纯化器对VHF-PECVD制备的不同结构硅薄膜特性的影响 被引量：5

1

作者 张晓丹 赵颖 +9 位作者 朱锋 魏长春 高艳涛 孙建 侯国付 薛俊明 张德坤 任慧志 耿新华 熊绍珍 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第6期892-897,共6页

本文采用VHF PECVD技术制备了不同结构的硅薄膜 ,分析研究了有、无纯化器对制备薄膜特性的影响。电学特性和结构特性测试结果表明 :在 10W的功率条件下 ,使用纯化器时制备的薄膜是光敏性满足非晶硅电池要求的材料 ,而在不使用纯化器时... 本文采用VHF PECVD技术制备了不同结构的硅薄膜 ,分析研究了有、无纯化器对制备薄膜特性的影响。电学特性和结构特性测试结果表明 :在 10W的功率条件下 ,使用纯化器时制备的薄膜是光敏性满足非晶硅电池要求的材料 ,而在不使用纯化器时制备的材料是适用于太阳能电池有源层的纳米硅材料 ;在 30W时 ,不使用纯化器制备薄膜的晶化明显增大 ,光敏性也相应的降低 ,5 0W的条件表现出相类似的结果 ,初步分析是氧引起的差别 ;激活能的测试结果也表明 ,使用纯化器会降低材料中的氧含量 ,即表现激活能相对大 ;另外 ,沉积速率的测试结果也给出 展开更多

关键词 纯化器 制备 光敏性 降低 硅薄膜 晶化 氧含量 VHF-PECVD 有源层 纳米硅

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薄膜非晶/微晶叠层电池中NP隧穿结的影响 被引量：9

2

作者 朱锋 赵颖 +7 位作者 魏长春 任慧智 薛俊明 张晓丹 高艳涛 张德坤 孙建 耿新华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期81-84,共4页

本文论述了薄膜非晶/微晶叠层电池中NP隧穿结对电池性能的影响。在薄膜叠层电池中非晶顶电池的N层采用微晶硅,减小了电池的内部串联电阻影响。通过调整非晶硅顶电池N层和微晶硅底电池P层的厚度,降低NP隧穿结的影响,获得薄膜叠层电池效率... 本文论述了薄膜非晶/微晶叠层电池中NP隧穿结对电池性能的影响。在薄膜叠层电池中非晶顶电池的N层采用微晶硅,减小了电池的内部串联电阻影响。通过调整非晶硅顶电池N层和微晶硅底电池P层的厚度,降低NP隧穿结的影响,获得薄膜叠层电池效率11.73%(Voc=1.34V,Jsc=14.53mA/cm2,FF=60.27%),电池面积为0.253 cm2。 展开更多

关键词 非晶/微晶叠层电池 微晶硅 N/P隧穿结

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P型ZnO薄膜的制备及其在太阳电池中的初步应用 被引量：6

3

作者 焦宝臣 张晓丹 +3 位作者 赵颖 孙建 魏长春 杨瑞霞 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期602-605,共4页

利用超声雾化热分解技术(USP)、通过N-Al共掺的方法,在corning 7059衬底上生长出p型透明导电膜。该薄膜在可见光范围内的透过率可达到90%以上。X射线衍射的测试结果表明:p型透明导电膜具有c轴择优生长特性。通过霍耳测试得到p型ZnO薄膜... 利用超声雾化热分解技术(USP)、通过N-Al共掺的方法,在corning 7059衬底上生长出p型透明导电膜。该薄膜在可见光范围内的透过率可达到90%以上。X射线衍射的测试结果表明:p型透明导电膜具有c轴择优生长特性。通过霍耳测试得到p型ZnO薄膜的电学特性为:电阻率为4.21Ω.cm、迁移率是0.22cm2/(V.s)、载流子浓度为6.68×1018cm-3。此材料初步应用到微晶硅电池中,其开路电压为0.47V。 展开更多

关键词 ZNO薄膜 P型 透明导电薄膜 太阳电池

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B掺杂对平面结构MOCVD-ZnO薄膜性能的影响(英文) 被引量：3

