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p型ZnO的制备以及衬底温度对薄膜特性的影响
被引量：
3
1
作者
范红兵
张晓丹
+4 位作者
赵颖
孙建
魏长春
谷士彬
张存善
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期739-742,共4页
本文主要讨论了采用改进的超声雾化设备制备了不同衬底温度条件下的ZnO薄膜。研究了该系统下不同衬底温度对ZnO薄膜电学、结构特性的影响。霍耳测试结果表明:获得了p型ZnO薄膜,其载流子浓度高达1.30×1019cm-3。样品的X射线衍射和...
本文主要讨论了采用改进的超声雾化设备制备了不同衬底温度条件下的ZnO薄膜。研究了该系统下不同衬底温度对ZnO薄膜电学、结构特性的影响。霍耳测试结果表明:获得了p型ZnO薄膜,其载流子浓度高达1.30×1019cm-3。样品的X射线衍射和场发射扫描电子显微镜的测试结果显示,在该系统下450℃时薄膜结晶性能最佳。
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关键词
ZNO
p型传导
超声喷雾热分解
衬底温度
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职称材料
题名
p型ZnO的制备以及衬底温度对薄膜特性的影响
被引量：
3
1
作者
范红兵
张晓丹
赵颖
孙建
魏长春
谷士彬
张存善
机构
河北工业
大学
信息
学院
南开大学
光电子
薄膜
器件与
技术
研究所
南开大学
光电子
薄膜
器件与
技术
天津市
重点
实验室
光电
信息
技术科学
教育部
重点
实验室
(
南开大学
天津大学
)
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期739-742,共4页
基金
天津市自然科学基金(No.05YFJMTC01600)
国家自然科学基金项目(No.60506003)
天津市科技攻关项目(No.043186511)资助
文摘
本文主要讨论了采用改进的超声雾化设备制备了不同衬底温度条件下的ZnO薄膜。研究了该系统下不同衬底温度对ZnO薄膜电学、结构特性的影响。霍耳测试结果表明:获得了p型ZnO薄膜,其载流子浓度高达1.30×1019cm-3。样品的X射线衍射和场发射扫描电子显微镜的测试结果显示,在该系统下450℃时薄膜结晶性能最佳。
关键词
ZNO
p型传导
超声喷雾热分解
衬底温度
Keywords
ZnO
p-type conduction
ultrasonic spray pyrolysis
substrate temperature
分类号
TN302 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
p型ZnO的制备以及衬底温度对薄膜特性的影响
范红兵
张晓丹
赵颖
孙建
魏长春
谷士彬
张存善
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
3
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