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CMP工艺参数对AlGaInP基LED衬底转移的影响
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作者 王嘉伟 许英朝 +3 位作者 杨凯 鹿晨东 范浩爽 陆逸 《激光杂志》 CAS 北大核心 2024年第3期224-229,共6页
以GaP/Al2O3/SiO2引导式出光结构作为芯片键合层,通过化学机械抛光工艺减少AlGaInP基Mini-LED衬底转移过程中出现的外延层空洞,提高芯片制备工艺良率。以材料去除速率和表面粗糙度作为技术评价指标,基于单因素实验结果对抛光压力、抛光... 以GaP/Al2O3/SiO2引导式出光结构作为芯片键合层,通过化学机械抛光工艺减少AlGaInP基Mini-LED衬底转移过程中出现的外延层空洞,提高芯片制备工艺良率。以材料去除速率和表面粗糙度作为技术评价指标,基于单因素实验结果对抛光压力、抛光头转速、抛光盘转速、抛光液流速四个影响化学机械抛光工艺的因素展开L9(34)的正交实验,实验结果表明:在抛光头转速75 r/min、抛光盘转速80 r/min、抛光压力8 kPa、抛光液流速100 mL/min条件下,材料去除速率为83.12 nm/min,表面粗糙度最低为0.477 nm,采用优化后的工艺条件能够获得高质量的GaAs键合表面,有效减少外延空洞,提高制备良率。 展开更多
关键词 化学机械抛光工艺 ALGAINP 正交试验 表面粗糙度 良率
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基于Android平台的车载蓝牙电话免提系统的研究 被引量:2
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作者 林嘉涛 陈飞龙 +1 位作者 张璘 许英朝 《电子测量技术》 2018年第10期7-12,共6页
针对目前司机驾车手接听电话带来的安全隐患问题,为提高车辆的安全性,加强驾驶员的驾车注意力,设计了一种基于Android平台的车载蓝牙电话免提系统。该系统基于CSR8670芯片,采用蓝牙技术构建语音通信管道和蓝牙协议,利用芯片内部DSP噪声... 针对目前司机驾车手接听电话带来的安全隐患问题,为提高车辆的安全性,加强驾驶员的驾车注意力,设计了一种基于Android平台的车载蓝牙电话免提系统。该系统基于CSR8670芯片,采用蓝牙技术构建语音通信管道和蓝牙协议,利用芯片内部DSP噪声消除模块对车载环境进行回声消除和噪声抑制,通过自带开发板的平面倒F天线,匹配连接Android手机蓝牙,实现了车载蓝牙免提语音通信的控制。经测试,该系统能够进行正常蓝牙免提通信,充分证明系统的可靠性和可行性。 展开更多
关键词 ANDROID平台 CSR8670 蓝牙协议 车载蓝牙免提
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TiAlON太阳能吸收膜的制备及高温性能衰减分析
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作者 许英朝 陈冠宇 +1 位作者 林洪沂 朱文章 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第10期2717-2722,共6页
采用直流磁控溅射制备AlON/TiAlON(LMVF)/TiAlON(HMVF)/Cu型太阳能光谱选择性吸收薄膜,并对其光学性能及高温下的衰减机理进行研究。吸收膜沉积态的吸收比和发射比分别为0.951和0.045(100℃)。在500℃的大气气氛中热处理200 h后涂层的... 采用直流磁控溅射制备AlON/TiAlON(LMVF)/TiAlON(HMVF)/Cu型太阳能光谱选择性吸收薄膜,并对其光学性能及高温下的衰减机理进行研究。吸收膜沉积态的吸收比和发射比分别为0.951和0.045(100℃)。在500℃的大气气氛中热处理200 h后涂层的光学性能出现小幅衰减。主要的衰减机制为薄膜在高温下O、N和Cu发生轻微扩散及氧化。结果表明AlON/TiAlON(LMVF)/TiAlON(HMVF)/Cu型太阳能吸收膜具有良好的光学性能,可适用于CSP中高温发电及民用生活等方面。 展开更多
关键词 TiAlON薄膜 热稳定性 高温衰减 氧化 扩散
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AlO_xN_y涂层微观结构及光学性质研究
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作者 许英朝 常永笑 +1 位作者 林洪沂 朱文章 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期491-495,共5页
通过调控氮氧比采用反应磁控溅射沉积技术在硅基表面制备AlOxNy涂层。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电能谱仪(XPS)、投射电子显微镜(TEM)、光谱椭偏仪(SE)分析氮氧比对所制备AlOxNy涂层微观结构及光学... 通过调控氮氧比采用反应磁控溅射沉积技术在硅基表面制备AlOxNy涂层。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、X射线光电能谱仪(XPS)、投射电子显微镜(TEM)、光谱椭偏仪(SE)分析氮氧比对所制备AlOxNy涂层微观结构及光学性质的影响。结果表明,通过调控AlOxNy涂层的氮氧含量,该涂层的光学性质由半导体特性向电介质特性转变,折射率介于1.63—1.91之间,说明AlOxNy涂层具有可调控的光学常数,可作太阳能选择性吸收涂层增透层的候选材料。 展开更多
关键词 太阳能 增透层 微观结构 光学性质
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