在0.5°以内,在100 MHz主频时钟下一组25×25像元的数据计算时间消耗为19.47281 ms,FPGA资源使用率为41%。
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关键词
太阳耀光
现场可编程门阵列
偏振测量
硬件加速
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职称材料
基于贝叶斯动态模型的激光干涉仪漂移误差预测
5
作者
刘丽颖
程真英
+1 位作者
陈旭
李瑞君
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第3期332-339,共8页
针对长时间测量时激光干涉仪产生的漂移问题,提出了一种基于贝叶斯动态模型的漂移误差预测方法。通过采集非测量阶段的漂移误差序列,分析了数据特征并据此建立了贝叶斯动态模型。然后,利用无信息先验分布法获取了递推所需的初始信息,运...
针对长时间测量时激光干涉仪产生的漂移问题,提出了一种基于贝叶斯动态模型的漂移误差预测方法。通过采集非测量阶段的漂移误差序列,分析了数据特征并据此建立了贝叶斯动态模型。然后,利用无信息先验分布法获取了递推所需的初始信息,运用贝叶斯递推算法训练并估计了模型状态参数。最后,基于实验室自制的迈克尔逊激光干涉仪对漂移误差预测效果进行了实验验证。结果表明:与常用的最小二乘拟合法和神经网络建模法相比,基于该方法预测补偿后的残余漂移误差的均方差分别减小了67.85%和99.08%;由重复实验的预测效果可知,残余漂移误差的均方差较补偿前都减小了82%以上。验证了提出的基于贝叶斯动态模型的漂移误差预测方法的有效性和稳健性。
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关键词
几何量计量
漂移误差
误差预测
贝叶斯动态模型
激光干涉仪
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职称材料
新型箝位式压电电机的设计研究
6
作者
岳志涵
潘巧生
+2 位作者
陶圣至
商静怡
李晓杰
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第8期1077-1082,共6页
针对传统箝位式压电电机在谐振态下工作时,方波振动的箝位部分结构设计复杂问题,提出一种新型箝位式压电电机。该电机箝位部分与驱动部分均由同频正弦电压驱动实现正弦振动,通过定子对动子的箝位接触,实现动子单向输出运动。相较于传统...
针对传统箝位式压电电机在谐振态下工作时,方波振动的箝位部分结构设计复杂问题,提出一种新型箝位式压电电机。该电机箝位部分与驱动部分均由同频正弦电压驱动实现正弦振动,通过定子对动子的箝位接触,实现动子单向输出运动。相较于传统箝位式压电电机和超声电机,该电机的定子结构设计无需采用模态简并,结构设计难度降低。利用有限元仿真确定定、动子结构参数,制造样机并搭建实验平台。对箝位部分分别采用正弦波与方波做激励,再对驱动部分进行波形对比,表明正弦波亦能达到预期效果。实验结果表明:准静态时,激励电压频率为250 Hz、电压峰峰值V为10 V时,步进距离为0.5μm,步进速度0.13 mm/s;谐振态时,激励电压频率为540 Hz、电压峰峰值V为70 V时,步进距离为32μm,步进速度16.9 mm/s;该电机可兼顾低频高分辨率和高频高速输出以实现跨尺度工作。
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关键词
计量学
压电电机
跨尺度驱动
箝位机构
正弦驱动
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职称材料
题名
微纳米三坐标测量机三轴垂直度误差测量及建模补偿
被引量:
11
1
作者
李瑞君
李洁
何亚雄
程真英
黄强先
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院测量理论与精密仪器安徽省重点实验室
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第4期452-456,共5页
基金
国家重点研发计划项目(2019YFB2004900)。
文摘
垂直度误差是微纳米三坐标测量机的重要误差源之一,必须对其进行高精度测量并建立垂直度误差的补偿模型。采用基于光电位置敏感器件(PSD)的测量装置,先将三轴垂直度误差转化成相应方向的直线度误差再对其进行测量,并对微纳米三坐标测量机的垂直度误差进行建模和补偿。通过对0级标准量块厚度进行测量和垂直度误差补偿,量块X、Y方向厚度测量误差分别减小了11μm和4μm,验证了垂直度误差测量方法和补偿模型的有效性。
关键词
计量学
微纳米三坐标测量机
垂直度误差
建模补偿
Keywords
metrology
micro-nano CMM
perpendicularity error
modeling compensation
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
面向油品参数快速计量的高精度傅里叶近红外光谱仪
被引量:
4
2
作者
方旭
刘欣
李琪
舒慧
张正东
程真英
李瑞君
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院测量理论与精密仪器安徽省重点实验室
中国计量
科学
