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MOCVD生长的GaN单晶膜的蓝带发光研究 被引量:11
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作者 李述体 王立 +4 位作者 辛勇 彭学新 熊传兵 姚冬敏 江风益 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期29-32,共4页
对实验室用 MOCVD方法生长的未掺杂 Ga N单晶膜的发光性能进行了研究。结果表明 :在室温时未掺杂 Ga N单晶出现的能量为 2 .9e V左右蓝带发光与补偿度有较强的依赖关系。高补偿 Ga N的蓝带发射强 ,低补偿 Ga N的蓝带发射弱。对蓝带发光... 对实验室用 MOCVD方法生长的未掺杂 Ga N单晶膜的发光性能进行了研究。结果表明 :在室温时未掺杂 Ga N单晶出现的能量为 2 .9e V左右蓝带发光与补偿度有较强的依赖关系。高补偿 Ga N的蓝带发射强 ,低补偿 Ga N的蓝带发射弱。对蓝带发光机理进行了探讨 ,认为蓝带为导带电子跃迁至受主能级的发光 ( e A发光 )。观察到降低 Ga N补偿度能提高 Ga N带边发射强度。 展开更多
关键词 MOCVD 光致发光 补偿度 氮化镓 单品膜
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MOCVD生长GaN:Si单晶膜的研究 被引量:6
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作者 江风益 李述体 +4 位作者 王立 熊传兵 彭学新 辛勇 姚冬敏 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期120-124,共5页
获得高质量的n型GaN单晶膜是制作GaN基光电子器件的关键之一。采用立式MOCVD系统生长GaN:Si单晶膜,通过优化生长工艺,获得了电子载流于浓度高达2 ×1019cm-3,迁移率达120cm2/V·s的n... 获得高质量的n型GaN单晶膜是制作GaN基光电子器件的关键之一。采用立式MOCVD系统生长GaN:Si单晶膜,通过优化生长工艺,获得了电子载流于浓度高达2 ×1019cm-3,迁移率达120cm2/V·s的n型GaN:Si单晶膜;并有效地抑制了GaN中由深能级引起的黄带发射,大大提高带边发光强度。研究结果还表明:随着S掺杂量的增大,GaN:Si单晶膜的电子载流于浓度增加,迁移率下降,X光双晶衍射峰半高宽增大。首次报道了随掺S量增大,GaN:Si单晶膜的生长速率显著下降的现象。 展开更多
关键词 MOCVD 单晶膜 氮化镓
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GaN的补偿度与离子束沟道最小产额比的关系的研究 被引量:4
3
作者 姚冬敏 王立 +2 位作者 熊传兵 彭学新 江风益 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期109-114,共6页
用RBS/沟道技术对MOCVD生长的未故意掺杂的GaN的结构性能进行了测试,同时用霍耳方法测试了样品的电学性能。结果表明:GaN薄膜的背散射沟道谱与随机谱之比Xmin和其补偿度存在一定的依赖关系。补偿度小的样品,其X... 用RBS/沟道技术对MOCVD生长的未故意掺杂的GaN的结构性能进行了测试,同时用霍耳方法测试了样品的电学性能。结果表明:GaN薄膜的背散射沟道谱与随机谱之比Xmin和其补偿度存在一定的依赖关系。补偿度小的样品,其Xmin小;随着样品补偿度的增大,Xmin也逐渐增大;但它们之间的关系变化是非线性的。对这些结果给予了一定的解释。 展开更多
关键词 氮化缘 离子束沟道 补偿度
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MOCVD生长的未掺杂GaN的结晶特性与补偿度关系的研究 被引量:1
4
作者 辛勇 熊传兵 +4 位作者 彭学新 王立 姚冬敏 李述体 江风益 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第1期33-37,共5页
