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激光精密刻蚀技术在硅太阳电池制备工艺中的应用
被引量:
2
1
作者
王宏杰
王亚楠
+4 位作者
彭建强
吕福云
杜永超
刘建生
孙彦铮
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第11期2137-2140,共4页
依据光学谐振腔的图解分析与设计方法,对以Nd:YAG固体激光器作光源的激光切割机进行了设计改进,实现了高亮度激光输出.并利用该设备对硅太阳电池进行了激光精密切割试验,使埋栅太阳电池电极槽达到了平均宽度为150±5μm,槽深100...
依据光学谐振腔的图解分析与设计方法,对以Nd:YAG固体激光器作光源的激光切割机进行了设计改进,实现了高亮度激光输出.并利用该设备对硅太阳电池进行了激光精密切割试验,使埋栅太阳电池电极槽达到了平均宽度为150±5μm,槽深100±10μm的设计指标.在发射结卷包太阳电池所用的硅衬底片上进行激光精密穿孔,目前最小孔径为20μm.通过应用激光精密刻蚀技术,现将埋栅太阳电池光电转换效率提高到了21%,接近该领域的世界先进水平.
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关键词
高亮度激光
硅太阳电池
对称式抽运
转换效率
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职称材料
题名
激光精密刻蚀技术在硅太阳电池制备工艺中的应用
被引量:
2
1
作者
王宏杰
王亚楠
彭建强
吕福云
杜永超
刘建生
孙彦铮
机构
南开大学物理科学学院光电信息系
中国电子科技集团公司第十八研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第11期2137-2140,共4页
基金
南开大学本科创新科研“百项工程”基金资助
文摘
依据光学谐振腔的图解分析与设计方法,对以Nd:YAG固体激光器作光源的激光切割机进行了设计改进,实现了高亮度激光输出.并利用该设备对硅太阳电池进行了激光精密切割试验,使埋栅太阳电池电极槽达到了平均宽度为150±5μm,槽深100±10μm的设计指标.在发射结卷包太阳电池所用的硅衬底片上进行激光精密穿孔,目前最小孔径为20μm.通过应用激光精密刻蚀技术,现将埋栅太阳电池光电转换效率提高到了21%,接近该领域的世界先进水平.
关键词
高亮度激光
硅太阳电池
对称式抽运
转换效率
Keywords
High-brightness laser
Silicon solar cells
Symmetrical pump
Conversion efficiency
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光精密刻蚀技术在硅太阳电池制备工艺中的应用
王宏杰
王亚楠
彭建强
吕福云
杜永超
刘建生
孙彦铮
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
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