研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第1期103-111,共9页
基金
国家市场监督管理总局科技计划(2021MK153)
中国计量科学研究院基本科研业务费(AKYZZ2131,AKYZZ2234)
中国计量科学研究院横向科研项目(JSFW2102,KYH2206)。
文摘
针对油品现场检测中实时性和准确度的需要,研制了一种面向油品参数快速计量的高精度傅里叶近红外光谱仪。该光谱仪采用相干长度扩增方法,可快速定位有效信号;通过驱动采集控制系统对傅里叶近红外检测光路进行100 nm等间隔的干涉调制,最终由傅里叶逆变换解析出的吸收光谱分辨力可达3.25 cm^(-1)。用该光谱仪对汽油样品进行质量检测的结果表明:该光谱仪可在短时间内对汽油中5种物质含量进行快速计量,其最大体积误差不超过0.7%,可以满足油品参数现场计量的需求,对市场中成品油质量的监管具有重要意义。
关键词
油品参数测量
近红外光谱仪
傅里叶逆变换
汽油
相干长度扩增法
Keywords
oil parameter measurement
near-infrared spectroscopy
Fourier inversion
gasoline
coherent length amplification method
分类号
TB99 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
一种新的大行程垂直纳米运动工作台设计与控制研究
3
作者
张帆
黄强先
程荣俊
张连生
李红莉
李瑞君
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院测量理论与精密仪器安徽省重点实验室
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第3期318-324,共7页
基金
国家重点研发计划(2019YFB2004901)
国家自然科学基金(51875163)。
文摘
在大行程高精度垂直运动中,工作台的设计及稳定控制是关键因素。因此设计一种新型的具有平衡机构的工作台,以实现垂直方向上大行程纳米稳定运动。所研究工作台采用N331压电直线电机独立驱动,通过空气静态导轨悬浮,设计Z轴平衡系统降低垂直向电机驱动负载。利用步进控制方式完成大行程驱动,模拟方式实现微位移精密驱动控制。所提出的驱动与控制策略,可实现100 mm垂直方向上高精度快速精密驱动。另Z向也可实现纳米步进模式与模拟模式的复合控制。在全行程100 mm的范围内定位波动可限制在±9 nm内。通过验证实验,本运动工作台可适用于微纳米三坐标测量机、微光刻和微加工应用的驱动与控制任务。
关键词
几何量计量
纳米运动工作台
垂直运动
大行程
纳米步进
模拟模式
Keywords
geometric metrology
nanomotion stage
vertical motion
large stroke
nanostepping
analog mode
分类号
TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
太阳耀光偏振参数星上计算系统设计
4
作者
李宇豪
纪峰
裘桢炜
陈斐楠
厉卓然
池杲鋆
陈晶晶
胡亚东
李孟凡
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院测量理论与精密仪器安徽省重点实验室
中国
科学
院
合肥
物质
科学
研究院
安徽
光学
精密
机械研究所
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2024年第4期52-62,共11页
基金
装备预研项目基金资助项目(305090306)
江淮前沿技术协同创新中心追梦基金课题资助项目(2023-ZM01K011)。
文摘
太阳耀光影响光学遥感成像质量,可采用在探测器前加装偏振片的方式进行抑制,抑制效果取决于太阳和遥感器的相对位置以及偏振片的偏振方向。为实时准确地获取太阳耀光偏振信息,本文在星载大气校正仪上设计了一套星上太阳耀光偏振参数计算系统,利用大气校正仪670 nm波段的0°,60°,120°三个通道偏振图像实时计算耀光参数,并使用基于6S大气辐射传输模型的耀光参数建立晴空海洋偏振双向反射分布函数查找表,排除受云干扰的图像像元,最后利用实时探测数据进行高精度太阳耀光偏振方位角计算。系统以V5系列的现场可编程门阵列为计算平台,使用高层次综合工具进行算法的硬件实现,并在实验室内进行了实验验证。实验结果表明,系统计算偏振角误差与真实值相比在0.5°以内,在100 MHz主频时钟下一组25×25像元的数据计算时间消耗为19.47281 ms,FPGA资源使用率为41%。
关键词
太阳耀光
现场可编程门阵列
偏振测量
硬件加速
Keywords
sun glint
field programmable gate array
polarization measurement
hardware acceleration
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于贝叶斯动态模型的激光干涉仪漂移误差预测
5
作者
刘丽颖
程真英
陈旭
李瑞君
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院测量理论与精密仪器安徽省重点实验室
