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微机电可调硅基三族氮化物光栅
被引量：
2
1
作者
李欣
施政
+3 位作者
贺树敏
高绪敏
张苗
王永进
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第11期2945-2949,共5页
将静电梳齿微驱动器与三族氮化物光栅集成,获得了利用静电梳齿微驱动器调节光栅周期的硅基三族氮化物光栅。首先,以硅基三族氮化物基片为基础,设计了微机电可调光栅,光栅的设计周期为1.1μm,设计线宽为0.8μm。然后,利用严格耦合波分析...
将静电梳齿微驱动器与三族氮化物光栅集成,获得了利用静电梳齿微驱动器调节光栅周期的硅基三族氮化物光栅。首先,以硅基三族氮化物基片为基础,设计了微机电可调光栅,光栅的设计周期为1.1μm,设计线宽为0.8μm。然后,利用严格耦合波分析法研究了横向磁场模式下可调光栅的光学响应特性;研究显示改变光栅周期和占空比,光栅的谐振波峰出现了明显偏移。最后,介绍了结合电子束光刻、三族氮化物干法刻蚀和深硅刻蚀技术制备微机电可调三族氮化物光栅的方法。严格耦合波分析和实验表明:制备的微机电可调三族氮化物光栅具有良好的质量;在静电驱动器上施加电压,可将光栅的谐振波峰由1.345μm调节至1.40μm,满足了利用微机电技术调节三族氮化物光栅光学响应特性的要求。
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关键词
可调光栅
氮化物光栅
静电驱动器
微机电系统
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职称材料
题名
微机电可调硅基三族氮化物光栅
被引量：
2
1
作者
李欣
施政
贺树敏
高绪敏
张苗
王永进
机构
南京邮电大学格林贝格尔研究中心
中国科学院上海微系统与信息技术
研究
所信息功能材料实验室
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第11期2945-2949,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.11104147
No.61322112)
+2 种基金
南京邮电大学科研基金资助项目(No.NY211001)
上海微系统与信息技术研究所开放课题资助项目(No.BJ211026)
江苏省自然科学基金资助项目(No.BK20130870)
文摘
将静电梳齿微驱动器与三族氮化物光栅集成,获得了利用静电梳齿微驱动器调节光栅周期的硅基三族氮化物光栅。首先,以硅基三族氮化物基片为基础,设计了微机电可调光栅,光栅的设计周期为1.1μm,设计线宽为0.8μm。然后,利用严格耦合波分析法研究了横向磁场模式下可调光栅的光学响应特性;研究显示改变光栅周期和占空比,光栅的谐振波峰出现了明显偏移。最后,介绍了结合电子束光刻、三族氮化物干法刻蚀和深硅刻蚀技术制备微机电可调三族氮化物光栅的方法。严格耦合波分析和实验表明:制备的微机电可调三族氮化物光栅具有良好的质量;在静电驱动器上施加电压,可将光栅的谐振波峰由1.345μm调节至1.40μm,满足了利用微机电技术调节三族氮化物光栅光学响应特性的要求。
关键词
可调光栅
氮化物光栅
静电驱动器
微机电系统
Keywords
tunable grating
nitride grating
electro-static actuator
Micro-electrical-mechanical System（MEMS）
分类号
TN304.2 [电子电信—物理电子学]
TN256 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机电可调硅基三族氮化物光栅
李欣
施政
贺树敏
高绪敏
张苗
王永进
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
2
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