对本实验室用 MOCVD方法生长的未故意掺杂的 Ga N单晶膜进行了结晶性能、电学性能研究。结果表明 ,室温时 Ga N的 X射线双晶衍射半高宽与其补偿度有较强的依赖关系。高补偿的 Ga N的 X射线双晶衍射半高宽较宽 ,低补偿的 Ga N的 X射线双... 对本实验室用 MOCVD方法生长的未故意掺杂的 Ga N单晶膜进行了结晶性能、电学性能研究。结果表明 ,室温时 Ga N的 X射线双晶衍射半高宽与其补偿度有较强的依赖关系。高补偿的 Ga N的 X射线双晶衍射半高宽较宽 ,低补偿的 Ga N的 X射线双晶衍射半高宽较窄。 展开更多
关键词 补偿度 X射线双晶衍射 MOCVD 氮化镓 结晶特性
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MOCVD反应管中石墨基座高温控制技术研究 被引量:3
5
作者 蒲勇 彭学新 《南昌大学学报(工科版)》 CAS 2003年第2期55-58,共4页
本文研究了使用电阻丝加热的MOCVD反应管中加热器的控制技术,报道了具有通用性的自动限流控制电路工作原理及其调试方法.本技术主要适用于高电阻温度系数加热元件的控制及保护,已成功地应用于MOCVD反应管中高温控制,加热器的使用寿命得... 本文研究了使用电阻丝加热的MOCVD反应管中加热器的控制技术,报道了具有通用性的自动限流控制电路工作原理及其调试方法.本技术主要适用于高电阻温度系数加热元件的控制及保护,已成功地应用于MOCVD反应管中高温控制,加热器的使用寿命得到了显著提高. 展开更多
关键词 电阻温度系数 加热器 自动限流
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MOCVD系统中压力和压差控制技术研究 被引量:2
6
作者 蒲勇 江风益 王慧 《电子工业专用设备》 2004年第7期66-68,共3页
介绍了压力和压差控制在MOCVD系统眼1演中的作用,比较了两种不同的压力和压差控制技术的优缺点,解析了国际上此类设备中压力和压差控制有关技术特点,以及用国产质量流量控制器和压力、压差传感器为主要部件研制的压力、压差控制器,在Zn... 介绍了压力和压差控制在MOCVD系统眼1演中的作用,比较了两种不同的压力和压差控制技术的优缺点,解析了国际上此类设备中压力和压差控制有关技术特点,以及用国产质量流量控制器和压力、压差传感器为主要部件研制的压力、压差控制器,在ZnO生长的MOCVD设备中良好的效果。 展开更多
关键词 MOCVD 压力 压差 控制技术
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有机源载气对MOCVD生长InGaN薄膜的影响研究
7
作者 王立 李述体 +3 位作者 彭学新 熊传兵 李鹏 江凤益 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期213-217,共5页
采用MOCVD技术以Al2 O3 为衬底在GaN膜上生长了InxGa1-xN薄膜。以卢瑟福背散射 /沟道技术和光致发光技术对InxGa1-xN/GaN/Al2 O3 样品进行了测试。获得了合金层的组分、厚度、结晶品质及发光性能等信息。研究表明 :在以N2 作主载气的情... 采用MOCVD技术以Al2 O3 为衬底在GaN膜上生长了InxGa1-xN薄膜。以卢瑟福背散射 /沟道技术和光致发光技术对InxGa1-xN/GaN/Al2 O3 样品进行了测试。获得了合金层的组分、厚度、结晶品质及发光性能等信息。研究表明 :在以N2 作主载气的情况下 ,有机源的载气对InxGa1-xN膜的In组分和生长速率影响很大。生长温度为 76 0℃时 ,以 70ml/min的N2 作有机源载气得到的InxGa1-xN膜的In组分为 0 10 ,生长速率为 6 0nm/min ;而以 70ml/min的H2 作有机源载气得到的InxGa1-xN薄膜的In组分为 0 0 6 ,生长速率为10 6nm/min。本文首次报导了载气中含有少量H2 能增大InxGa1-xN薄膜的生长速率的现象。 展开更多
关键词 MOCVD 卢瑟福背散射/沟道技术 光致发光 LnGaN薄膜 铟镓氮化合物 有机源载气 薄膜生长 GAN 氮化镓半导体
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GaN中一种新受主的发光性能研究
8
作者 熊传兵 姚冬敏 +2 位作者 彭学新 王立 江风益 《南昌大学学报(工科版)》 CAS 2001年第1期5-8,共4页