4

作者 陈新亮 薛俊明 +3 位作者 张德坤 孙建 赵颖 耿新华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期997-1002,共6页

本文研究了B2H6掺杂流量（B掺杂）对平面结构MOCVD—ZnO薄膜的微观结构和光电性能影响。XRD、SEM和AFM测试的研究结果表明，玻璃衬底上制备的ZnO薄膜具有（002）峰择优取向的平面结构，B掺杂使薄膜的球状晶粒尺寸变小，10sccm流量时晶... 本文研究了B2H6掺杂流量（B掺杂）对平面结构MOCVD—ZnO薄膜的微观结构和光电性能影响。XRD、SEM和AFM测试的研究结果表明，玻璃衬底上制备的ZnO薄膜具有（002）峰择优取向的平面结构，B掺杂使薄膜的球状晶粒尺寸变小，10sccm流量时晶粒尺寸为-15nm。ZnO：B薄膜的最小电阻率为5．7× 10^-3 Ω · cm。生长的ZnO薄膜（厚度d=1150nm）在400-900nm范围的透过率为82％-97％，且随着BzH6掺杂流量增大，光学吸收边呈现蓝移（即光学带隙t展宽）现象。 展开更多

关键词 MOCVD ZNO薄膜 B掺杂 太阳电池

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绒面结构ZnO薄膜及其表面处理 被引量：2

5

作者 陈新亮 薛俊明 +4 位作者 张德坤 蔡宁 张晓丹 赵颖 耿新华 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期631-633,共3页

本文制备出(110)峰取向的绒面结构MOCVD-ZnO:B薄膜并提出CH3COOH湿法刻蚀的表面处理技术。研究表明,绒面结构ZnO:B薄膜具有"类金字塔"晶粒形状;处理前后ZnO:B薄膜的微观结构,方块电阻和光学性能变化不大。适当的表面处理有助... 本文制备出(110)峰取向的绒面结构MOCVD-ZnO:B薄膜并提出CH3COOH湿法刻蚀的表面处理技术。研究表明,绒面结构ZnO:B薄膜具有"类金字塔"晶粒形状;处理前后ZnO:B薄膜的微观结构,方块电阻和光学性能变化不大。适当的表面处理有助于使薄膜表面趋于柔和,有望改善ZnO/Si界面特性,从而应用于μc-Si薄膜太阳电池。 展开更多

关键词 MOCVD 绒面ZnO薄膜 湿法刻蚀 太阳电池

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p型ZnO的制备以及衬底温度对薄膜特性的影响 被引量：3

6

作者 范红兵 张晓丹 +4 位作者 赵颖 孙建 魏长春 谷士彬 张存善 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期739-742,共4页

本文主要讨论了采用改进的超声雾化设备制备了不同衬底温度条件下的ZnO薄膜。研究了该系统下不同衬底温度对ZnO薄膜电学、结构特性的影响。霍耳测试结果表明:获得了p型ZnO薄膜,其载流子浓度高达1.30×1019cm-3。样品的X射线衍射和... 本文主要讨论了采用改进的超声雾化设备制备了不同衬底温度条件下的ZnO薄膜。研究了该系统下不同衬底温度对ZnO薄膜电学、结构特性的影响。霍耳测试结果表明:获得了p型ZnO薄膜,其载流子浓度高达1.30×1019cm-3。样品的X射线衍射和场发射扫描电子显微镜的测试结果显示,在该系统下450℃时薄膜结晶性能最佳。 展开更多

关键词 ZNO p型传导 超声喷雾热分解 衬底温度

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大面积VHF-PECVD用多点馈入平行板电极馈入点优化的数值研究 被引量：5

7

作者 葛洪 张晓丹 +3 位作者 岳强 张发荣 赵影 赵颖 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期281-285,共5页