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024年第3期332-339,共8页
文摘
针对长时间测量时激光干涉仪产生的漂移问题,提出了一种基于贝叶斯动态模型的漂移误差预测方法。通过采集非测量阶段的漂移误差序列,分析了数据特征并据此建立了贝叶斯动态模型。然后,利用无信息先验分布法获取了递推所需的初始信息,运用贝叶斯递推算法训练并估计了模型状态参数。最后,基于实验室自制的迈克尔逊激光干涉仪对漂移误差预测效果进行了实验验证。结果表明:与常用的最小二乘拟合法和神经网络建模法相比,基于该方法预测补偿后的残余漂移误差的均方差分别减小了67.85%和99.08%;由重复实验的预测效果可知,残余漂移误差的均方差较补偿前都减小了82%以上。验证了提出的基于贝叶斯动态模型的漂移误差预测方法的有效性和稳健性。
关键词
几何量计量
漂移误差
误差预测
贝叶斯动态模型
激光干涉仪
Keywords
geometric metrology
drift error
error prediction
Bayesian dynamic model
laser interferometer
分类号
TB921 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
新型箝位式压电电机的设计研究
6
作者
岳志涵
潘巧生
陶圣至
商静怡
李晓杰
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院测量理论与精密仪器安徽省重点实验室
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第8期1077-1082,共6页
基金
国家自然科学基金(52175533)
中央高校基本科研业务费(PA2021KCPY0049)
+1 种基金
安徽省重点研发计划(202104h04020025)
大学生创新创业计划项目(S202110359317、X202110359361)。
文摘
针对传统箝位式压电电机在谐振态下工作时,方波振动的箝位部分结构设计复杂问题,提出一种新型箝位式压电电机。该电机箝位部分与驱动部分均由同频正弦电压驱动实现正弦振动,通过定子对动子的箝位接触,实现动子单向输出运动。相较于传统箝位式压电电机和超声电机,该电机的定子结构设计无需采用模态简并,结构设计难度降低。利用有限元仿真确定定、动子结构参数,制造样机并搭建实验平台。对箝位部分分别采用正弦波与方波做激励,再对驱动部分进行波形对比,表明正弦波亦能达到预期效果。实验结果表明:准静态时,激励电压频率为250 Hz、电压峰峰值V为10 V时,步进距离为0.5μm,步进速度0.13 mm/s;谐振态时,激励电压频率为540 Hz、电压峰峰值V为70 V时,步进距离为32μm,步进速度16.9 mm/s;该电机可兼顾低频高分辨率和高频高速输出以实现跨尺度工作。
关键词
计量学
压电电机
跨尺度驱动
箝位机构
正弦驱动
Keywords
metrology
piezoelectric motor
trans-scale drive
clamping mechanism
sine wave drive
分类号
TB971 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微纳米三坐标测量机三轴垂直度误差测量及建模补偿
李瑞君
李洁
何亚雄
程真英
黄强先
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022
11
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职称材料
2
面向油品参数快速计量的高精度傅里叶近红外光谱仪
方旭
刘欣
李琪
舒慧
张正东
程真英
李瑞君
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024
4
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职称材料
3
一种新的大行程垂直纳米运动工作台设计与控制研究
张帆
黄强先
程荣俊
张连生
李红莉
李瑞君
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024
0
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职称材料
4
太阳耀光偏振参数星上计算系统设计
李宇豪
纪峰
裘桢炜
陈斐楠
厉卓然
池杲鋆
陈晶晶
胡亚东
李孟凡
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2024
0
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职称材料
5
基于贝叶斯动态模型的激光干涉仪漂移误差预测
刘丽颖
程真英
陈旭
李瑞君
《计量学报》
CSCD
北大核心
2024
0
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职称材料
6
新型箝位式压电电机的设计研究
岳志涵
潘巧生
陶圣至
商静怡
李晓杰
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022
0
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