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用电子束蒸发法低温无损情况下在有机柔性衬底上制作ITO膜及其性能研究 被引量:10
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作者 李胜林 冯凯 +2 位作者 刘浩然 刘国华 张德贤 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期303-305,共3页
在有机材料柔性衬底上沉积ITO膜 ,需要在低温及无损伤 (即避免离子轰击及热损伤等 )情况下进行。为满足此要求 ,采用电子束蒸发法来实现在PI衬底上沉积ITO膜 ,对沉积参数如电子束特性、氧分压及衬底温度对薄膜质量的影响进行了研究 ;对... 在有机材料柔性衬底上沉积ITO膜 ,需要在低温及无损伤 (即避免离子轰击及热损伤等 )情况下进行。为满足此要求 ,采用电子束蒸发法来实现在PI衬底上沉积ITO膜 ,对沉积参数如电子束特性、氧分压及衬底温度对薄膜质量的影响进行了研究 ;对薄膜结构、表面形貌、电学及光学特性进行了检测。最后 ,在PI衬底上获得高质量ITO膜 ,其可见光透过率超过90 % ,电阻率低于 5× 10 -4Ω·cm。 展开更多
关键词 柔性衬底 无损 ITO膜 电子束蒸发法 衬底温度 性能研究 高质量 沉积参数 光透过率 薄膜结构
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亚毫米波频段的法布里-珀罗谐振器仿真 被引量:3
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作者 王福音 宋凤斌 +4 位作者 杨扬 陶薇薇 岳宏卫 赵新杰 方兰 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第17期5582-5585,5593,共5页
通过对法布里-珀罗谐振器的理论分析,说明这种谐振器的基模电磁场分布具有"高斯光束"的形式,在其束腰位置近似为横电磁波,在亚毫米波频段应用于研究超导交流约瑟夫森效应具有优势。应用CST Microwave Studio 2006对其进行仿真... 通过对法布里-珀罗谐振器的理论分析,说明这种谐振器的基模电磁场分布具有"高斯光束"的形式,在其束腰位置近似为横电磁波,在亚毫米波频段应用于研究超导交流约瑟夫森效应具有优势。应用CST Microwave Studio 2006对其进行仿真,验证了上述特点并得到谐振模式,谐振器反射镜尺寸,反射镜曲率以及耦合方式对工作状态的影响。适当调整以上参数,可以优化腔内能量的聚集度,从而使谐振器很好地应用于观测约瑟夫森结的夏皮罗台阶。 展开更多
关键词 法布里-珀罗谐振器 亚毫米波频段 CST MICROWAVE STUDIO 2006 仿真 夏皮罗台阶
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