本文采用二维准平面电路模型,对大面积甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)用多点馈入平行板电极馈入点的优化进行了数值研究,讨论了不同的多点馈入模式对平行板电极间真空电势分布均匀性的影响。研究结果表明:对于给定激发频率... 本文采用二维准平面电路模型,对大面积甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)用多点馈入平行板电极馈入点的优化进行了数值研究,讨论了不同的多点馈入模式对平行板电极间真空电势分布均匀性的影响。研究结果表明:对于给定激发频率和尺度的大面积平行板电极,功率馈入连接点位置分布和数量成为影响电极间电势分布均匀性的两个重要可控参量,通过优化功率馈入连接点数量和连接点位置分布,可以抑制电势驻波效应及功率馈入点对数奇点效应,很大程度上有效地改善了电极间电势分布的均匀性。本文数值计算结果在一定程度上为VHF-PECVD技术用平行板电极实现大面积薄膜均匀沉积的系统设计提供了理论指导。 展开更多

关键词 多点功率馈入 甚高频等离子体增强化学气相沉积 电势驻波效应 电报效应

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EDTA对太阳电池用纳米上转换材料性能的影响 被引量：4

8

作者 雷志芳 张晓丹 +3 位作者 金鑫 张存善 熊绍珍 赵颖 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期927-930,941,共5页

采用水热法合成了Er单掺或Yb、Er共掺的NaYF4纳米上转换材料。研究了螯和剂乙二胺四乙酸二钠(EDTA)对材料性能的影响。扫描电镜和透射电子显微镜的结果表明:EDTA引起制备的上转换材料颗粒离散化,颗粒基本为球形,粒径约为40 nm左右。X射... 采用水热法合成了Er单掺或Yb、Er共掺的NaYF4纳米上转换材料。研究了螯和剂乙二胺四乙酸二钠(EDTA)对材料性能的影响。扫描电镜和透射电子显微镜的结果表明:EDTA引起制备的上转换材料颗粒离散化,颗粒基本为球形,粒径约为40 nm左右。X射线衍射的结果表明:EDTA的加入改变了材料的晶相,有助于上转换效率的增强。 展开更多

关键词 乙二胺四乙酸二钠(EDTA) 太阳电池 上转换

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基于溅射后腐蚀ZnO的单结微晶硅太阳电池中的陷光研究 被引量：1

9

作者 白立沙 刘伯飞 +2 位作者 赵慧旭 赵颖 张晓丹 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期801-807,共7页

采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术,研究衬底表面形貌和电学特性的变化对微晶硅单结太阳电池性能的影响。通过对不同腐蚀时间溅射ZnO∶Al衬底及基于此的微晶硅单结电池进行研究发现:衬底表面横纵特征尺寸可通过腐蚀时... 采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术,研究衬底表面形貌和电学特性的变化对微晶硅单结太阳电池性能的影响。通过对不同腐蚀时间溅射ZnO∶Al衬底及基于此的微晶硅单结电池进行研究发现:衬底表面横纵特征尺寸可通过腐蚀时间进行有效调控,光电性能的权衡使其存在最优化衬底腐蚀时间,从而使微晶硅单结电池达到最大光吸收和高电学性能。对衬底陷光结构和电池工艺进一步调整,获得初始效率达10.01%的单结微晶硅薄膜太阳电池,将其应用到非晶硅/非晶硅锗/微晶硅三结叠层电池中,电池效率可达14.51%。 展开更多

关键词 微晶硅薄膜太阳电池 VHF-PECVD 衬底 陷光

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衬底温度对太阳电池铝背反射电极性能的影响 被引量：1

10

作者 韩安军 张建军 +4 位作者 李林娜 张洪 刘彩池 耿新华 赵颖 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期698-703,共6页

采用中频脉冲磁控溅射在不同衬底温度下制备了太阳电池铝背反射电极,利用X射线衍射仪(XRD)研究了薄膜晶体结构,用X射线光电子谱仪(XPS)分析薄膜的成分,用原子力显微镜(AFM)观察薄膜表面形貌和粗糙度,用分光光度计研究薄膜的反射率。研... 采用中频脉冲磁控溅射在不同衬底温度下制备了太阳电池铝背反射电极,利用X射线衍射仪(XRD)研究了薄膜晶体结构,用X射线光电子谱仪(XPS)分析薄膜的成分,用原子力显微镜(AFM)观察薄膜表面形貌和粗糙度,用分光光度计研究薄膜的反射率。研究发现随衬底温度升高,薄膜中氧含量增加,晶体结构变为混合晶面取向,晶化率降低,表面粗糙度增大,反射率下降。将其应用到NIP非晶硅薄膜太阳电池中,在衬底温度为300℃时,得到了5.6%的电池转换效率。 展开更多

