期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
纳米晶Ti-Si-N超硬复合涂层的研究进展
被引量：
6
1
作者
沈保罗
王均
+3 位作者
张铁邦
高见
冯浩
黄四九
《粉末冶金技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期383-387,共5页
本文对纳米晶Ti-Si-N超硬涂层材料国内外研究进展进行了系统的回顾,着重分析了制备方法(等离子增强化学气相沉积,等离子辅助化学气相沉积,直流磁控溅射和射频磁控溅射等)、工艺参数(沉积温度,进气比)和硅含量对Ti-Si-N微观结构、硬度、...
本文对纳米晶Ti-Si-N超硬涂层材料国内外研究进展进行了系统的回顾,着重分析了制备方法(等离子增强化学气相沉积,等离子辅助化学气相沉积,直流磁控溅射和射频磁控溅射等)、工艺参数(沉积温度,进气比)和硅含量对Ti-Si-N微观结构、硬度、抗氧化性、耐腐蚀性和耐磨性的影响。在合适的工艺条件下,能获得硬度最高的纳米TiN晶体镶嵌在非晶态的Si3N4基体上的复合涂层(nc-TiN/a-Si3N4)。该涂层有良好的性能并将得到广泛的应用。
展开更多
关键词
纳米晶Ti—Si—N超硬复合涂层
制备方法
等离子增强化学气相沉积
等离子辅助化学气相沉积
直流磁控溅射
射频磁控溅射
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
纳米晶Ti-Si-N超硬复合涂层的研究进展
被引量：
6
1
作者
沈保罗
王均
张铁邦
高见
冯浩
黄四九
机构
四川大学材料科学与工程学院
成都工具研究所
双流四九稀土合金铸造厂
出处
《粉末冶金技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期383-387,共5页
文摘
本文对纳米晶Ti-Si-N超硬涂层材料国内外研究进展进行了系统的回顾,着重分析了制备方法(等离子增强化学气相沉积,等离子辅助化学气相沉积,直流磁控溅射和射频磁控溅射等)、工艺参数(沉积温度,进气比)和硅含量对Ti-Si-N微观结构、硬度、抗氧化性、耐腐蚀性和耐磨性的影响。在合适的工艺条件下,能获得硬度最高的纳米TiN晶体镶嵌在非晶态的Si3N4基体上的复合涂层(nc-TiN/a-Si3N4)。该涂层有良好的性能并将得到广泛的应用。
关键词
纳米晶Ti—Si—N超硬复合涂层
制备方法
等离子增强化学气相沉积
等离子辅助化学气相沉积
直流磁控溅射
射频磁控溅射
Keywords
Ti-Si-N
CVD
PVD
coatings
microstructure
property
分类号
TG174.44 [金属学及工艺—金属表面处理]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳米晶Ti-Si-N超硬复合涂层的研究进展
沈保罗
王均
张铁邦
高见
冯浩
黄四九
《粉末冶金技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
