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镀膜设备
1
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2008年第2期58-58,共1页
一种镀膜设备，包括一动力单元、一传动机构、一监控机构、一基板承载机构及一镀膜源。其中，动力单元具有一旋转轴心；传动机构包括一第一齿轮及一第二齿轮，且第一齿轮轴设于旋转轴心，第二齿轮与第一齿轮相啮合，第二齿轮的中央具有...
一种镀膜设备，包括一动力单元、一传动机构、一监控机构、一基板承载机构及一镀膜源。其中，动力单元具有一旋转轴心；传动机构包括一第一齿轮及一第二齿轮，且第一齿轮轴设于旋转轴心，第二齿轮与第一齿轮相啮合，第二齿轮的中央具有一第一开口；监控机构具有至少两个测试组件；基板承栽机构连设于第二齿轮且具有一第二开口，第二开口与第一开口相对而设，监控机构穿设于第一开口及第二开口中；镀膜源与基板承载机构及测试组件相对而设。
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关键词
镀膜设备
传动机构
动力单元
承载机构
测试组件
齿轮轴
监控
基板
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职称材料
专利名称：镀膜装置中的遮板
2
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005年第4期57-57,共1页
一种镀膜装置中的遮板，是用以在一基板上形成两种以上特定厚度的镀膜层，其中遮板的形状是由多数条同心圆弧线所构成，同心圆弧线的弧度是依据镀膜层的特定厚度设成。具有遮板能够精密控制镀膜层每一点的膜厚的功效。
关键词
镀膜装置
基板
专利名称
镀膜层
精密控制
圆弧线
厚度
同心
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职称材料
题名
镀膜设备
1
机构
台湾省精碟科技股份有限公司
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2008年第2期58-58,共1页
文摘
一种镀膜设备，包括一动力单元、一传动机构、一监控机构、一基板承载机构及一镀膜源。其中，动力单元具有一旋转轴心；传动机构包括一第一齿轮及一第二齿轮，且第一齿轮轴设于旋转轴心，第二齿轮与第一齿轮相啮合，第二齿轮的中央具有一第一开口；监控机构具有至少两个测试组件；基板承栽机构连设于第二齿轮且具有一第二开口，第二开口与第一开口相对而设，监控机构穿设于第一开口及第二开口中；镀膜源与基板承载机构及测试组件相对而设。
关键词
镀膜设备
传动机构
动力单元
承载机构
测试组件
齿轮轴
监控
基板
分类号
TQ153 [化学工程—电化学工业]
U463.92 [机械工程—车辆工程]
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职称材料
题名
专利名称：镀膜装置中的遮板
2
机构
台湾省精碟科技股份有限公司
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005年第4期57-57,共1页
文摘
一种镀膜装置中的遮板，是用以在一基板上形成两种以上特定厚度的镀膜层，其中遮板的形状是由多数条同心圆弧线所构成，同心圆弧线的弧度是依据镀膜层的特定厚度设成。具有遮板能够精密控制镀膜层每一点的膜厚的功效。
关键词
镀膜装置
基板
专利名称
镀膜层
精密控制
圆弧线
厚度
同心
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
TN41 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
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出处
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被引量
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1
镀膜设备
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2008
0
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职称材料
2
专利名称：镀膜装置中的遮板
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005
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职称材料
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