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高反射率硅基薄膜一维光子晶体的研究制备
被引量：
2
1
作者
陈培专
于莉媛
+2 位作者
牛萍娟
张建军
侯国付
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第10期1403-1408,共6页
采用射频等离子体增强化学气相沉积的方法,研究制备了一种基于硅基薄膜的高反射一维光子晶体。通过交替改变反应气体组分实现低折射率Si Ox层和高折射率a-Si层的交替层叠沉积,具有两种膜层介质折射率比大、反射率高、沉积时间短、工艺...
采用射频等离子体增强化学气相沉积的方法,研究制备了一种基于硅基薄膜的高反射一维光子晶体。通过交替改变反应气体组分实现低折射率Si Ox层和高折射率a-Si层的交替层叠沉积,具有两种膜层介质折射率比大、反射率高、沉积时间短、工艺窗口宽等优点。采用5周期的Si Ox层与a-Si层构成的一维光子晶体(厚度分别为155 nm和55 nm),其禁带范围内(650~1 100 nm)的平均反射率达到99.1%,高于相同波长范围内Ag的平均反射率(96.3%)。
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关键词
一维光子晶体
硅基薄膜
高反射
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职称材料
题名
高反射率硅基薄膜一维光子晶体的研究制备
被引量：
2
1
作者
陈培专
于莉媛
牛萍娟
张建军
侯国付
机构
天津
工业
大学
电气工程与自动化学院电工电能
天津市
重点
实验室
大功率半导体照明应用系统
教育部
工程中心
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室光学信息技术科学教育部重点实验室
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第10期1403-1408,共6页
基金
国家自然科学基金(61176060
61404074
+3 种基金
61504069
61377031
61605145)
天津市自然科学基金(14JCQNJC02100)资助项目~~
文摘
采用射频等离子体增强化学气相沉积的方法,研究制备了一种基于硅基薄膜的高反射一维光子晶体。通过交替改变反应气体组分实现低折射率Si Ox层和高折射率a-Si层的交替层叠沉积,具有两种膜层介质折射率比大、反射率高、沉积时间短、工艺窗口宽等优点。采用5周期的Si Ox层与a-Si层构成的一维光子晶体(厚度分别为155 nm和55 nm),其禁带范围内(650~1 100 nm)的平均反射率达到99.1%,高于相同波长范围内Ag的平均反射率(96.3%)。
关键词
一维光子晶体
硅基薄膜
高反射
Keywords
one dimensional photonic crystal
silicon thin films
high reflection
分类号
O472.3 [理学—半导体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高反射率硅基薄膜一维光子晶体的研究制备
陈培专
于莉媛
牛萍娟
张建军
侯国付
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
2
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