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W-Ti共掺杂ZnO靶材的烧结及其特性
被引量：
1
1
作者
乔薇
陈新亮
+4 位作者
张存善
张德坤
魏长春
张晓丹
赵颖
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期493-496,555,共5页
本文根据高价态差掺杂原理,采用常压烧结技术制备了低电阻率的W-Ti共掺杂ZnO陶瓷靶材(WTZO),并研究了烧结温度及烧结气氛对靶材特性的影响。结果表明:当烧结温度为1200℃时,WTZO靶材的特性较好。随着烧结温度的升高,WTZO靶材的相对致密...
本文根据高价态差掺杂原理,采用常压烧结技术制备了低电阻率的W-Ti共掺杂ZnO陶瓷靶材(WTZO),并研究了烧结温度及烧结气氛对靶材特性的影响。结果表明:当烧结温度为1200℃时,WTZO靶材的特性较好。随着烧结温度的升高,WTZO靶材的相对致密度先快速增大后缓慢减小,方块电阻先降低后升高。烧结气氛对WTZO靶材特性的影响显著,烧结气氛为空气时,靶材的方块电阻为12.18Ω/□,相对致密度为94.3%;当烧结气氛为高纯Ar气时,靶材的方块电阻为1.253Ω/□,相对致密度为96.7%。
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关键词
WTZO靶材
烧结温度
烧结气氛
相对致密度
方块电阻
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职称材料
题名
W-Ti共掺杂ZnO靶材的烧结及其特性
被引量：
1
1
作者
乔薇
陈新亮
张存善
张德坤
魏长春
张晓丹
赵颖
机构
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所&南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室&南开大学光电信息技术科学教育部重点实验室
河北工业
大学
信息
工程学院
出处
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期493-496,555,共5页
基金
国家"973"重点基础研究资助项目(2011CBA00705
2011CBA00706和2011CBA00707)
+1 种基金
天津市应用基础及前沿技术研究计划资助项目(09JCYBJC06900)
中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(65010341)
文摘
本文根据高价态差掺杂原理,采用常压烧结技术制备了低电阻率的W-Ti共掺杂ZnO陶瓷靶材(WTZO),并研究了烧结温度及烧结气氛对靶材特性的影响。结果表明:当烧结温度为1200℃时,WTZO靶材的特性较好。随着烧结温度的升高,WTZO靶材的相对致密度先快速增大后缓慢减小,方块电阻先降低后升高。烧结气氛对WTZO靶材特性的影响显著,烧结气氛为空气时,靶材的方块电阻为12.18Ω/□,相对致密度为94.3%;当烧结气氛为高纯Ar气时,靶材的方块电阻为1.253Ω/□,相对致密度为96.7%。
关键词
WTZO靶材
烧结温度
烧结气氛
相对致密度
方块电阻
Keywords
WTZO targets
sintering temperature
sintering atmosphere
relative density
sheet resistance
分类号
TF124 [冶金工程—粉末冶金]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
W-Ti共掺杂ZnO靶材的烧结及其特性
乔薇
陈新亮
张存善
张德坤
魏长春
张晓丹
赵颖
《材料科学与工程学报》
CAS
CSCD
北大核心
2012
1
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职称材料
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