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MEMS高温电容式压力传感器的研制与测试
被引量：
1
1
作者
徐肯
王绍清
冯勇建
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第11期8-11,共4页
介绍了一种用硅–硅键合MEMS技术制作的高温电容式压力传感器,并给出了详细的制作工艺。文中对测试装置、测试电路进行了介绍和深入分析,最后用此测试电路对制作的传感器器件进行了高温测试,测试结果表明这种微传感器可在低于350℃的条...
介绍了一种用硅–硅键合MEMS技术制作的高温电容式压力传感器,并给出了详细的制作工艺。文中对测试装置、测试电路进行了介绍和深入分析,最后用此测试电路对制作的传感器器件进行了高温测试,测试结果表明这种微传感器可在低于350℃的条件下正常工作,且具有很大的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度,其应用前景十分广阔。
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关键词
微机电系统
高温
传感器
电容式
压力测试
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职称材料
7740玻璃湿法腐蚀凹槽及槽内光刻图形的研究
被引量：
6
2
作者
郑志霞
林雁飞
冯勇建
《厦门大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期370-372,共3页
用玻璃腐蚀工艺制作MEMS器件,腐蚀非常困难.通过对PYREX7740玻璃在Buffer溶液中腐蚀速率的研究发现,PYREX7740玻璃腐蚀1μm的槽需要25min,而作为掩膜的光刻胶在腐蚀液中只能保持10min不浮胶.为此,文中详细介绍了运用一次光刻,多次坚膜,...
用玻璃腐蚀工艺制作MEMS器件,腐蚀非常困难.通过对PYREX7740玻璃在Buffer溶液中腐蚀速率的研究发现,PYREX7740玻璃腐蚀1μm的槽需要25min,而作为掩膜的光刻胶在腐蚀液中只能保持10min不浮胶.为此,文中详细介绍了运用一次光刻,多次坚膜,多次腐蚀的工艺,来达到对PYREX7740玻璃进行深腐蚀的方法.实验结果表明,光刻胶厚度、坚膜时间、坚膜次数和坚膜温度都与光刻胶的浮胶有关,最后给出了不同条件下凹槽深度与所需的曝光和显影时间的关系,槽越深需要的曝光和显影时间越长.这对于用PYREX7740玻璃制作MEMS器件具有重要意义.
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关键词
玻璃
光刻图形
湿法腐蚀
MEMS器件
BUFFER
显影时间
光刻胶
工艺制作
腐蚀速率
详细介绍
凹槽深度
坚膜
腐蚀液
曝光
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职称材料
自适应控制用于消除被动加载系统中多余力
3
作者
冯勇建
《机床与液压》
北大核心
2002年第4期53-55,共3页
本文对由电液伺服系统组成的被动加载装置进行厂详细的建模研究并通过对抽油机电液被动加载系统的仿真研究,模拟了被动加载系统中的多余力。针对被动加载系统中存在强运动干扰一多余力这一显著问题,本文提出了全部用计算机控制完成的消...
本文对由电液伺服系统组成的被动加载装置进行厂详细的建模研究并通过对抽油机电液被动加载系统的仿真研究,模拟了被动加载系统中的多余力。针对被动加载系统中存在强运动干扰一多余力这一显著问题,本文提出了全部用计算机控制完成的消除强干扰的自适应控制算法并给出对被加载体运动状态进行无偏估计的卡尔曼滤波算法以提高控制精度。最后,对抽油机电液被动加载系统进行了试验研究,经过试验验证,本文给出的以计算机为核心的有卡尔曼滤波器的消除强干扰的自适应控制加载系统能有效的消除被动加载系统中的多余力,整套系统控制精度高,工作性能稳定。
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关键词
被动加载系统
多余力
自适应控制
卡尔曼滤波
电液伺服系统
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职称材料
题名
MEMS高温电容式压力传感器的研制与测试
被引量：
1
1
作者
徐肯
王绍清
冯勇建
机构
厦门大学
机
电
工程系
厦门大学微机电中心
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第11期8-11,共4页
文摘
介绍了一种用硅–硅键合MEMS技术制作的高温电容式压力传感器,并给出了详细的制作工艺。文中对测试装置、测试电路进行了介绍和深入分析,最后用此测试电路对制作的传感器器件进行了高温测试,测试结果表明这种微传感器可在低于350℃的条件下正常工作,且具有很大的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度,其应用前景十分广阔。
关键词
微机电系统
高温
传感器
电容式
压力测试
Keywords
MEMS
high temperature
sensor
capacitive
pressure testing
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
7740玻璃湿法腐蚀凹槽及槽内光刻图形的研究
被引量：
6
2
作者
郑志霞
林雁飞
冯勇建
机构
厦门大学
机
电
工程系
厦门大学微机电中心
出处
《厦门大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期370-372,共3页
文摘
用玻璃腐蚀工艺制作MEMS器件,腐蚀非常困难.通过对PYREX7740玻璃在Buffer溶液中腐蚀速率的研究发现,PYREX7740玻璃腐蚀1μm的槽需要25min,而作为掩膜的光刻胶在腐蚀液中只能保持10min不浮胶.为此,文中详细介绍了运用一次光刻,多次坚膜,多次腐蚀的工艺,来达到对PYREX7740玻璃进行深腐蚀的方法.实验结果表明,光刻胶厚度、坚膜时间、坚膜次数和坚膜温度都与光刻胶的浮胶有关,最后给出了不同条件下凹槽深度与所需的曝光和显影时间的关系,槽越深需要的曝光和显影时间越长.这对于用PYREX7740玻璃制作MEMS器件具有重要意义.
关键词
玻璃
光刻图形
湿法腐蚀
MEMS器件
BUFFER
显影时间
光刻胶
工艺制作
腐蚀速率
详细介绍
凹槽深度
坚膜
腐蚀液
曝光
Keywords
micro-sensor
wet etching
exposure
development
分类号
TQ171.623 [化学工程—玻璃工业]
TQ587.2 [化学工程—精细化工]
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职称材料
题名
自适应控制用于消除被动加载系统中多余力
3
作者
冯勇建
机构
厦门大学微机电中心
出处
《机床与液压》
北大核心
2002年第4期53-55,共3页
文摘
本文对由电液伺服系统组成的被动加载装置进行厂详细的建模研究并通过对抽油机电液被动加载系统的仿真研究,模拟了被动加载系统中的多余力。针对被动加载系统中存在强运动干扰一多余力这一显著问题,本文提出了全部用计算机控制完成的消除强干扰的自适应控制算法并给出对被加载体运动状态进行无偏估计的卡尔曼滤波算法以提高控制精度。最后,对抽油机电液被动加载系统进行了试验研究,经过试验验证,本文给出的以计算机为核心的有卡尔曼滤波器的消除强干扰的自适应控制加载系统能有效的消除被动加载系统中的多余力,整套系统控制精度高,工作性能稳定。
关键词
被动加载系统
多余力
自适应控制
卡尔曼滤波
电液伺服系统
Keywords
Self-adaptive control
Kalman filtering
Test
分类号
TP271.31 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP273.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
MEMS高温电容式压力传感器的研制与测试
徐肯
王绍清
冯勇建
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2004
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
7740玻璃湿法腐蚀凹槽及槽内光刻图形的研究
郑志霞
林雁飞
冯勇建
《厦门大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2005
6
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
自适应控制用于消除被动加载系统中多余力
冯勇建
《机床与液压》
北大核心
2002
0
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职称材料
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