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ZnO:Al绒面透明导电薄膜的制备及分析
被引量：
9
1
作者
薛俊明
黄宇
+4 位作者
熊强
马铁华
孙建
赵颖
耿新华
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期701-705,共5页
利用中频脉冲磁控溅射方法,采用Al掺杂(质量百分比2%)的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO:Al(ZAO)薄膜。利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在0.5%的稀盐酸中浸泡一定时间后,形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了平面ZAO薄...
利用中频脉冲磁控溅射方法,采用Al掺杂(质量百分比2%)的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO:Al(ZAO)薄膜。利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在0.5%的稀盐酸中浸泡一定时间后,形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了平面ZAO薄膜的结构特性以及衬底温度、溅射功率和腐蚀时间对绒面ZAO薄膜表面形貌的影响,并对腐蚀前后薄膜的电阻变化进行了分析。结果表明:高温、低功率条件下制备的绒面ZAO薄膜表面形貌较好,在硅薄膜太阳电池中具有潜在的应用前景。
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关键词
中频脉冲磁控溅射
ZnO:Al(ZAO)薄膜
绒面结构
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职称材料
题名
ZnO:Al绒面透明导电薄膜的制备及分析
被引量：
9
1
作者
薛俊明
黄宇
熊强
马铁华
孙建
赵颖
耿新华
机构
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所&天津市重点实验室
光电
信息
技术
科学教育部
重点
实验室
河北省信息产业厅唐山无线电管理分局
仪器科学与动态测试教育部
重点
实验室
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第7期701-705,共5页
基金
天津市重点科技攻关项目(06YFGZGX02100)
国家"973"重点基础研究项目(2006CB202602
+1 种基金
2006CB202603)
天津市自然科学重点基金项目(06YFJZJC01700)
文摘
利用中频脉冲磁控溅射方法,采用Al掺杂(质量百分比2%)的Zn(纯度99.99%)金属材料为靶材制备平面透明导电ZnO:Al(ZAO)薄膜。利用湿法腐蚀方法,将平面ZAO薄膜在0.5%的稀盐酸中浸泡一定时间后,形成表面凹凸起伏的绒面结构。研究了平面ZAO薄膜的结构特性以及衬底温度、溅射功率和腐蚀时间对绒面ZAO薄膜表面形貌的影响,并对腐蚀前后薄膜的电阻变化进行了分析。结果表明:高温、低功率条件下制备的绒面ZAO薄膜表面形貌较好,在硅薄膜太阳电池中具有潜在的应用前景。
关键词
中频脉冲磁控溅射
ZnO:Al(ZAO)薄膜
绒面结构
Keywords
mid-frequency pulsed magnetron sputtering
ZnO： Al thin films
textured structure
分类号
TM615 [电气工程—电力系统及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
ZnO:Al绒面透明导电薄膜的制备及分析
薛俊明
黄宇
熊强
马铁华
孙建
赵颖
耿新华
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
9
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