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田口法研究3Y-TZP/TiN导电陶瓷材料最佳化制程
被引量：
2
1
作者
王翠凤
邱锡荣
+1 位作者
欧耿良
蔡长庭
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第5期529-535,共7页
实验用田口法研究了添加30wt%氮化钛的钇稳定氧化锆基陶瓷材料(3Y-TZP/TiN)制造工艺.选择烧结方式、TiN粉末振荡时间、第一阶段保温时间及第二阶段烧结温度四个工艺参数作为控制因子,设计L9正交表进行实验规划.烧结后,检测试片断裂韧性...
实验用田口法研究了添加30wt%氮化钛的钇稳定氧化锆基陶瓷材料(3Y-TZP/TiN)制造工艺.选择烧结方式、TiN粉末振荡时间、第一阶段保温时间及第二阶段烧结温度四个工艺参数作为控制因子,设计L9正交表进行实验规划.烧结后,检测试片断裂韧性、抗弯强度、硬度、相对密度及电阻值.最后通过变异数分析找出最佳参数,再进行实验验证.本研究得到的最佳化烧结工艺为:TiN粉末振动8 h,采用两步烧结法,第一阶段烧结温度1450℃,不保温,第二阶段烧结温度1150℃,保温20 h.结果显示,采用该工艺得到了抗弯强度平均值为736.75 MPa、断裂韧性为7.545 MPa.m1/2的氧化锆基导电陶瓷材料.研究发现,第一阶段保温时间对断裂韧性的影响程度最大,其次依次为烧结方式、TiN粒径大小及第二阶段保温温度.断裂韧性的微结构影响因子为四方相与单斜相数量的比值,当此值达到最高时,断裂韧性也达到最高值为9.275 MPa.m1/2.另外,添加30wt%TiN的氧化锆电阻率平均值为3.26 m.cm,可以进行电火花加工.
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关键词
钇稳定氧化锆
田口法
变异数分析
抗弯强度
断裂韧性
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职称材料
直流磁控溅射法在PET基板上制备AZO薄膜
被引量：
3
2
作者
王翠凤
邱锡荣
+1 位作者
赵乙璇
欧耿良
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期53-60,共8页
室温下用直流磁控溅射法在PET塑料基板上制备氧化锌薄膜及掺铝氧化锌AZO(ZnO:Al)薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、四点探针仪、霍尔效应仪及光谱仪等装置,考察了氧分率、溅射功率及铝掺杂量等...
室温下用直流磁控溅射法在PET塑料基板上制备氧化锌薄膜及掺铝氧化锌AZO(ZnO:Al)薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、四点探针仪、霍尔效应仪及光谱仪等装置,考察了氧分率、溅射功率及铝掺杂量等工艺参数对薄膜微观结构和光电性能的影响。结果表明:AZO薄膜晶体结构为纯ZnO的六角纤锌矿结构。随着Al掺杂量增多,AZO薄膜导电性增加,透光率下降。在氧分率为8.2%,ZnO(40nm)/Al(6nm)三层膜条件下,得到电阻率为5.66×10-2Ω.cm,可见光范围内透光率约为80%的AZO薄膜。
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关键词
AZO
PET基板
透明导电膜
直流磁控溅射
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职称材料
题名
田口法研究3Y-TZP/TiN导电陶瓷材料最佳化制程
被引量：
2
1
作者
王翠凤
邱锡荣
欧耿良
蔡长庭
机构
福建信息职业技术
学院
机电工程系
高雄应用科技
大学
模具工程系
台北医学大学口腔医学院
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第5期529-535,共7页
文摘
实验用田口法研究了添加30wt%氮化钛的钇稳定氧化锆基陶瓷材料(3Y-TZP/TiN)制造工艺.选择烧结方式、TiN粉末振荡时间、第一阶段保温时间及第二阶段烧结温度四个工艺参数作为控制因子,设计L9正交表进行实验规划.烧结后,检测试片断裂韧性、抗弯强度、硬度、相对密度及电阻值.最后通过变异数分析找出最佳参数,再进行实验验证.本研究得到的最佳化烧结工艺为:TiN粉末振动8 h,采用两步烧结法,第一阶段烧结温度1450℃,不保温,第二阶段烧结温度1150℃,保温20 h.结果显示,采用该工艺得到了抗弯强度平均值为736.75 MPa、断裂韧性为7.545 MPa.m1/2的氧化锆基导电陶瓷材料.研究发现,第一阶段保温时间对断裂韧性的影响程度最大,其次依次为烧结方式、TiN粒径大小及第二阶段保温温度.断裂韧性的微结构影响因子为四方相与单斜相数量的比值,当此值达到最高时,断裂韧性也达到最高值为9.275 MPa.m1/2.另外,添加30wt%TiN的氧化锆电阻率平均值为3.26 m.cm,可以进行电火花加工.
关键词
钇稳定氧化锆
田口法
变异数分析
抗弯强度
断裂韧性
Keywords
Key words： 3mo1% Yttria-tetragonal zirconia （3Y-TZP）
Taguchi method
analysis of variance（ANOVA）
flexuralstrength
fracture toughness
分类号
TQ174 [化学工程—陶瓷工业]
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职称材料
题名
直流磁控溅射法在PET基板上制备AZO薄膜
被引量：
3
2
作者
王翠凤
邱锡荣
赵乙璇
欧耿良
机构
福建信息职业技术
学院
机电工程系
高雄应用科技
大学
模具工程系
台北医学大学口腔医学院
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第6期53-60,共8页
基金
福建省教育厅自然科学基金(JA11306)
文摘
室温下用直流磁控溅射法在PET塑料基板上制备氧化锌薄膜及掺铝氧化锌AZO(ZnO:Al)薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)、四点探针仪、霍尔效应仪及光谱仪等装置,考察了氧分率、溅射功率及铝掺杂量等工艺参数对薄膜微观结构和光电性能的影响。结果表明:AZO薄膜晶体结构为纯ZnO的六角纤锌矿结构。随着Al掺杂量增多,AZO薄膜导电性增加,透光率下降。在氧分率为8.2%,ZnO(40nm)/Al(6nm)三层膜条件下,得到电阻率为5.66×10-2Ω.cm,可见光范围内透光率约为80%的AZO薄膜。
关键词
AZO
PET基板
透明导电膜
直流磁控溅射
Keywords
AZO
PET substrate
transparent conductive films
DC magnetron sputtering
分类号
TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
田口法研究3Y-TZP/TiN导电陶瓷材料最佳化制程
王翠凤
邱锡荣
欧耿良
蔡长庭
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
直流磁控溅射法在PET基板上制备AZO薄膜
王翠凤
邱锡荣
赵乙璇
欧耿良
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
3
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职称材料
已选择
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