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光伏法研究掺金硅特性 被引量:1
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作者 朱文章 沈顗华 刘士毅 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期44-48,共5页
本文采用光伏方法测量掺金硅的少子寿命,掺金浓度为10^(12)~6.62×10^(15)cm^(-3),4个数量级;根据对两类不同电阻率的N型掺金硅少子寿命系统的测量和统计计算,提出了对硅中金性质的看法。统计计算及... 本文采用光伏方法测量掺金硅的少子寿命,掺金浓度为10^(12)~6.62×10^(15)cm^(-3),4个数量级;根据对两类不同电阻率的N型掺金硅少子寿命系统的测量和统计计算,提出了对硅中金性质的看法。统计计算及简并因子和金施主与金受主的相关性,实验和计算结果都表明,高浓度金掺杂可以改变N型高阻硅的导电类型。 展开更多
关键词 掺金硅 少子寿命 光伏 深能级
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