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题名电容式微加速度计的研制
被引量：4
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作者
谭宜勇
金桐
苏卫国
赵新
卢桂章
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机构
南开大学机器人与自动化研究所
北京大学微电子所
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期585-588,共4页
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基金
国家自然科学基金资助(60674068,60475038)
国家863计划资助(2006AA04Z304)
南开大学科技创新基金资助
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文摘
以一个电容式微加速度计为设计实例来介绍了基于IP库MEMS设计的流程,其中主要包括四个部分:原理分析,结构设计,工艺流程和版图设计,封装及电路测试。首先根据需求设计出加速度计的基本结构;然后对该结构进行工艺流程和版图的设计;并利用虚拟工艺来进行仿真和可加工性验证;得到的三维结构通过接口导出到FEM中进行数值分析;接着将数值分析的结果进行基于FEM的运动学建模;求解得到的运动规律,以宏模型的形式存入IP库中;与此同时,利用虚拟运行进行可视化行为级的仿真。
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关键词
MEMS
电容式微加速度计
虚拟工艺
虚拟运行
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Keywords
MEMS
capacitive accelerometer
virtual process
virtual operation
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分类号
TH824
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名基于IP数据库的MEMS设计系统
被引量：2
- 2
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作者
谭宜勇
卢桂章
赵新
王磊
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机构
南开大学机器人与自动化研究所
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期357-360,共4页
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基金
国家自然科学基金资助(60674068)
国家863计划资助(2006AA04Z304)
+2 种基金
教育部"新世纪优秀人才支持计划"资助(NCET-07-0464)
天津市应用基础及前沿技术研究计划重点项目
南开大学科技创新基金资助(Z06010-B1)
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文摘
针对MEMS设计系统中机械性能仿真不足、设计与加工脱节、缺少工艺验证等问题,借鉴了IC设计可重用思想,引入了具有知识产权的功能模块——IP的概念,提出了基于IP库的MEMS设计方法。该方法是Top-Down和Bottom-Up设计相结合的方法,其核心是MEMSIP库,关键技术包括IP库、虚拟工艺、虚拟运行等,分别对应IP管理、工艺级仿真系统以及器件行为级仿真系统。最后以电容式微加速度计设计为例,对双梁、四梁、疏齿等6种不同的结构分别进行了设计仿真、流水加工、封装和测试的过程,完成了器件从设计到成品的整个流程,验证了本文提出的设计方法和设计系统的有效性和正确性。
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关键词
MEMS
IP库
虚拟工艺
虚拟运行
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Keywords
MEMS
IP
Virtual Process
Virtual Operation
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分类号
TH824
[机械工程—精密仪器及机械]
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