对两类未故意掺杂GaN样品 ,用He-Cd激光器 32 5nm线激发 ,进行光致发光性能测试 ,发现表面呈浅白色的样品出现一个新的发光峰 ,该峰在 30 0K时位于 3.146eV处 对此类样品进行变激发密度光致发光谱测试 ,发现此峰的峰位不随激发密度的... 对两类未故意掺杂GaN样品 ,用He-Cd激光器 32 5nm线激发 ,进行光致发光性能测试 ,发现表面呈浅白色的样品出现一个新的发光峰 ,该峰在 30 0K时位于 3.146eV处 对此类样品进行变激发密度光致发光谱测试 ,发现此峰的峰位不随激发密度的变化而发生移动 ,其发光峰强与激发密度呈超线性关系 据此 ,把这一发光峰归结为导带电子到一种新受主能级的复合 ,并测得此受主离化能为 ( 2 99± 10 ) 展开更多
关键词 氮化镓 金属有机化学气相沉积 光致发光 发光性能 受主 掺杂
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未掺杂GaN外延膜的结晶特性与蓝带发光关系的研究
9
作者 李述体 江风益 +3 位作者 范广涵 王立 莫春兰 方文卿 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期366-370,共5页
采用卢瑟福背散射/沟道技术, X射线双晶衍射技术和光致发光技术对几个以MOCVD技术生长的蓝带发光差异明显的未掺杂GaN外延膜和GaN:Mg外延膜进行了测试。结果表明,未掺杂GaN薄膜中出现的2.9 eV左右的蓝带发光与薄膜的结晶品质密切相关。... 采用卢瑟福背散射/沟道技术, X射线双晶衍射技术和光致发光技术对几个以MOCVD技术生长的蓝带发光差异明显的未掺杂GaN外延膜和GaN:Mg外延膜进行了测试。结果表明,未掺杂GaN薄膜中出现的2.9 eV左右的蓝带发光与薄膜的结晶品质密切相关。随未掺杂GaN的蓝带强度与带边强度之比增大, GaN的卢瑟福背散射/沟道谱最低产额增大, X射线双晶衍射峰半高宽增大。未掺杂GaN薄膜的蓝带发光与薄膜中的某种本征缺陷有关。研究还表明,未掺杂GaN中出现的蓝带与GaN:Mg外延膜中出现的2.9 eV左右的发光峰的发光机理不同。 展开更多
关键词 GAN 卢瑟福背散射/沟道 X射线双晶衍射 光致发光
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MOCVD生长的GaN单晶膜透射光谱研究
10
作者 万凌云 莫春兰 +3 位作者 彭学新 熊传兵 王立 江风益 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期352-356,共5页
采用MOCVD技术在Al2O3(0001)衬底上生长了GaN薄膜,使用透射光谱、光致发光光谱和X射线双晶衍射三种技术测试了五类GaN薄膜样品。实验结果表明:GaN薄膜透射谱反映出的GaN质量与X射线双晶衍射测量的结果一致,即透射率越大,半高宽越小,... 采用MOCVD技术在Al2O3(0001)衬底上生长了GaN薄膜,使用透射光谱、光致发光光谱和X射线双晶衍射三种技术测试了五类GaN薄膜样品。实验结果表明:GaN薄膜透射谱反映出的GaN质量与X射线双晶衍射测量的结果一致,即透射率越大,半高宽越小,结晶质量越好;而X射线双晶衍射峰半高宽最小的样品,其PL谱的带边峰却很弱,这说明PL谱反映样品的光学性能与X射线双晶衍射获得的结晶质量不存在简单的对应关系。同时还报导了一种特殊工艺生长的高阻GaN样品的RBS/沟道结果。 展开更多
关键词 单晶膜 GaN MOCVD 透射光谱 X射线双晶衍射 PL谱 RBS/沟道 薄膜生长
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新型紫外光源研制成功 被引量:6
11
作者 江风益 熊传兵 +9 位作者 彭学新 王立 李述体 姚冬敏 莫春兰 李鹏 周毛兴 周力 吴蔚登 刘和初 《材料导报》 EI CAS CSCD 2001年第2期30-30,共1页
以GaN为代表的第三代半导体材料,是制造短波长高功率发光器件和高温大功率电子器件的具有代表性的半导体材料。到目前为止,国际上高功率蓝色发光二极管(LED)、绿色LED、白光LED、蓝紫色LED及激光器等已实现了批量生产,走向了商业市场。 ... 以GaN为代表的第三代半导体材料,是制造短波长高功率发光器件和高温大功率电子器件的具有代表性的半导体材料。到目前为止,国际上高功率蓝色发光二极管(LED)、绿色LED、白光LED、蓝紫色LED及激光器等已实现了批量生产,走向了商业市场。 GaN半导体材料与器件的研究已历时30多年。前20年进展缓慢,未能研制出实用化的器件。近十年来。 展开更多
