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题名LBO晶体的超精密加工工艺研究
被引量：4
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作者
李军
朱永伟
左敦稳
朱镛
陈创天
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机构
南京航空航天大学江苏省精密与微细加工制造技术重点实验室
中国科学院理化技术研究所北京人工晶体研究发展中心
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出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第12期2088-2090,2094,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50675104)
江苏省六大人才高峰基金资助项目(06-D-024)
南京航空航天大学引进人才基金资助项目(S0782-052)
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文摘
采用Logitech PM5精密研抛机,通过机械抛光和化学机械抛光方法超精密加工LBO晶体;详细研究了LBO晶体的超精密加工工艺,并观察研磨和抛光等加工过程后的晶体表面形貌;研究抛光液和抛光垫在抛光中对LBO晶体表面微观形貌的影响。使用Wkyo激光干涉仪测量平面度,光学显微镜观察表面宏观损伤,原子力显微镜测量表面粗糙度和观察微观形貌。通过实验,实现高效率、高精度、高质量的LBO晶体的超精密加工,得到了LBO晶体的超精密加工工艺;超精密加工后晶体的表面粗糙度<0.2nm RMS,表面平面度<λ/10(λ=633nm),微观损伤少。
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关键词
LBO晶体
超精密加工
化学机械抛光
表面粗糙度
表面平面度
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Keywords
LBO crystal
ultra-precision machining
chemical mechanical polishing
surface roughness
surface fiatness
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分类号
O786
[理学—晶体学]
TG356.28
[金属学及工艺—金属压力加工]
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题名游离和固结金刚石磨料抛光手机面板玻璃的试验研究
被引量：15
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作者
王军
李军
朱永伟
林魁
李茂
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机构
南京航空航天大学江苏省精密与微细加工制造技术重点实验室
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出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2009年第2期13-17,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50675104)
南京航空航天大学人才引进基金(S0511-052)
江苏省六大人才高峰基金(06-0-024)
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文摘
选取不同粒径的金刚石微粉,采用游离磨料和固结磨料两种抛光方法加工手机面板玻璃,比较其材料去除率和抛光后工件表面粗糙度。结果表明:在相同的抛光工艺参数下,磨粒粒径在游离磨料抛光中对材料去除率和抛光后表面质量作用显著,而在固结磨料抛光中作用不显著;采用金刚石固结磨料抛光垫抛光能获得表面粗糙度约为Ra1.5 nm的良好表面质量,并在抛光过程中较好地实现了自修整功能。
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关键词
手机面板玻璃
固结磨料抛光
材料去除率
表面粗糙度
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Keywords
mobile phone panel glass
fixed-abrasive polishing
material removal rate
surface roughness
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分类号
TG74
[金属学及工艺—刀具与模具]
TQ164
[化学工程—高温制品工业]
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