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激光精密刻蚀技术在硅太阳电池制备工艺中的应用 被引量:2
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作者 王宏杰 王亚楠 +4 位作者 彭建强 吕福云 杜永超 刘建生 孙彦铮 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期2137-2140,共4页
依据光学谐振腔的图解分析与设计方法,对以Nd:YAG固体激光器作光源的激光切割机进行了设计改进,实现了高亮度激光输出.并利用该设备对硅太阳电池进行了激光精密切割试验,使埋栅太阳电池电极槽达到了平均宽度为150±5μm,槽深100... 依据光学谐振腔的图解分析与设计方法,对以Nd:YAG固体激光器作光源的激光切割机进行了设计改进,实现了高亮度激光输出.并利用该设备对硅太阳电池进行了激光精密切割试验,使埋栅太阳电池电极槽达到了平均宽度为150±5μm,槽深100±10μm的设计指标.在发射结卷包太阳电池所用的硅衬底片上进行激光精密穿孔,目前最小孔径为20μm.通过应用激光精密刻蚀技术,现将埋栅太阳电池光电转换效率提高到了21%,接近该领域的世界先进水平. 展开更多
关键词 高亮度激光 硅太阳电池 对称式抽运 转换效率
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