关键词 发光二极管 紫外光源 氮化镓半导体材料
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ZnO外延膜与蓝宝石衬底的取向偏差及其弯曲变形 被引量:3
12
作者 郑畅达 方文卿 +5 位作者 王立 莫春兰 蒲勇 戴江南 刘卫华 江风益 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期385-390,共6页
采用常压MOCVD方法在Al2O3(00.1)衬底上生长出了高质量ZnO单晶薄膜。由ZnO(00.2)面和Al2O3(00.6)面及ZnO(10.2)面和Al2O3(11.6)面X射线双晶ω/2θ衍射曲线的相对峰位,得到ZnO外延膜的晶格常数及外延层和衬底间的取向差异角。结果表明外... 采用常压MOCVD方法在Al2O3(00.1)衬底上生长出了高质量ZnO单晶薄膜。由ZnO(00.2)面和Al2O3(00.6)面及ZnO(10.2)面和Al2O3(11.6)面X射线双晶ω/2θ衍射曲线的相对峰位,得到ZnO外延膜的晶格常数及外延层和衬底间的取向差异角。结果表明外延层和衬底在应力作用下产生了取向差和晶格畸变,并且取向倾斜方向与衬底的切割倾角方向一致;高温直接生长的样品的取向差比有低温缓冲层样品更大,晶格畸变也更严重。高温直接生长的样品弯曲半径小而应力更大;实验测量的应力值和理论计算的热应力值之间存在差异,原因主要是晶格失配应力的存在。有缓冲层的样品由于能更好地弛豫晶格失配引入的应力,热应力所占整个残余应力的比例相对更大。 展开更多
关键词 氧化锌 X射线双晶衍射 取向偏差 弯曲半径
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常压MOCVD生长ZnO薄膜及其性质 被引量:1
13
作者 王立 莫春兰 +4 位作者 熊传兵 蒲勇 陈玉凤 彭绍琴 江风益 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期393-395,i001,共4页
用常压MOCVD在蓝宝石 (0 0 0 1)面上生长了氧化锌 (ZnO)薄膜。用AFM、室温PL谱、Hall测量、X射线双晶衍射、卢瑟福背散射 /沟道技术等分析方法研究了样品的表面形貌、结构性能、发光性能和电学性能。AFM分析结果显示 ,薄膜呈六角柱状结... 用常压MOCVD在蓝宝石 (0 0 0 1)面上生长了氧化锌 (ZnO)薄膜。用AFM、室温PL谱、Hall测量、X射线双晶衍射、卢瑟福背散射 /沟道技术等分析方法研究了样品的表面形貌、结构性能、发光性能和电学性能。AFM分析结果显示 ,薄膜呈六角柱状结晶 ,表面平整 ,粗糙度 (RMS)为 6 .2 5 7nm ,平均晶粒直径达 1.895 μm。室温PL测量该样品在 380nm处有很强的近带边发射 ,半峰全宽为 15nm。使用Hall测量检查了薄膜的电学性质。室温下该样品的载流子浓度为 2× 10 17cm-3 ,迁移率为 75cm2 ·V-1·s-1。用X射线双晶衍射和卢瑟福背散射 /沟道效应研究了薄膜的结晶质量 ,样品的双晶衍射ω扫描半峰全宽为 0 .0 4° ,沟道效应的最小产额比χmin为 3.1%。 展开更多
关键词 金属有机化学气相沉积 氧化锌 原子力显微镜 光致发光 X射线双晶衍射 卢瑟福背散射/沟道效应
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低碳钢和奥氏体不锈钢在低周冲击疲劳过程中亚结构的变化 被引量:1
14
作者 杨平生 谈育煦 周惠久 《电子显微学报》 CAS CSCD 1995年第4期282-286,共5页
组织结构的TEM分析表明,在指定寿命常规低周疲劳过程中,10钢和1Cr18Ni9Ti钢的位错密度随载荷循环周次的增加而增大,组态从线状分布经位错缠结向位错胞转化。而在同样寿命的低周冲击疲劳过程中,10钢位错密庆变化不... 组织结构的TEM分析表明,在指定寿命常规低周疲劳过程中,10钢和1Cr18Ni9Ti钢的位错密度随载荷循环周次的增加而增大,组态从线状分布经位错缠结向位错胞转化。而在同样寿命的低周冲击疲劳过程中,10钢位错密庆变化不大,1Cr18Ni9Ti钢出现显微变形孪晶,均不出现胞状位错组态。疲劳亚结构的上述变化部分地解释了低周疲劳过程中的应变速率效应。 展开更多
关键词 低碳钢 奥氏体 不锈钢 低周冲击疲劳 亚结构
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