GaN基LED芯片具有制备工艺简单、低成本、良率高等优点,提高LED芯片的出光效率已成为国内外专家的研究重点。采用tracepro软件,并基于蒙特卡洛法对ITO表面具有微孔结构的LED芯片的光萃取效率进行模拟仿真,相比ITO层没有微孔结构的LED芯...GaN基LED芯片具有制备工艺简单、低成本、良率高等优点,提高LED芯片的出光效率已成为国内外专家的研究重点。采用tracepro软件,并基于蒙特卡洛法对ITO表面具有微孔结构的LED芯片的光萃取效率进行模拟仿真,相比ITO层没有微孔结构的LED芯片,有微孔结构的LED芯片的光萃取效率有明显的提升。通过光刻技术和湿法蚀刻技术制备ITO厚度为30 nm的LED芯片,在ITO层制作周期微结构。通过光电性检测,在通入20 m A电流时,相比ITO层没有微孔结构的LED芯片,有微孔结构的LED芯片样品的输出光功率分别提高3.9%、6.76%和4.66%,并在此基础上优化了的电极结构,使电流密度分布均匀得到有效提升。展开更多
文摘GaN基LED芯片具有制备工艺简单、低成本、良率高等优点,提高LED芯片的出光效率已成为国内外专家的研究重点。采用tracepro软件,并基于蒙特卡洛法对ITO表面具有微孔结构的LED芯片的光萃取效率进行模拟仿真,相比ITO层没有微孔结构的LED芯片,有微孔结构的LED芯片的光萃取效率有明显的提升。通过光刻技术和湿法蚀刻技术制备ITO厚度为30 nm的LED芯片,在ITO层制作周期微结构。通过光电性检测,在通入20 m A电流时,相比ITO层没有微孔结构的LED芯片,有微孔结构的LED芯片样品的输出光功率分别提高3.9%、6.76%和4.66%,并在此基础上优化了的电极结构,使电流密度分布均匀得到有效提升。
