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超声喷雾热解法制备CeO_2薄膜及性能研究 被引量:1
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作者 刘晨 刘胜利 +2 位作者 王海云 程杰 李兴鳌 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期3019-3024,共6页
以硝酸铈(Ce(NO_3)_3·6H_2O)水溶液为前驱溶液,采用自制超声喷雾热解装置在石英衬底上沉积制备CeO_2薄膜,并通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外可见分光光度计等分析薄膜晶体结构、微观形貌及光学特性。结果表明,随着沉积温... 以硝酸铈(Ce(NO_3)_3·6H_2O)水溶液为前驱溶液,采用自制超声喷雾热解装置在石英衬底上沉积制备CeO_2薄膜,并通过X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)、紫外可见分光光度计等分析薄膜晶体结构、微观形貌及光学特性。结果表明,随着沉积温度升高,薄膜择优生长取向逐渐变为(200);当沉积温度为500℃时,薄膜具有良好的致密性;薄膜在可见光区表现出近85%的高透过率,同时发现随着沉积温度升高,薄膜透过率逐渐增大,光吸收逐渐由缺陷吸收转变为本征吸收。 展开更多
关键词 CEO2 择优生长取向 超声喷雾热解 透过率
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超声喷雾热解制备涂层导体研究进展 被引量:1
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作者 刘晨 王海云 +1 位作者 刘胜利 程杰 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第23期23007-23011,共5页
超声喷雾热解法(USP)是近些年来新兴的一种制备涂层导体的方法,使用该方法制备涂层导体薄膜具有沉积速度快、廉价以及非真空等优点。对USP法的基本过程进行了阐述,综合评述了近年来采用该方法制备涂层导体的研究进展,并对其未来发展趋... 超声喷雾热解法(USP)是近些年来新兴的一种制备涂层导体的方法,使用该方法制备涂层导体薄膜具有沉积速度快、廉价以及非真空等优点。对USP法的基本过程进行了阐述,综合评述了近年来采用该方法制备涂层导体的研究进展,并对其未来发展趋势加以展望。 展开更多
关键词 超声喷雾热解 涂层导体 发展趋势
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超声喷雾热解法制备MgO薄膜及性能研究
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作者 张颖 王海云 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期188-190,共3页
采用自制超声喷雾热解装置制得MgO薄膜,用X射线衍射、扫描电子显微镜、紫外可见光分光光度计等研究了MgO薄膜的晶体及微观结构。结果表明,随着沉积温度的提高,薄膜的结晶性能变好,光透射率随之升高;当沉积温度为650℃时,薄膜的晶粒为52.... 采用自制超声喷雾热解装置制得MgO薄膜,用X射线衍射、扫描电子显微镜、紫外可见光分光光度计等研究了MgO薄膜的晶体及微观结构。结果表明,随着沉积温度的提高,薄膜的结晶性能变好,光透射率随之升高;当沉积温度为650℃时,薄膜的晶粒为52.295nm,在可见光波段透射率达到77%。沉积温度对MgO薄膜的晶体结构、表面形貌以及光学特性有显著影响,是调控MgO薄膜结构和光学特性的有效手段。 展开更多
关键词 MgO薄膜 超声喷雾热解 温度 致密性
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退火处理对MgO薄膜性能的影响 被引量:3
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作者 张骏 刘胜利 +1 位作者 王海云 程杰 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第4期61-64,80,共5页
采用磁控溅射法在石英衬底上制备了MgO薄膜并分别在不同温度下进行退火处理。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)研究了MgO薄膜的结构和表面形貌随退火温度的变化,发现退火可以改善薄膜的结晶质量,即随着退火温度的升高,晶粒尺... 采用磁控溅射法在石英衬底上制备了MgO薄膜并分别在不同温度下进行退火处理。利用X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)研究了MgO薄膜的结构和表面形貌随退火温度的变化,发现退火可以改善薄膜的结晶质量,即随着退火温度的升高,晶粒尺寸逐渐增大,结晶性能更佳,表面更加平整。此外,通过紫外-可见光分光光度计研究了MgO薄膜光学特性的变化,发现随着薄膜退火温度的升高,可见光透射率下降,光学带隙值逐渐减小。 展开更多
关键词 MgO薄膜 退火处理 光学特性 磁控溅射
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降低二次氧化温度制备高度有序阳极氧化铝模板
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作者 裴向武 刘胜利 +1 位作者 王海云 程杰 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第A01期51-55,共5页
传统的两步阳极氧化方法在制备多孔阳极氧化铝(AAO)模板时需要两次反应都在低温条件(0~5℃)下进行以保证膜的稳定生长,然而该制备工艺在温度控制方面通常比较复杂。尝试对制备工艺进行改进,在一次高温(20℃)二次低温(5℃)条件下成功制... 传统的两步阳极氧化方法在制备多孔阳极氧化铝(AAO)模板时需要两次反应都在低温条件(0~5℃)下进行以保证膜的稳定生长,然而该制备工艺在温度控制方面通常比较复杂。尝试对制备工艺进行改进,在一次高温(20℃)二次低温(5℃)条件下成功制备出了高度有序的AAO模板。随着第二次反应温度的降低,孔的排列趋于整齐,其孔径、孔隙率和孔的深度都有较显著的变小趋势,而孔间距无明显变化。此外,实验中还发现在高温下容易出现套孔现象,这可能是反应时释放出的焦耳热消散不充分所致,当第二次反应温度降到5℃时被完全消除。 展开更多
关键词 阳极氧化 阳极氧化铝模板 纳米孔 两步阳极氧化法 反应温度
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