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题名MEMS压力传感器在义齿力学性能研究中的应用
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作者
冯勇建
谢雪望
刘建彰
冯永奇
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机构
厦门大学机电工程系
北京大学口腔医学院
厦门福芯微电子科技有限公司
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期702-704,共3页
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文摘
给出一种用于义齿压力测量的微型电容式传感器的研制工艺和封装测试。文中根据电容式压力传感器的原理,采用MEMS工艺,研制出微型传感器。在与义齿基托相同材料的作底基的树脂上挖一个边长为2mm平整的方形小坑,将传感器分布式埋植入底基,并用自制的施加压力的装置对传感器进行测试,从而检测出压力对口腔下方组织的作用力。测量结果表明,该传感器能够准备地测量出当牙齿咬合时,义齿基托所承受的力和力的分布。该传感器性能良好,具有比较稳定的输入与输出关系,适用于口腔恶劣环境下测量义齿对口腔下方组织作用力。
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关键词
义齿
电容式传感器
MEMS
传感器测试
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Keywords
false tooth
capacitance sensor
MEMS
test of sensor
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分类号
TH212
[机械工程—机械制造及自动化]
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