关键词 中频脉冲磁控溅射 衬底温度 铝背反射电极 表面形貌

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溶剂对磷光上转换纳米材料性能的影响

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作者 刘永娟 张晓丹 +3 位作者 金鑫 王东丰 张存善 赵颖 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期429-433,459,共6页

采用水热法,并在EDTA加入前后,分别以去离子水、乙醇为反应溶剂的体系中,合成了掺杂18%Yb3+、2%Er3+的NaYF4磷光上转换纳米材料。实验表明,当EDTA∶Ln3+(Ln=Y,Yb,和Er)的比例为1.6∶1时,在以乙醇为反应溶剂的体系中所得的材料在无需高... 采用水热法,并在EDTA加入前后,分别以去离子水、乙醇为反应溶剂的体系中,合成了掺杂18%Yb3+、2%Er3+的NaYF4磷光上转换纳米材料。实验表明,当EDTA∶Ln3+(Ln=Y,Yb,和Er)的比例为1.6∶1时,在以乙醇为反应溶剂的体系中所得的材料在无需高温处理的情况下,得到了六角晶相较纯、颗粒分散较好、粒度大小均匀的上转换发光材料。且材料在可见光区具有较高的发射强度,适于应用到太阳能电池上。 展开更多

关键词 去离子水 乙醇 乙二胺四乙酸二钠(EDTA) 上转换发光

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成膜剂对染料敏化太阳电池性能的影响

12

作者 纪伟伟 张晓丹 +1 位作者 杨振华 赵颖 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1324-1328,共5页

通过刮涂法将P25粉的乙醇体系配制的TiO2浆料制备成光阳极中的TiO2薄膜,在TiO2浆料中分别加入聚乙烯吡咯烷酮(PVP)和乙基纤维素(M70),作对比实验,研究发现加入PVP制备的TiO2薄膜的宏观和微观结构都得到了明显的改善,其影响了TiO2薄膜的... 通过刮涂法将P25粉的乙醇体系配制的TiO2浆料制备成光阳极中的TiO2薄膜,在TiO2浆料中分别加入聚乙烯吡咯烷酮(PVP)和乙基纤维素(M70),作对比实验,研究发现加入PVP制备的TiO2薄膜的宏观和微观结构都得到了明显的改善,其影响了TiO2薄膜的孔隙率、比表面积和染料的吸附量,显著改善了染料敏化太阳电池性能,短路电流由5.59 mA/cm2增到11.31 mA/cm2,电池效率由2.70%增到5.31%(AM1.5)。 展开更多

关键词 TiO2浆料 PVP 染料敏化太阳电池

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PVP对染料敏化太阳电池特性的影响 被引量：1

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作者 杨振华 张晓丹 +2 位作者 纪伟伟 张存善 赵颖 《太阳能学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第8期979-982,共4页

以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为成膜剂,采用刮涂的方法制备染料敏化太阳电池光阳极中的TiO_2薄膜。将一定量的PVP溶解到无水乙醇中与0.5g P25以及其它有机小分子物质混合,搅拌均匀后研磨制成TiO_2胶体,将其均匀涂覆在导电玻璃上(膜厚度约为14... 以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为成膜剂,采用刮涂的方法制备染料敏化太阳电池光阳极中的TiO_2薄膜。将一定量的PVP溶解到无水乙醇中与0.5g P25以及其它有机小分子物质混合,搅拌均匀后研磨制成TiO_2胶体,将其均匀涂覆在导电玻璃上(膜厚度约为14μm),经过450℃烧结后浸附染料,制成TiO_2光阳极。研究发现:当其它条件不变时,改变PVP用量会明显影响短路电流密度、开路电压、填充因子,进而影响光电转换效率。在其它条件固定不变的情况下,最后得出最优的PVP加入量为0.30g,电池的光电转换效率可达到6.37%。 展开更多

关键词 染料敏化太阳电池 刮涂法 TIO2薄膜 PVP

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