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用于单片集成传感系统的多晶硅级联自发光器件研究
1
作者
唐宇
罗谦
+2 位作者
刘斯扬
SNYMAN Lukas W
徐开凯
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第5期180-188,共9页
针对全硅光电生物传感器的硅基单片集成应用需求,提出了基于多晶硅级联自发光器件的单片集成传感器,对其中作为关键部分的多晶硅光源进行了试制,采用标准0.35μm的CMOS工艺对该光源进行了流片验证,并设计了适配的全硅波导检测结构。结...
针对全硅光电生物传感器的硅基单片集成应用需求,提出了基于多晶硅级联自发光器件的单片集成传感器,对其中作为关键部分的多晶硅光源进行了试制,采用标准0.35μm的CMOS工艺对该光源进行了流片验证,并设计了适配的全硅波导检测结构。结果表明,多晶硅光源发光特征峰为635 nm、700 nm和785 nm,该特征峰作为波导入射光源时,设计的全硅波导检测结构能够实现检测目的。
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关键词
单片集成
硅基光源
氮化硅波导
生物传感器
折射率传感
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职称材料
题名
用于单片集成传感系统的多晶硅级联自发光器件研究
1
作者
唐宇
罗谦
刘斯扬
SNYMAN Lukas W
徐开凯
机构
电子
科技
大学
电子
薄膜与集成器件全国重点实验室
东南
大学
国家ASIC
工程
中心
南非大学电子工程系
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024年第5期180-188,共9页
基金
国家自然科学基金(No.62174018)
四川省科技厅重点研发项目(No.2023YFG0141)。
文摘
针对全硅光电生物传感器的硅基单片集成应用需求,提出了基于多晶硅级联自发光器件的单片集成传感器,对其中作为关键部分的多晶硅光源进行了试制,采用标准0.35μm的CMOS工艺对该光源进行了流片验证,并设计了适配的全硅波导检测结构。结果表明,多晶硅光源发光特征峰为635 nm、700 nm和785 nm,该特征峰作为波导入射光源时,设计的全硅波导检测结构能够实现检测目的。
关键词
单片集成
硅基光源
氮化硅波导
生物传感器
折射率传感
Keywords
Monolithic integrated
Silicon-based light source
Silicon nitride waveguide
Biosensor
Refractive index sensing
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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作者
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1
用于单片集成传感系统的多晶硅级联自发光器件研究
唐宇
罗谦
刘斯扬
SNYMAN Lukas W
徐开凯
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2024
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